压电马达、机器人手、机器人、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置 |
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| 申请号 | CN201310420473.2 | 申请日 | 2013-09-16 | 公开(公告)号 | CN103684036A | 公开(公告)日 | 2014-03-26 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社; | 发明人 | 西村義辉; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供压电 马 达、 机器人 手、机器人、 电子 部件搬运装置、电子部件检查装置、送液 泵 、打印装置、电子表、投影装置以及搬运装置。由相对于振动体设置于弯曲方向的两侧的第一侧部以及第二侧部、连结第一侧部以及第二侧部的连结部等构成振动体壳体。这样的话，振动体的相对于弯曲方向的刚性能够变高，并且能够抑制振动体壳体发生歪斜。另外，由于该构造在能够确保相同刚性的情况下能够使振动体壳体变小，因此能够确保较高的刚性并且能够使振动体壳体小型化。因此，能够实现抑制压电马达的大型化并且充分确保驱动 精度 的压电马达。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种压电马达，其特征在于，具备： |
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| 说明书全文 | 压电马达、机器人手、机器人、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置 技术领域背景技术[0002] 公知有如下方式的压电马达（专利文献1），即、通过将驱动电压施加于以包含压电材料的方式形成的振动体，从而使伸缩振动和弯曲振动同时发生，并通过设置于振动体的端面的凸部摩擦驱动对象物。由于压电马达使振动体以小振幅且高频率振动来驱动对象物，因此具有能够以较高的分辨率定位对象物，并且能够迅速地驱动对象物的优点。 [0003] 由于这种方式的压电马达通过与凹部之间的摩擦力来驱动对象物，因此需要在将凸部推抵于对象物的状态下使用。另外，为了得到较大的驱动力，需要以较强的力将凸部推抵于对象物，为此，希望牢固地保持振动体。另一方面，鉴于驱动原理，需要以不妨碍振动体的振动的方式保持振动体。 [0004] 因此，提出了以下方法（专利文献2），即，将振动体收容于振动体壳体并将振动体壳体收容于外侧壳体，从而将压电马达形成为具有二层壳体的构造，并利用设置于振动体壳体与外侧壳体之间的弹簧，将振动体（以及振动体的凸部）连同振动体壳体一起推抵于对象物。在该方法中，通过将振动体壳体形成为相对于外侧壳体能够滑动，从而能够以振动体壳体仅向对象物的方向移动的方式用外侧壳体牢固地保持振动体壳体（以及振动体），并且能够以不妨碍振动体的振动的方式用振动体壳体保持振动体。 [0005] 专利文献1：日本特开2008-187768号公报 [0006] 专利文献2：日本特开2009-33788号公报 [0007] 但是，在将内置有振动体的振动体壳体收容于外侧壳体的类型的压电马达中，并不知道将振动体壳体设置为怎样的构造才好。即，若振动体壳体的刚性不足，则振动体壳体会因振动体的振动、驱动对象物时的反作用力而发生歪斜，从而对象物的驱动精度降低、或者对与外侧壳体之间的滑动产生障碍，进而不能将振动体的凸部推抵于对象物。另一方面，若虽然提高了振动体壳体的刚性但振动体壳体变大，由于必须将变大的振动体壳体收容于外侧壳体，因此压电马达更加变大。另外，还需要考虑用于对振动体施加驱动电压的布线的引绕，不优选为了布线的引绕而牺牲振动体壳体的刚性。这样，振动体壳体的构造对压电马达的尺寸、驱动精度、布线向振动体的引绕有很大影响，存在还未考虑到从这些观点出发的振动体壳体的构造的问题。 发明内容[0008] 本发明是为了解决现有技术所具有的上述课题而完成的发明，其目的在于提供一种压电马达，该压电马达具备振动体壳体，该振动体壳体能够抑制压电马达的大型化且保证驱动精度，并且能够容易地引绕布线。 [0009] 为了解决上述课题的至少一部分，本发明的压电马达采用了以下结构。即，本发明的压电马达的主旨在于，具备：振动体，其包含压电材料，并且通过被施加电压从而沿伸缩方向以及弯曲方向振动；以及振动体壳体，其收容有上述振动体，上述振动体壳体具有：第一侧部，其相对于上述振动体设置于上述弯曲方向；第二侧部，其隔着上述振动体设置于上述第一侧部的相反侧；以及连结部，其相对于上述振动体设置于与上述弯曲方向以及上述伸缩方向正交的方向，从而连结上述第一侧部和上述第二侧部。 [0010] 在这种本发明的压电马达中，收容振动体的振动体壳体具备相对于振动体设置于弯曲方向的两侧的第一侧部以及第二侧部、和连结第一侧部以及第二侧部的连结部。公知对于这样用连结部连结设置于弯曲方向的两侧的第一侧部以及第二侧部的构造而言，朝向弯曲方向的断面惯性矩较大。