序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
21 表面等离子体共振曝光光刻方法 CN200810207793.9 2008-12-25 CN101441411B 2011-07-20 叶志成; 郑君
发明涉及一种光电技术领域的表面等离子体共振曝光光刻方法,由不同金属材料图形或者同种金属材料不同厚度图形构成不透光掩模版,利用棱镜耦合激发某些图形对应的表面等离子体进行曝光光刻,步骤为:将棱镜、带有金属薄膜掩模版的基板和带有光刻胶的基片从上到下放置,准直激光入射到棱镜侧面进行曝光。入射光被折射到基板和金属薄膜掩模版的交界面,共振耦合成为和金属薄膜掩模版图形对应的表面等离子体光波,这些光波使光刻胶层曝光,显影得到光刻图形,利用此光刻图形做掩模,刻蚀和去胶,最后在基片上得到和金属薄膜掩模版对应的图形。本发明在干涉情况下能制备带缺陷光子晶体微腔和波导;在非干涉情况下可以制备非周期的光波导器件。
22 表面等离子体共振感测仪 CN201010002516.1 2010-01-08 CN102121899A 2011-07-13 李钟沛; 曹育嘉; 蔡五湖; 许翔志
发明公开了一种表面等离子体共振感测仪,尤指一种携带方便,且其光纤感测单元的表面等离子体共振波长是位于单模光纤或多模光纤的传输波段内的表面等离子体共振感测仪。其包括:一光源单元、一光纤感测单元、一光传感器、多条光纤以及一运算显示单元。其中,光纤感测单元具有一凹槽、一披覆层、一核心层、一第一金属层及多数层介电薄膜层,且第一金属层是位于凹槽之上,多数层介电薄膜层则形成于第一金属层之上。光源单元所提供的光源在通过光纤感测单元之后便会产生一光信号,光传感器将此光信号对应转换为一电信号,以供运算显示单元运算之用。
23 一种表面等离子共振成像分析仪 CN200910235771.8 2009-10-23 CN101694464B 2011-06-08 陈义; 张轶鸣; 许吉英
发明涉及一种表面等离子共振成像分析仪,它包括:一旋转扫描机构包括旋转平台、棱镜固定架、至少两个底不同的直角棱镜、入射角读数器、定位槽、至少一个活动定位销、制动元件和传动机构;一固定光学系统包括光发射组件和光接收组件,均设置在所述第一直角面法线的同一侧;光发射组件包括一光源,在光源光路上设置有偏光元件和光准直元件;光接收组件包括检测器和成像元件组;一进样系统包括样品流动池和样品驱动机构;一电气控制系统电连接所述入射角读数器、制动元件、检测器、样品流动池和样品驱动机构;一上位机采集图像、入射角度和温度,并通过电气控制系统控制其它设备。本发明保证了系统的稳定性,实现了入射光的宽角度扫描,可用于包括复杂生物样品在内的各种样品的微量高通分析,药物检测或筛选等工作环境中。
24 一种表面等离子共振成像分析仪 CN200910235771.8 2009-10-23 CN101694464A 2010-04-14 陈义; 张轶鸣; 许吉英
发明涉及一种表面等离子共振成像分析仪,它包括:一旋转扫描机构包括旋转平台、棱镜固定架、至少两个底不同的直角棱镜、入射角读数器、定位槽、至少一个活动定位销、制动元件和传动机构;一固定光学系统包括光发射组件和光接收组件,均设置在所述第一直角面法线的同一侧;光发射组件包括一光源,在光源光路上设置有偏光元件和光准直元件;光接收组件包括检测器和成像元件组;一进样系统包括样品流动池和样品驱动机构;一电气控制系统电连接所述入射角读数器、制动元件、检测器、样品流动池和样品驱动机构;一上位机采集图像、入射角度和温度,并通过电气控制系统控制其它设备。本发明保证了系统的稳定性,实现了入射光的宽角度扫描,可用于包括复杂生物样品在内的各种样品的微量高通分析,药物检测或筛选等工作环境中。
25 一种表面等离子共振耦合光学元件 CN200910235770.3 2009-10-23 CN101692036A 2010-04-07 陈义; 张轶鸣
