图2是现有技术中用于运送大型基板的机械手的俯视图。
在图中，标号1表示机械臂；标号2表示与机械臂1的前端相连的 机械手；以及标号3表示放置在机械手上的液晶玻璃基板。
机械手2包括安装在机械臂1上的基座21，以及平行地安装于基座 21的一对支撑构件22。基座21和成对的支撑构件22形成C字形的平面 形状。这些支撑构件22在它们的上表面上设置有未示出的吸附装置，以 便吸附和固定液晶玻璃基板3。
随着近年来液晶玻璃基板的大型化，机械手也大型化。然而，机械 手必须在有限的空间内被操纵。结果产生了以下问题：即，机械手会与 外围设备等碰撞，然后破坏外围设备或正被运送的液晶基板。

因此，本发明的一个目的是提供这样一种机械手，当机械手与外围 设备等碰撞时，该机械手能通过检测到碰撞而使机器人停止，还能吸收 碰撞的冲击，从而减少因碰撞而造成的损坏的发生。
为了实现上述目的，根据本发明的权利要求1，提供了一种机械臂， 其包括安装在机械臂前端上的基座，和平行地安装于基座的一对支撑构 件，用于在支撑构件上放置和运送大型基板，其中填充有流体的可膨胀/ 可收缩的中空构件安装于所述支撑构件的前端。在权利要求2的发明中， 机械手还包括用于检测填充在中空构件中的流体的压力的传感器。而且， 在权利要求3的发明中，传感器安装在基座中，且中空构件和传感器通 过埋设在支撑构件中的管线连接。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施例的机械手的俯视图；图2是表示现 有技术的示例的机械手的俯视图。

以下将参考附图说明本发明的实施例。
图1是示出了本发明的实施例的机械手的俯视图，部分为剖面图。 与现有技术共用的部分用相同的标号表示，这样省略了对它们的描述。
在图1中，标号41表示中空构件，它们被安装在支撑构件22的前 端。中空构件41由可膨胀/可收缩的盒或袋制成，盒或袋的材料为橡胶、 软合成树脂或类似物。中空构件41被流体填充。用于填充中空构件41 的该流体最好如清洁空气一样，即使它泄漏到外部也不会污染环境。但 是，也可以选择适于该目的的其他气体或液体，例如水或油。
标号42表示管线，标号43表示压力传感器。管线42是设置在支撑 构件22内的乙烯基塑料管，用于将在中空构件41中填充的流体的压力 传递到压力传感器43。该传感器43安装在基座中，用于检测填充在中空 构件41中的流体压力，由此将表示流体压力升高(如果有的话)的信号 传递到机器人的控制装置(未示出)。
这里将说明该机械手2的功能。当机械手2的前端与外界物质(例 如外围设备)接触时，中空构件41发生变形从而填充在其中的流体的压 力升高。压力传感器43检测到压力升高并将信号传送到机器人的控制装 置。响应于该信号，机器人的控制装置判断机械手2与外界物质接触并 立即停止机器人。而且，机械手2和外界物质之间的接触而产生的冲击 被中空构件41的变形吸收了。简而言之，中空构件41作为撞击吸收垫， 这样它们可以防止机械手2和外界物质被严重损坏。
在此之前已经说明，本发明具有能用简单机构可靠地检测机械手和 外界物质之间的接触的优点。另一个优点是：由于压力传感器和中空构 件通过管线连接，因此压力传感器可以放置在远离中空构件的位置。再 一优点是：由于放置传感器的位置可以自由选择，所以很容易设计在压 力传感器和待传送物体之间没有干涉的机械手。
工业应用性
本发明对用于传送例如液晶玻璃基板的大型基板的机械手来说是有 用的。