因此，由于能够提高振动体壳体的相对于振动体的弯曲方向的 刚性，因此能够抑制振动体壳体发生歪斜的情况。另外，虽然后面会详细叙述，但是根据材料力学的相关知识了解到，对于用连结部连结第一侧部以及第二侧部的构造而言，由于几乎不产生对刚性帮助较少的部分，因此只要能够确保相同的刚性，就能够使振动体壳体变小。而且，能够将振动体收容于用第一侧部的平面、第二侧部的平面和连结部的平面包围的部分。这样，本发明的压电马达所具备的振动体壳体的构造成为能够确保较高的刚性并且能够使振动体壳体小型化的构造。因此，能够实现能够抑制压电马达的大型化并且充分确保驱动精度的压电马达。 [0011] 另外，在上述本发明的压电马达中，也可以将第一侧部的伸缩方向的长度、第二侧部的伸缩方向的长度以及连结部的伸缩方向的长度形成为比振动体的伸缩方向的长度长。 [0012] 这样的话，由于能够将振动体的整体收容于振动体壳体，因此能够避免任何部件与振动体干涉从而振动体损伤的情况。 [0013] 另外，在上述本发明的压电马达中，第一侧部、第二侧部以及连结部具有板状部分，而且，连结部所具有的板状部分的板厚也可以形成为比第一侧部所具有的板状部分的板厚以及第二侧部所具有的板状部分的板厚薄。 [0014] 根据材料力学的相关知识了解到，即使连结部的板厚比第一侧部、第二侧部的板厚薄，刚性也几乎不会降低。因此，通过这样，能够以几乎不会降低刚性的方式将振动体壳体小型化。 [0015] 另外，在上述本发明的压电马达中，在连结部的面对振动体的平面，也可以将支承振动体的凸部形成于与弯曲方向的振动的节点对应的位置。这里“与振动的节点对应的位置”是指在从振动体的厚度方向（与振动体的弯曲方向以及伸缩方向正交的方向）观察时，与弯曲方向的振动的节点重叠的位置。 [0016] 这样的话，由于连结部的凸部与振动体接触，因此能够将振动体振动时所产生的热经由凸部向振动体壳体放热。因此，能够避免由于振动体成为高热从而特性发生变化、压电马达的性能降低、寿命变短的情况。另外，由于凸部设置于振动的节点的部分，因此能够抑制妨碍振动体振 动的情况。并且，由于还能够抑制在凸部与振动体接触的接触部分产生较大的摩擦，因此能够抑制磨损、摩擦热等产生，从而还能够抑制阻碍从振动体放热的危险。 [0017] 另外，在上述本发明的压电马达中，也可以如以下这样。首先，在连结部的面对振动体的平面，且在与弯曲方向的振动的节点对应的位置，形成有凹部。而且，还可以在凹部设置有缓冲部，从而用该缓冲部支承振动体。 [0018] 这样的话，由于支承振动体的缓冲部形成于凹部，因此能够抑制缓冲部的位置因振动体振动时的力而发生错位。 [0019] 另外，在上述本发明的压电马达中，也可以如以下这样。在连结部的面对振动体一侧，且在与弯曲方向的振动的节点对应的位置，设置有缓冲部，从而用缓冲部支承振动体。而且，还可以将连结部的平面的至少设置有缓冲部的部分形成为凹凸形状。 [0020] 这样的话，由于支承振动体的缓冲部以凹凸形状啮入，因此能够抑制缓冲部因振动体振动时的力而发生错位。 [0021] 另外，本发明的压电马达采用了以下结构。即，本发明的压电马达的主旨在于，具备：振动体，其包含压电材料，并且通过被施加电压从而沿伸缩方向以及弯曲方向振动；以及振动体壳体，其收容有上述振动体，上述振动体壳体具有：第一侧部，其相对于上述振动体设置于上述弯曲方向；第二侧部，其隔着上述振动体设置于上述第一侧部的相反侧；以及连结部，其相对于上述振动体设置于与上述弯曲方向以及上述伸缩方向正交的方向，从而连结上述第一侧部和上述第二侧部，在上述第一侧部或者上述第二侧部，设置有贯通孔。 [0022] 在这种本发明的压电马达中，收容振动体的振动体壳体具备相对于振动体设置于弯曲方向的两侧的第一侧部以及第二侧部、和连结第一侧部以及第二侧部的连结部。公知对于这样用连结部连结设置于弯曲方向的两侧的第一侧部以及第二侧部的构造而言，朝向弯曲方向的断面惯性矩较大。因此，由于能够提高振动体壳体的相对于振动体的弯曲方向的刚性，因此能够抑制振动体壳体发生歪斜。另外，虽然后面会详细叙述， 但是根据材料力学的相关知识了解到，对于用连结部连结第一侧部以及第二侧部的构造而言，由于几乎不产生对刚性帮助较少的部分，因此只要能够确保相同的刚性，就能够使振动体壳体变小。而且，能够将振动体收容于用第一侧部的平面、第二侧部的平面和连结部的平面包围的部分。并且，由于在第一侧部或者第二侧部设置有贯通孔，因此能够通过贯通该贯通孔从而在振动体布线。而且，由于在第一侧部或者第二侧部仅设置有贯通孔，因此也几乎不会发生振动体壳体的刚性降低的情况。因此，能够实现能够抑制压电马达的大型化且确保驱动精度的压电马达，并且能够实现还能够引绕布线的压电马达。 [0023] 另外，在上述本发明的压电马达中，贯通孔也可以设置于与振动体沿弯曲方向振动时的振动的节点对应的位置。这里“与振动的节点对应的位置”是指在从振动体的厚度方向（与振动体的弯曲方向以及伸缩方向正交的方向）观察时，与弯曲方向的振动的节点重叠的位置。 [0024] 这样的话，为了尽可能不对振动体的振动造成影响，可以布线于振动的节点存在的振动体的长边方向中央的位置。 [0025] 另外，在上述本发明的压电马达中，贯通孔也可以相对于振动体的弯曲方向倾斜设置。 [0026] 根据在搭载压电马达时布局上的情况等，也会产生需要斜着引出布线电缆的情况。在这种情况下，只要相对于振动体的弯曲方向倾斜设置贯通孔，即使不强行折弯布线电缆，也能够沿贯通孔的方向引出布线电缆。 [0027] 另外，在上述本发明的压电马达中，设置有贯通孔的第一侧部或者第二侧部由多个部件形成，贯通孔也可以设置于多个部件之间。 [0028] 这样的话，例如由于在部件形成有槽并且将这些部件组合从而还能够形成有贯通孔，因此能够提高形成贯通孔时的自由度、或者提高与贯通孔的形状有关的自由度。 [0029] 另外，在上述本发明的压电马达中，在连结部的面对振动体一侧，也可以在与贯通孔对应的位置，设置有凹部。这里，“与贯通孔对应的位置”是指相对于振动体的伸展方向与贯通孔重叠的位置。 [0030] 这样的话，在从振动体壳体的外侧向振动体布线时，能够将通过贯通孔的布线电缆导向凹部，从而从凹部向振动体布线。因此，即使振动体与连结部的缝隙较窄，布线也很容易。 [0032] 在压电马达驱动对象物时，或者在搭载有压电马达的机器作动时，布线电缆有可能会振动。即使在这种情况下，只要在第一侧部或者第二侧部的贯通孔开口的位置的角部，设置有倒角部或者曲线部，就能够避免布线电缆与角部发生摩擦从而损伤的情况。 [0033] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为机器人手来充分理解，在包含多个指部并把持对象物的机器人手中，上述机器人手的特征在于，具备：基体，在该基部立设有能够移动的上述指部；以及上述压电马达，其使上述指部相对于上述基体移动。 [0034] 在这种本发明的机器人手中，由于能够提高振动体壳体的朝向振动体的弯曲方向的刚性，因此能够抑制振动体壳体发生歪斜的情况。另外，只要能够确保相同的刚性，就能够使振动体壳体变小。因此，由于能够抑制压电马达的大型化并且确保驱动精度，因此能够实现高性能的机器人手。 [0035] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为机器人来充分理解，在具备设置有能够转动的关节部的臂部、设置于上述臂部的手部、以及设置有上述臂部的主体部的机器人中，上述机器人的特征在于，具有上述压电马达，上述压电马达设置于上述关节部从而使上述节点部弯曲或者旋转驱动。 [0036] 根据这种本发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且高定位精度的高性能的机器人。 [0037] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为电子部件搬运装置来充分理解，上述电子部件搬运装置的特征在于，具备：把持部，其把持电子部件；以及上述压电马达，其驱动把持有上述电子部件的上述把持部。 [0038] 根据这种本发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且高定位精度、高搬运精度的电子部件搬运装置。 [0039] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为电子部件检查装置来充分理解，上述电子部件检查装置的特征在于，具备：把持部，其把持电子部件；上述压电马达，其驱动把持有上述电子部件的上述把持部；以及检查部，其检查上述电子部件。 [0040] 根据这种本发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且高定位精度、高搬运精度的电子部件检查装置。 [0041] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为送液泵来充分理解，上述送液泵的特征在于，具备：液体管，液体能够在其流动；闭塞部，其与上述液体管的一部分抵接从而闭塞上述液体管；移动部，其通过以保持上述闭塞部的状态移动，从而使上述液体管的闭塞位置移动；以及上述压电马达，其驱动上述移动部。 [0042] 根据这种本发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且高送液精度的送液泵。 [0043] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为打印装置来充分理解，上述打印装置的特征在于，具备：打印头，其在介质上打印图像；以及上述压电马达，其使上述打印头移动。 [0044] 根据这种发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且高清晰度的打印装置。 [0045] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为电子表来充分理解，上述电子表的特征在于，具备：旋转圆板，其同轴状地设置有齿轮，并且能够转动；齿轮系，其构成为包含多个齿轮；指针，其与上述齿轮系连接，并且指示时刻；以及上述压电马达，其驱动上述旋转圆板。 [0046] 根据这种本发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且高计时精度的电子表。 [0047] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为投 影装置来充分理解，上述投影装置的特征在于，具备：投影部，其包含光学透镜，并且投影来自光源的光；调整部，其调整由上述光学透镜产生的上述光的投影状态；以及上述压电马达，其驱动上述调整部。 [0048] 根据这种本发明，由于搭载有小型且高驱动精度的压电马达，因此能够实现小型且能够高精度地调整由光学透镜产生的光的投影状态的投影装置。 [0049] 另外，本发明还能够通过以下方式来充分理解。即，还能够作为搬运装置来充分理解，在搬运对象物的搬运装置中，上述搬运装置的特征在于，具备：把持部，其把持对象物；以及上述压电马达，其驱动把持有上述对象物的上述把持部。 [0051] 图1是表示第一实施方式的压电马达的简要结构的说明图。 [0052] 图2是表示第一实施方式的主体部的构造的分解组装图。 [0053] 图3是说明压电马达的动作原理的说明图。 [0054] 图4是表示第一实施方式的振动体壳体的构造的说明图。 [0055] 图5是说明第一实施方式的振动体壳体的刚性较高的理由的说明图。 [0056] 图6是表示第一实施方式的第一变形例的振动体壳体的简图。 [0057] 图7是表示第一实施方式的第二变形例的振动体壳体的简图。 [0058] 图8是表示第一实施方式的第三变形例的振动体壳体的简图。 [0059] 图9是表示第二实施方式的压电马达的简要结构的说明图。 [0060] 图10是表示第二实施方式的主体部的构造的分解组装图。 [0061] 图11是表示第二实施方式的振动体壳体的构造的说明图。 [0062] 图12是举例说明将电源电缆向第二实施方式的压电马达的侧方引出的情形的说明图。 [0063] 图13是说明第二实施方式的振动体壳体能够以几乎不损失刚性的方式将电源电缆向压电马达的侧方引出的理由的说明图。 [0064] 图14是举例说明第二侧部由多个部件组合从而形成的变形例的振动体壳体的说明图。 [0065] 图15是说明在连结部设置有布线凹部的变形例的振动体壳体的说明图。 [0066] 图16是举例说明贯通孔相对于第二侧部倾斜形成的变形例的振动体壳体的说明图。 [0067] 图17是举例说明在贯通孔开口的位置的角部设有倒角部、或者曲面部的变形例的贯通孔的说明图。 [0068] 图18是举例说明装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达的机器人手的说明图。 [0069] 图19是举例说明具备机器人手的单臂机器人的说明图。 [0070] 图20是举例说明具备机器人手的多臂机器人的说明图。 [0071] 图21是举例表示装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达从而构成的电子部件检查装置的立体图。 [0072] 图22是关于内置于把持装置的微调整机构的说明图。 [0073] 图23是举例说明装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达的送液泵的说明图。 [0074] 图24是举例表示装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达的打印装置的立体图。 [0075] 图25是举例说明装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电 马达的电子表的说明图。 [0076] 图26是举例表示装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达的投影装置的立体图。 具体实施方式[0077] 第一实施方式 [0078] A.装置结构： [0079] 图1是表示本实施方式的压电马达10的简要结构的说明图。图1（a）表示本实施方式的压电马达10的整体图，图1（b）表示分解组装图。如图1（a）所示，本实施方式的压电马达10大致由主体部100和外侧壳体200构成。主体部100安装于外侧壳体200内，并且能够在该状态下单向移动。此外，在本说明书中，将主体部100的移动方向称为X方向。另外，如图中所示，将与X方向正交的方向分别称为Y方向、Z方向。 [0080] 主体部100以及外侧壳体200分别由多个部件组合构成。例如外侧壳体200通过用止动螺钉240将第一侧壁块210以及第二侧壁块220紧固于大致形成为矩形形状的基板230的上表面的两侧而构成（参照图1（b））。在装配压电马达10时，从主体部100的上方，使用止动螺钉240将第一侧壁块210以及第二侧壁块220安装于基板230。 [0081] 另外，在第一侧壁块210，形成有前方槽口212、中央槽口214、以及后方槽口216三个凹部。