发明涉及一种表面等离子共振耦合光学元件,其特征在于:它包括一直棱镜,所述直角棱镜上的一个侧面为矩形且垂直于底面,与垂直的矩形侧面相对的侧面为斜面,该斜面与所述底面成一角度,所述直角棱镜上剩下的两个侧面相互平行;所述矩形侧面的外表面设置有传感膜和反射涂层之一,与此相对应,与所述矩形侧面垂直的底面的外表面设置有所述反射涂层和传感膜之一。本发明加工装配简易,可以广泛用在微量高通分析中的角度扫描的表面等离子共振光谱系统以及表面等离子共振成像系统。
26 表面等离子共振测量装置和方法 CN200610103280.4 2006-07-24 CN101113887A 2008-01-30 吴宝同
发明的测量方法或装置是利用表面等离子共振原理实现,可测量两个物体间的微小间隙、位移或相对位置。本发明的测量方法首先提供一含横磁(TM)波光束,并利用所述光束产生所述二个物体中一者的表面等离子共振现象。之后测量所述光束的反射光或穿透光信号大小,并通过所述微小间隙宽度小于等于2倍表面等离子波穿透深度时,表面等离子共振现象对所述微小间隙、位移或相对位置的变化有灵敏反应的特性,由信号大小的变化获得所述微小间隙、位移大小或相对位置。藉此,可测量比2倍穿透深更小或可达10nm以下的间隙宽度、位移、相对位置或表面平坦度。
27 一种表面等离子共振芯片的再生方法 CN200710024054.1 2007-07-16 CN101101289A 2008-01-09 罗昭锋; 欧惠超; 李磊珂; 陈宇春; 张微微; 燕云峰
发明表面等离子共振芯片的再生方法,特征是采用硫酸-双混合液处理芯片,使芯片表面基质彻底去除后,借助金属表面自组装技术在芯片表面重新构建不同类型的基质,最后将芯片固定于芯片支架上,从而实现废旧芯片的再生;本发明具有再生芯片类型不受限制、可重复实施的优点,再生后的芯片能达到商业化芯片相同的性能,解决了表面等离子共振芯片不能重复利用的问题。
28 光激发彩色表面等离子体共振成像仪 CN200610011926.6 2006-05-18 CN101074928A 2007-11-21 陈义; 申刚义; 齐莉
一种光激发彩色表面等离子体共振成像仪,主要由光源、入射光度调制系统、样品分析系统、温控系统、检测系统、数据采集管理系统组成。该仪器以复色光作为激发光源,利用全反射介质耦合来激发传感膜的表面等离子体并与之共振,由此产生与实验样品性质相关的彩色(包括黑白)图像,进而实现对样品进行分析与检测的目的。本发明既可以进行单种样品分析,还可以对传感膜进行微点阵处理,形成彩色光学芯片成像技术,实现样品的高通量、多点平行分析。根据样品所引起的彩色共振图像的变化,本仪器不但可以对各种生物分子及非生物样品组分进行定性和定量分析,还可实时动态研究样品性质和生物分子相互作用。
29 度扫描表面等离子体共振测量系统 CN200510108184.4 2005-10-09 CN1766575A 2006-05-03 格雷戈里·D·范维格瑞恩; 道格拉斯·M·巴内
发明公开了一种度扫描SPR测量系统,其根据控制信号在偏转角范围内偏转光束,并将已偏转光束映射到与偏转角范围对应的入射角范围内的目标。
30 多通道光纤型表面等离子共振谱仪 CN201710209613.X 2017-03-31 CN106918579B 2023-08-25 王利兵; 苏荣欣; 刘伯实; 丁利; 齐崴; 王季诚
发明公开了一种多通道光纤型表面等离子共振谱仪,包括:光路系统、液路系统和控制系统,光路系统包括光源、多通道光纤转换器、分束光纤、核心传感器光谱仪,多通道光纤转换器分别与光源、光谱仪及多根分束光纤连接;每根所述分束光纤分别与一个核心传感器连接;每个核心传感器分别插入多通道样品池的一个传感器插入口;液路系统包括多通道样品池和废液收集器,样品依次流经多通道样品池,在核心传感器上实现不同组分的检测;所述控制系统为一计算机,其通过数据传输线控制光谱仪和多通道光纤转换器并对光谱仪采集的信号进行分析处理。本发明通过多通道光纤转换器和控制系统,经一次进样即可对样品的多个不同指标进行检测。
31 一种表面等离子体共振传感系统 CN201810060764.8 2018-01-22 CN108362668A 2018-08-03 陈郁芝; 李学金; 周华胜; 洪学明
