1.一种机电系统EMS装置，其包括：
第一电极，其由衬底支撑；
可移动层，其通过间隙与所述第一电极分离；
第二电极，其由所述可移动层支撑，其中所述第一电极或者第二电极中的一个电极是包含位于第一驱动电极与第二驱动电极之间的多个隔离电极段的分段电极，其中所述多个隔离电极段中的每一个既与所述第一驱动电极和第二驱动电极又与其他隔离电极段均电隔离，且其中所述第一电极或者第二电极中的另一个用作第一驱动电极；以及第二驱动电极，其中在所述第一驱动电极和所述第二驱动电极之间的电压施加以静电方式使所述可移动层位移。
2.根据权利要求1所述的EMS装置，其中所述第一驱动电极和所述分段电极形成第一电容器，且其中所述第二驱动电极和所述分段电极形成与所述第一电容器串联的第二电容器。
3.根据权利要求1或2中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述装置包含干涉式调制器。
4.根据权利要求3所述的EMS装置，其中：
所述可移动层可在稳定位置范围内移动，其中所述第一驱动电极和所述第二驱动电极之间的电压施加将所述可移动层维持在所述稳定位置范围内的位置处；
当所述可移动层抵靠所述第一电极塌缩时，所述干涉式调制器能够实质上反射白光；
以及
当所述可移动层维持在所述稳定位置范围内的至少一个位置中时，所述干涉式调制器能够显现黑色。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的EMS装置，其另外包含驱动电路，所述驱动电路能够在所述第一驱动电极和所述第二驱动电极之间施加电压范围，以使所述可移动层移动穿过松弛位置与距所述第一电极的最小稳定距离之间的稳定位置范围，在所述松弛位置中在所述第一驱动电极和所述第二驱动电极之间不施加电压。
6.根据权利要求5所述的EMS装置，其中所述最小稳定距离小于所述松弛位置和所述第一电极之间的距离的40％。
7.根据权利要求1或2中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述第二电极是所述分段电极。
8.根据权利要求7所述的EMS装置，其中所述可移动层包含：
所述第二驱动电极，其中所述驱动电极和所述第一电极之间的电压施加以静电方式使所述可移动层位移，且其中所述多个隔离电极段位于所述第二驱动电极和固定电极之间，以及
电介质层，其位于所述第二驱动电极和所述第一电极之间，其中所述多个隔离电极段中的每一个既与所述第二驱动电极又与所述其他隔离电极段电隔离。
9.根据权利要求7或8所述的EMS装置，其中所述多个隔离电极段从所述可移动层的边缘凹入。
10.根据权利要求7至9中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述第一电极包含光学吸收体，且其中所述隔离电极段包含反射材料。
11.根据权利要求1或2中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述第一电极是包含所述多个隔离电极段的分段光学吸收体。
12.根据权利要求11所述的EMS装置，其中所述第二驱动电极与所述分段光学吸收体电隔离，且其中所述分段光学吸收体设置于所述固定电极和所述第二电极之间。
13.根据权利要求12所述的EMS装置，其中所述第二驱动电极比所述分段光学吸收体对可见光波长更具透射性。
14.根据权利要求12所述的EMS装置，其中所述第二驱动电极包含实质上透明厚度的导电氧化物。
15.根据权利要求12至14中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述衬底位于所述第一驱动电极和所述分段光学吸收体之间。
16.根据权利要求12至14中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述第一驱动电极位于所述衬底和所述分段光学吸收体之间。
17.根据权利要求12至16中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述分段光学吸收体包含分段光学吸收体区段之间的至少一个间隙，所述装置另外包含与分段光学吸收体结构电隔离的第二光学吸收体结构，与所述分段光学吸收体区段之间的所述至少一个间隙对准。
18.根据权利要求17所述的EMS装置，其中所述第二光学吸收体结构的至少一部分具有与分段光学吸收体区段之间的所述至少一个间隙实质上相同的尺寸和形状。
19.根据权利要求1至18中任一权利要求所述的EMS装置，其中每一个别隔离电极段在所有侧面上都由电介质材料包围。
20.根据权利要求19所述的EMS装置，其中所述多个隔离电极段包含由电介质材料的两个实质上垂直区段分离的四个隔离电性段。