而且，在将第一侧壁块210安装于基板230时，以如下状态进行安装，即，将前方侧压弹簧212s收纳于前方槽口212，将后方侧压弹簧216s收纳于后方槽口216。其结果是，主体部100成为被前方侧压弹簧212s、以及后方侧压弹簧216s推抵于第二侧壁块220的状态。另外，在主体部100的侧面的面对第二侧壁块220的一侧，安装有前侧滚子102r、以及后侧滚子106r。并且，在主体部100的侧面，设置有加压弹簧222s。该加压弹簧222s在前侧滚子102r的后侧的位置沿X方向推压主体部100。 [0082] 另外，在主体部100的与设置有前侧滚子102r以及后侧滚子106r 的一侧相反侧的侧面，朝向Z方向（在附图上为上方）设置有压滚104r。在安装有第一侧壁块210的状态下，该压滚104r收纳于第一侧壁块210的中央槽口214。另外，在主体部100的设置有压滚104r的部分的背面侧，在与基板230之间设置有压簧232s。因此，压滚104r成为相对于中央槽口214的内表面沿Z方向（在附图上为上方）被推抵的状态。 [0083] 图2是表示本实施方式的主体部100的构造的分解组装图。主体部100大致为在振动体壳体120内收纳有振动部110的构造。振动部110由振动体112、陶瓷制的驱动凸部114、以及四片表电极116等构成，其中，上述振动体112由压电材料形成为长方体形状；上述驱动凸部114安装于振动体112的长边方向（X方向）的端面；上述四片表电极116设置为将振动体112的一方的侧面分割为四份。此外，虽然在图2中未示出，但在与设置有四片表电极116的一侧相反侧的侧面，设置有几乎覆盖侧面整面的背电极，该背电极接地。 [0084] 振动部110以如下状态收纳于振动体壳体120，即，以由具有动态粘弹性的材料（聚酰亚胺树脂、橡胶、弹性体等）形成的缓冲部130，从设置有表电极116以及背电极的两侧面（在图2中为Z方向的两侧面）夹持振动部110。并且，在表电极116侧的缓冲部130上，载有由金属材料形成的板状的压板140、弹性部142以及压盖144，并用止动螺钉146将压盖144紧固于振动体壳体120。因此，振动部110以如下状态被收纳于振动体壳体120内，即，通过被弹性部142的弹力推压，并且树脂制的缓冲部130能够发生剪切变形，从而振动体112能够在振动体壳体120内振动。此外，在本实施方式中，作为弹性部142使用碟簧。 另外，如后述所述，缓冲部130从两侧夹持振动体112的方向（Z方向）为与振动体112弯曲振动的方向（弯曲方向）交叉的方向。 [0085] B.压电马达的动作原理： [0086] 图3是说明压电马达10的动作原理的说明图。在以恒定周期对振动部110的表电极116施加电压时，压电马达10通过振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动来进行动作。振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动根据以下理由。 [0087] 首先，众所周知，压电材料具有若施加正电压则伸展的性质。因此， 如图3（a）所示，若反复进行在对四个表电极116全部施加有正电压之后解除施加电压，则由压电材料形成的振动体112反复进行沿长边方向（X方向）伸缩的动作。将振动体112这样沿长边方向（X方向）反复伸缩的动作称为“伸缩振动”。另外，若使施加正电压的频率发生变化，则在成为某一特定频率时，伸缩量急剧变大，产生一种共振现象。因伸缩振动而发生共振的频率（共振频率）由振动体112的物理性质、和振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。 [0088] 另外，如图3（b）或图3（c）所示，将相互位于对角线的位置的两个表电极116作为组（表电极116a以及表电极116d的组、或者表电极116b以及表电极116c的组），并以恒定周期对该组施加正电压。于是，振动体112的长边方向（X方向）的前端部（安装有驱动凸部114的部分）反复进行向附图上的右方向或者左方向摇头的动作。例如，如图3（b）所示，若以恒定周期对表电极116a以及表电极116d的组施加正电压，则振动体112反复进行向附图上的右方向摇动前端部的动作。另外，如图3（c）所示，若以恒定周期对表电极116b以及表电极116c的组施加正电压，则振动体112反复进行向附图上的左方向摇动前端部的动作。将这种振动体112的动作称为“弯曲振动”。针对这种弯曲振动，也存在由振动体112的物理性质和振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定的共振频率。因此，若以该共振频率对相互位于对角线的位置的两个表电极116施加正电压，则振动体112以向右方向或者左方向（Y方向）大幅度摇头的方式进行振动。此外，在以下的说明中，将伸缩振动的方向（X方向）称为“伸缩方向”，将弯曲振动的方向（Y方向）称为“弯曲方向”。另外，将与伸缩方向以及弯曲方向两个方向正交的方向（Z方向）称为振动体112的“厚度方向”。 [0089] 这里，图3（a）所示的伸缩振动的共振频率、图3（b）或图3（c）所示的弯曲振动的共振频率均由振动体112的物理性质、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。因此，只要适当地选择振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T），就能够使共振频率一致。 而且，若以共振频率对这种振动体112施加如图3（b）或图3（c）所示的弯曲振动的形态的电压，则产生如图3（b）或图3（c）所示的弯曲振动，而且同时由于共振还会诱发图3（a）的伸缩振动。其结果是，在以图3（b）所示的方式施加有电压的情况下，振动体112的前端部分（安装 有驱动凸部114的部分）在附图上绕顺时针开始椭圆运动。另外，在以图3（c）所示的方式施加有电压的情况下，振动体112的前端部分在附图上绕逆时针开始椭圆运动。 [0090] 压电马达10利用上述椭圆运动驱动对象物。即，在将振动体112的驱动凸部114推抵于对象物的状态下使其产生椭圆运动。于是，驱动凸部114反复进行如下动作，即，在振动体112伸展时，以被推抵于对象物的状态从左向右（或者是从右向左）移动，然后，在振动体112收缩时，以离开对象物的状态返回至原来位置。其结果是，对象物因从驱动凸部114承受的摩擦力而被单向驱动。另外，因为对象物承受的驱动力与在对象物与驱动凸部 114之间产生的摩擦力相等，所以驱动力的大小由驱动凸部114与对象物之间的摩擦系数、以及驱动凸部114被推抵于对象物的力决定。 [0091] 根据以上说明的压电马达10的动作原理可知，压电马达10在将驱动凸部114推抵于对象物的状态下，使振动体112沿伸缩方向（X方向）以及弯曲方向（Y方向）振动来使用。因此，振动体112需要以允许沿伸缩方向以及弯曲方向振动的状态收纳于振动体壳体120内。另外，在使振动体112振动从而使对象物移动时，来自对象物的反作用力作用于驱动凸部114。若振动体112由于该反作用力在振动体壳体120内移动，则由于无法将足够的驱动力传递至对象物，并且驱动凸部114的移动量减少，因此对象物的驱动量也变小。并且，因为主体部100的退避量未必总是稳定，所以对象物的驱动量也变得不稳定。 [0092] 另外，在如上述那样将振动体112收纳于振动体壳体120的构造中，由于驱动对象物而产生的反作用力经由驱动凸部114以及振动体112传递至振动体壳体120。而且，因为振动体壳体120以沿伸缩方向（X方向）能够移动的方式安装于外侧壳体200，所以若振动体壳体120因来自对象物的反作用力发生歪斜，则妨碍振动体壳体120在外侧壳体200内沿伸缩方向移动，其结果是，无法将振动体112的驱动凸部114推抵于对象物。另外，因为若振动体壳体120发生歪斜，则在外侧壳体200内的振动体壳体120的位置发生错位，所以驱动凸部114的位置也发生错位，从而使对象物的驱动精度也降低。并且，因为振动体112经由缓冲部130由振动体壳体120来保持，所以因振动体112进行弯曲振动（以 及伸缩振动）而产生的反作用力也作用于使振动体壳体120发生歪斜的方向。因此，至少针对振动体112的弯曲方向，振动体壳体120需要具有足够的刚性。另一方面，仅仅提高振动体壳体 120的刚性，则振动体壳体120变大，由于必须将该振动体壳体120收容于外侧壳体200，因此压电马达变大。因此，在本实施的压电马达10的振动体壳体120中，采用如下结构。 [0093] C.振动体壳体的构造： [0094] 图4是从振动体112的朝向弯曲方向的刚性的观点观察从而说明振动体壳体120的构造的说明图。若从朝向弯曲方向的刚性的观点来看，如图4（a）所示，则本实施方式的振动体壳体120可以考虑为通过连结部120c将第一侧部120a和第二侧部120b结合的构造，其中，上述第一侧部120a相对于振动体112（参照图2）设置于弯曲方向（Y方向）；上述第二侧部120b隔着振动体112设置于第一侧部120a侧的相反侧；上述连结部120c相对于振动体112设置于Z方向。 [0095] 此外，第一侧部120a、第二侧部120b不是单纯的平板形状，而是设置有用于安装前侧滚子102r、后侧滚子106r、或者压滚104r（参照图1）的构造等（关于前侧滚子102r、后侧滚子106r、压滚104r，参照图1）。但是，这些构造若从朝向弯曲方向的刚性的观点来看，并非有助于刚性的构造。因此，本实施方式的振动体壳体120的构造能够简化为图4（b）所示那样。而且，图4（b）所示的构造为朝向弯曲方向的刚性较高的构造。 [0096] 图5是说明本实施方式的振动体壳体120的刚性较高的理由的说明图。例如，如图5（a）所示，考虑将两个板状部件A、B平行排列的构造。针对图中空心箭头所示的方向的负载，虽然各个部件A、B分担并承受负载，但由于各个部件简单地弯曲，因此可以说是较弱的（沿箭头方向的刚性较低）构造。因此，此次考虑将各个部件朝向针对箭头方向的负载难以弯曲的方向进行排列。 [0097] 在图5（b）中，示出了沿针对空心箭头所示的负载难以弯曲的方向排列两个板状部件C、D的构造。由于各个部件变得难以弯曲，因此与图5（a）的构造相比，可以说该构造沿箭头方向的刚性较高。