发明公开了一种表面等离子体共振传感系统,该系统包括:介质层容器、折射率可变介质、等离子体层、待测液体、光源和反射光接收及处理器,介质层容器中有三层介质结构,该介质层容器的底层为折射率可变介质,中层为等离子体层,上层为待测液体。光源发出的光入射到待测液体中,在待测液体与折射率可变介质的界面上发生全反射,该全反射的反射光反射到反射光接收处理器中,反射光接收处理器接收并处理反射光。待测液体为光波导介质,当改变光波导介质的折射率使其不满足该系统的工作条件时,再相应地改变折射率可变介质的折射率,使其再一次满足该系统的工作条件,该系统将可以检测一个新折射率检测区间,从而使该系统外界折射率检测区间变化。
32 一种磁光表面等离子体共振传感器 CN201710122592.8 2017-03-03 CN106950198A 2017-07-14 毕磊; 刘传
发明属于光学传感领域,具体涉及一种磁光表面等离子体共振传感器。本发明提供的磁光表面等离子体共振传感器,其磁性材料薄膜合金FexCo1‑x薄膜,其中0<x<1。本发明利用铁钴合金磁光效应远强于钴的特性,将铁钴合金FexCo1‑x薄膜作为磁性材料薄膜,以增强磁场对器件的调制能;相对于现有二层和三层结构的磁光表面等离子体传感器,其灵敏度提高至原有的1~2倍;相对于磁性化物Ce‑YIG的磁光表面等离子体传感器,降低了成本;并且本发明适用于各种结构的磁光表面等离子体传感器。
33 多通道光纤型表面等离子共振谱仪 CN201710209613.X 2017-03-31 CN106918579A 2017-07-04 王利兵; 苏荣欣; 刘伯实; 丁利; 齐崴; 王季诚
发明公开了一种多通道光纤型表面等离子共振谱仪,包括:光路系统、液路系统和控制系统,光路系统包括光源、多通道光纤转换器、分束光纤、核心传感器光谱仪,多通道光纤转换器分别与光源、光谱仪及多根分束光纤连接;每根所述分束光纤分别与一个核心传感器连接;每个核心传感器分别插入多通道样品池的一个传感器插入口;液路系统包括多通道样品池和废液收集器,样品依次流经多通道样品池,在核心传感器上实现不同组分的检测;所述控制系统为一计算机,其通过数据传输线控制光谱仪和多通道光纤转换器并对光谱仪采集的信号进行分析处理。本发明通过多通道光纤转换器和控制系统,经一次进样即可对样品的多个不同指标进行检测。
34 一种表面等离子体共振耦合光学元件 CN201410018681.4 2014-01-15 CN103728280B 2016-01-20 许吉英; 陈义
发明涉及一种表面等离子体共振耦合光学元件,所述光学元件包括一软质腔体、两个光学窗口、一传感芯片、一样品流通池;所述两个光学窗口分别密封安装于软质腔体的两个相对的开口,分别用作表面等离子体共振耦合光学元件的激发光入射光学窗口和反射光出射光学窗口,所述传感芯片密封安装于软质腔体的中心开口,形成一密封的空腔;所述光学元件还包括光学透明的液体,充满于该密封的空腔;所述样品流通池位于传感芯片上。本发明的光学元件能够保持激发光线与入射光学窗口、反射光线与出射光学窗口始终垂直、无需度校正、传感芯片固定无需使用粘结油、减少多界面反射干扰等优点。可广泛应用于表面等离子体共振系统和表面等离子体共振成像系统。
35 表面等离子体共振成像检测装置 CN201310673822.1 2013-12-11 CN103728272A 2014-04-16 王丽红; 汪之又; 刘鸿; 朱劲松
发明实施例公开了一种表面等离子体共振成像检测装置包括:基座、光学平台、光学棱镜、光源、图像接收装置、同步扫描装置,所述同步扫描装置包括:电机、滑导轨、滑块、连杆组、入射臂及反射臂;所述连杆组包括:分别与滑块连接的第一连杆和第二连杆,第一连杆和第二连杆构成倒V型杆;与第一连杆另一端连接的第三连杆,所述第一连杆和第三连杆构成V型杆;与第二连杆另一端连接的第四连杆,第二连杆与第四连杆构成V型杆;与第一连杆和第三连杆的连接点、第二连杆和第四连杆的连接点滑动连接的圆弧导轨,第一连杆和第三连杆的连接点、第二连杆和第四连杆的连接点沿圆弧导轨保持对称滑动,从而提高了表面等离子体共振成像检测装置的检测精度
36 表面等离子体共振感测仪 CN201010002516.1 2010-01-08 CN102121899B 2013-07-03 李钟沛; 曹育嘉; 蔡五湖; 许翔志