21.根据权利要求1至20中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述固定电极的表面积小于所述隔离电极段的表面积。
22.根据权利要求1至21中任一权利要求所述的EMS装置，进一步包含：
处理器，其能够与所述第一驱动电极和所述第二驱动电极中的至少一个通信，所述处理器能够处理图像数据；以及
存储器，其能够与所述处理器通信。
23.根据权利要求22所述的EMS装置，进一步包含：
驱动器电路，其能够将至少一个信号发送到所述第一电极和所述驱动电极中的至少一个；以及
控制器，其能够将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。
24.根据权利要求22或23中任一权利要求所述的EMS装置，进一步包含能够将所述图像数据发送到所述处理器的图像源模块，其中所述图像源模块包含接收器、收发器以及发射器中的至少一个。
25.根据权利要求22至24中任一权利要求所述的EMS装置，进一步包含输入装置，其配置成接收输入数据并向所述处理器传送所述输入数据。
26.一种制造机电系统EMS装置的方法，其包括：
在衬底上方形成第一电介质层；
在所述第一电介质层上方形成第一电极层；
在所述第一电极层中形成多个隔离电极段；
在所述多个隔离电极段上方形成第二电介质层；以及
在所述第二电介质层上方形成第二电极层。
27.根据权利要求26所述的方法，其中形成多个隔离电极段包含图案化所述第一电极层，以形成通过延伸穿过所述第一电极层的两个实质上垂直切口来分离的一组四个隔离电性段。
28.根据权利要求26所述的方法，其中形成第一电介质层包含形成电介质层的堆叠，所述电介质层的堆叠包含：
第一电介质子层，其包含具有第一折射率的第一材料；以及
第二电介质子层，其包含具有第二折射率的第二材料，其中所述第一折射率大于所述第二折射率。
29.根据权利要求28所述的方法，其中形成所述电介质层的堆叠包含：
在牺牲层上方形成所述第一电介质子层；以及
在所述第一电介质子层上方形成所述第二电介质子层。
30.根据权利要求26所述的方法，其中所述第一电介质层形成于位于第三电极层上方的牺牲层上方，所述方法另外包含在形成所述第二电极层之后执行蚀刻以移除所述牺牲层，从而在所述第一电介质层和所述第三电极之间形成间隙。
31.根据权利要求26所述的方法，其中所述第一电介质层形成于第三电极层上方，所述方法另外包含：
在所述第二电介质层上方形成牺牲层，其中所述第二电极层形成于所述牺牲层上方；
以及
在形成所述第二牺牲层之后执行蚀刻以移除所述第二牺牲层，从而在所述第二电介质层和所述第二电极之间形成间隙。
32.一种机电系统EMS装置，其包括：
第一电极，其由衬底支撑；
可移动层，其通过间隙与所述第一电极分离；
第二电极，其由所述可移动层支撑，其中所述第一电极或第二电极中的一个是浮动电极，所述浮动电极包含用于抑制所述可移动层内的电荷不平衡积聚以增加所述可移动层的稳定位置范围的装置，且其中所述第一电极或第二电极中的所述另一个用作第一驱动电极；以及
第二驱动电极，其中所述第一驱动电极和所述第二驱动电极之间的电压施加以静电方式使所述可移动层位移。
33.根据权利要求32所述的EMS装置，其中所述浮动电极是分段电极，其中所述抑制装置包含位于所述第一驱动电极与所述第二驱动电极之间的多个隔离电极段，且其中所述多个隔离电极段中的每一个既与所述第一驱动电极和第二驱动电极又与所述其他隔离电极段两者电隔离。
34.根据权利要求33所述的EMS装置，其中所述第一驱动电极和所述分段电极形成第一电容器，且其中所述第二驱动电极和所述分段电极形成与所述第一电容器串联的第二电容器。
35.根据权利要求33或34中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述第二电极是所述分段电极，且其中所述可移动层包含：
所述第二驱动电极，其中所述驱动电极和所述第一电极之间的电压施加以静电方式使所述可移动层位移，且其中所述多个隔离电极段位于所述第二驱动电极和固定电极之间，以及
电介质层，其位于所述第二驱动电极和所述第一电极之间，其中所述多个隔离电极段中的每一个既与所述第二驱动电极又与所述其他隔离电极段电隔离。
36.根据权利要求33或34中任一权利要求所述的EMS装置，其中所述第一电极是分段光学吸收体，所述分段光学吸收体包含所述多个隔离电极段，其中所述第二驱动电极与所述分段光学吸收体电隔离，且其中所述分段光学吸收体设置于所述固定电极和所述第二电极之间。
37.根据权利要求36所述的EMS装置，其中所述第二驱动电极比所述分段光学吸收体对可见光波长更具透射性。