最重要的 是，根据材料力学的相关知识，在图5（b）的构造中，由于在部件C、D中产生对刚性几乎没有帮助的部分（图中用虚线包围的部分），因此可以说成是浪费较多的构造。 [0098] 与此相对，考虑经由其它板状部件E将图5（a）所示的两个板状部件A、B结合的图5（c）的构造。在该构造中，由于将两个部件A、B结合，因此各个部件A、B不会分别弯曲。例如，若部件A由于图中空心箭头所示的负载而欲弯曲，则在部件B产生拉伸或者压缩的力。因此，只要负载不是很大，部件A就不会弯曲。针对部件B也同样，若部件B欲弯曲，则在部件A产生拉伸或者压缩的力。因此，只要负载不是很大，部件B就不会弯曲。其结果是，图5（c）所示的构造可以说是针对图中的箭头所示的负载难以弯曲的（刚性较高）构造。而且，由于部件E仅将两个部件A、B结合，该部件并不主动承受负载，因此部件E的板厚与部件A、B相比能够形成为较薄。因此，能够以几乎不产生如在图5（b）中用虚线包围的部分所示的对刚性没有帮助的部分的方式，实现比图5（b）的构造高的刚性。 [0099] 而且，图5（c）的构造与使用图4（b）的上述本实施方式的振动体壳体120的构造等价。为了便于理解，将图4（b）作为图5（d）再次表示。 [0100] 对图5（c）和图5（d）进行比较可知，振动体壳体120的第一侧部120a对应于图5（c）的部件A，振动体壳体120的第二侧部120b对应于图5（c）的部件B，振动体壳体120的连结部120c对应于图5（c）的部件E。并且，图5（c）中箭头所示的负载方向对应于振动体壳体120的Y方向（弯曲方向）。因此，图5（d）所示的振动体壳体120形成为针对Y方向（弯曲方向）具有较高刚性的构造。 [0101] 而且，在用图中的YZ平面剖得图5（d）的振动体壳体120的剖面时，几乎所有部分都有助于刚性。因此，在实现相同的刚性的条件下，图5（d）所示的构造能够将振动体壳体120的大小缩小。而且，振动体112能够收容于由第一侧部120a、第二侧部120b、连结部120c包围的部分。其结果是，本实施方式的振动体壳体120的构造能够提高振动体112的朝向弯曲方向的刚性，并且能够使振动体壳体120小型化。 [0102] 此外，如上述那样，从确保弯曲方向的刚性并且使振动体壳体120小型化的观点来看，本实施方式的振动体壳体120为在振动体112的弯曲方向的两侧设置有第一侧部120a以及第二侧部120b且用连结部120c将第一侧部120a以及第二侧部120b结合的构造。因此，难以如现有的压电马达所采用的那样用树脂制部件等从弯曲方向的两侧保持振动体112。因此，如图2所示，在本实施方式的振动体壳体120中，采用了如下的新方法，即，用缓冲部130从厚度方向（Z方向）夹持振动体112的两侧来保持振动体112。换言之，根据需要开发从厚度方向（Z方向）夹持振动体112从而保持振动体112的新方法这一点来看，本实施方式的振动体壳体120的构造是特殊的构造。 [0103] D.变形例： [0104] 对于上述本实施方式的压电马达10，存在各种变形例。以下，针对这些变形例，简单进行说明。此外，在以下的变形例中，以与上述本实施方式的压电马达10不同的部分为重点进行说明，针对与本实施方式的压电马达10相同的结构，标注相同的附图标记，并省略说明。 [0105] D-1.第一变形例： [0106] 在上述实施方式中，虽然经由缓冲部130保持振动体112，但并不限定于此。例如，如图6（a）示意所示，也可以以从振动体壳体122的连结部122c突出的方式设置有凸部122d，从而利用该凸部122d来支承振动体112。 [0107] 在图6（b）中，示出了第一变形例的振动体壳体122的YZ平面的剖视图。此外，在图中，还用虚线示出了装入振动体壳体122时的振动体112、缓冲部130、压盖144等。如图所示，在第一变形例中，以从振动体壳体122突出的方式设置的凸部122d与振动体112接触。 [0108] 众所周知，若对振动体112外加交流电压从而使其振动，则振动体112发热。其结果是，若振动体112的温度变得过高，则作为压电马达10的功能降低。在该方面，由于在第一变形例的振动体壳体122中，振动体壳体122通过凸部122d与振动体112接触，因此能够将由振动体112产生的热经由凸部122d释放到振动体壳体122。图6（b）所示的 箭头示意性地表示了来自振动体112的热的流动。 [0109] 并且，凸部122d设置于与振动体112弯曲振动时的节点对应的位置。因此，即使振动体112振动，也能够抑制在凸部122d与振动体112接触的接触部分产生较大的摩擦。其结果是，不仅不会在振动体112与凸部122d之间产生缝隙从而妨碍从振动体112向凸部 122d进行热传递，而且还能够抑制因在接触部分产生摩擦从而引起的发热。因此，能够进一步抑制因振动体112的温度上升而引起的性能降低。 [0110] 此外，在图6（b）中，以从振动体壳体122的连结部122c突出的方式设置的凸部122d的根部部分形成为相对于连结部122c的表面大致以直角交叉，并对上述情况进行了说明。