发明公开了一种表面等离子体共振感测仪,尤指一种携带方便,且其光纤感测单元的表面等离子体共振波长是位于单模光纤或多模光纤的传输波段内的表面等离子体共振感测仪。其包括:一光源单元、一光纤感测单元、一光传感器、多条光纤以及一运算显示单元。其中,光纤感测单元具有一凹槽、一披覆层、一核心层、一第一金属层及多数层介电薄膜层,且第一金属层是位于凹槽之上,多数层介电薄膜层则形成于第一金属层之上。光源单元所提供的光源在通过光纤感测单元之后便会产生一光信号,光传感器将此光信号对应转换为一电信号,以供运算显示单元运算之用。
37 一种高精度表面等离子共振检测方法 CN201010572238.3 2010-12-03 CN102103078B 2012-08-29 郑铮; 曾勰; 万育航
发明公开了一种高精度表面等离子检测方法:在相同实验条件下,对同一SPR检测系统进行多次信号采集,得到多条具有微小随机平移的SPR曲线并估计它们之间的相对微平移,在此基础上进一步估计一个期望的绝对位置向量,从而克服了SPR曲线采集过程中的位置不确定性;同时,通过融合这多条具有微平移的SPR曲线间的不同信息,在该期望绝对位置上估计得到一条更精确的、更高采样密度的SPR曲线,从而提高所获SPR传感信息的准确性以及SPR系统的检测极限。
38 多通道无线级联表面等离子共振谱仪 CN201210110728.0 2012-04-17 CN102645419A 2012-08-22 王利兵; 周鹏; 苏荣欣
一种多通道无线级联表面等离子共振谱仪,其特征在于:包括独立的8通道表面等离子共振谱无线检测模(8-channel-SPR)若干台,和用于无线数据接收、数据处理与控制的主控计算机一台。其中,8-channel-SPR模块可任意配置1~12台,主控计算机可以对区域内的8-channel-SPR模块自动识别,最多可组成96通道的表面等离子共振谱仪,实现96个样本的同时高通量分析。该仪器采用分布式采集,集中管理的框架结构,采用无线级联方式突破了空间的限制,配置方便灵活,可满足不同规模应用。同时,每个独立的8-channel-SPR包括微流控系统、SPR传感系统、分时复用的光纤光谱检测系统,自动控制系统及无线传输模块等五部分,可快速完成海量样品检测,具有超灵敏度、高通量、低成本等特点。
39 一种毛细管表面等离子共振传感器 CN201210097543.0 2012-04-05 CN102608075A 2012-07-25 王晓萍; 詹舒越
发明公开了一种毛细管表面等离子共振传感器,包括沿光路依次布置的LED光源准直镜、望远系统、偏振片、兼做流通池的毛细管与CCD探测器;所述的毛细管外表面有增透膜,内表面镀有金属薄膜;偏振片得到的偏振光经毛细管外表面增透膜折射进入毛细管,经毛细管内表面金属薄膜反射进入CCD探测器。本发明提供的毛细管等离子共振传感器,通过使用内表面镀有金属薄膜的毛细管来实现光束形态的转换和SPR的激发,替代了传统的棱镜耦合方式,同时毛细管兼做流通池,将传感器和流通池集于一体,使得传感器系统的结构更加小型化,成本更低,使用更方便可靠。
40 一种相位表面等离子共振传感器 CN201010503862.8 2010-10-12 CN102033052A 2011-04-27 叶高翱; 罗辰杰; 钱骏; 何赛灵
发明涉及一种相位表面等离子共振传感器。传统的相位型表面等离子共振传感器采用压电陶瓷位移平台来调节相位,其价格昂贵,且相位调制的重复性不好,导致传感精度受限。本发明包括激光器、起偏器、第一分束器、第二分束器、第一检偏器、第二检偏器、第一探测器、第二探测器、表面等离子共振棱镜、样品池和金属调制器。金属调制器中的第一金属反射片与第二金属反射片正交设置在固定架上,固定架与旋转平台连接,高反镜所在的平面与入射到金属调制器的光束垂直。进入金属调制器的光束经第一金属反射片、第二金属反射片反射后到达高反镜。高反镜反射光经第二金属反射片、第一金属反射片后原路返同。本发明可以高精度,准确地检测样品折射率。
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