但是，如图6（c）所示，也可以将凸部122d的根部与连结部122c的表面交叉的部分形成为R形状。这样的话，如图中箭头所示，能够进一步促进从振动体112向壳体122放热。 另外，由于能够抑制在凸部122d的根部部分e产生应力集中，因此还能够避免龟裂进入凸部122d的根部部分e的情况。 [0111] D-2.第二变形例： [0112] 在上述实施方式中，如图4（a）所示，振动体壳体120的连结部120c的面对振动体112的一侧形成为平面，并对该情况进行了说明。而且，在该平面上，依次重叠缓冲部130、振动体112、缓冲部130，从而保持振动体112，并对该情况进行了说明（参照图2）。但是，也可以在振动体壳体120的连结部120c设置有凹部，从而在设置于该凹部内的缓冲部130上，依次重叠振动体112以及缓冲部130，从而保持振动体112。 [0113] 在图7（a）中，示意性地示出了这种第二变形例的振动体壳体124。如图所示，在振动体壳体124的连结部124c，且在对应于振动体112的弯曲振动的节点的两个位置，形成有凹部124d。另外，在图7（b）中，示出了第二变形例的振动体壳体124的YZ平面的剖视图。此外，在图中，还用虚线示出了装入振动体壳体124时的振动体112、缓冲部130、以及压盖144等。 [0114] 如图7（b）所示，在第二变形例中，在设置于振动体壳体124的凹 部124d，嵌入有缓冲部130，在缓冲部130上，依次重叠振动体112以及缓冲部130，从而保持振动体112。这样的话，在振动体112振动时，能够抑制嵌入凹部124d的缓冲部130由于从振动体112承受的力而发生错位的情况。 [0115] D-3.第三变形例： [0116] 另外，也可以不将缓冲部130嵌入设置于振动体壳体124的连结部124c的凹部124d，而是设置用于对缓冲部130进行防滑的凹凸部。在图8中，示出了这种第三变形例的振动体壳体126的剖面形状。如图所示，在第三变形例的振动体壳体126中，在连结部126c的表面，形成有用于对缓冲部130进行防滑的凹凸部126d。此外，虽然该凹凸部126d只要形成于放置缓冲部130的位置就可以，但是也可以形成于连结部126c的面对振动体112的一侧的表面整体。另外，该凹凸部126d可以通过喷丸（Shot blast）加工使表面粗糙来形成，也可以通过故意留下铣床的刀痕（切削加工痕迹）来形成。另外，凹凸部126d的剖面形状也可以形成为矩形的凹凸形状、三角形状、或者锯齿形状。 [0117] 在这种第三变形例的振动体壳体126中，由于若夹持振动体112，则凹凸部126d侵入缓冲部130，因此能够抑制振动体112振动时缓冲部130发生错位的情况。 [0118] 第二实施方式 [0119] 针对第二实施方式，参照附图进行说明。此外，对于与第一实施方式相同的结构部件，标注相同的附图标记，省略或者简化对它们的说明。 [0120] A.装置结构： [0121] 图9是说明本实施方式的压电马达20的简要结构的说明图。在图9（a）中，示出了本实施方式的压电马达20的整体图，在图9（b）中，示出了分解组装图。 [0122] 如图9（a）所示，本实施方式的压电马达20大致由主体部1100和外侧壳体1200构成。主体部1100安装于外侧壳体1200内，并且能够在该状态下沿单向移动。此外，在本说明书中，将主体部1100的移动 方向称为X方向。另外，如图中所示，将与X方向正交的方向分别称为Y方向、Z方向。 [0123] 主体部1100以及外侧壳体1200分别由多个部件组合构成。例如外侧壳体1200通过用止动螺钉240将第一侧壁块210以及第二侧壁块1220紧固于大致形成为矩形形状的基板230的上表面的两侧而构成（参照图9（b））。此外，在第二侧壁块1220的长边方向（X方向）的大致中央侧面，设置有贯通孔220h。针对贯通孔220h的作用，后面进行叙述。在装配压电马达20时，使用止动螺钉240，从主体部1100的上方，将第一侧壁块210以及第二侧壁块1220安装于基板230。 [0124] 另外，在第一侧壁块210，形成有前方槽口212、中央槽口214、以及后方槽口216三个凹部。而且，在将第一侧壁块210安装于基板230时，以如下状态进行安装，即，将前方侧压弹簧212s收纳于前方槽口212，将后方侧压弹簧216s收纳于后方槽口216。其结果是，主体部1100成为被前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s推抵于第二侧壁块1220的状态。另外，在主体部1100的侧面的、面对第二侧壁块1220的一侧，安装有前侧滚子102r以及后侧滚子106r。并且，在主体部1100的侧面，设置有加压弹簧222s。该加压弹簧222s在前侧滚子102r的后侧的位置沿X方向推压主体部1100。 [0125] 另外，在主体部1100的与设置有前侧滚子102r以及后侧滚子106r的一侧的相反侧的侧面，朝向Z方向（在附图上为上方）设置有压滚104r。在安装有第一侧壁块210的状态下，该压滚104r收纳于第一侧壁块210的中央槽口214。另外，在主体部1100的设置有压滚104r的部分的背面侧与基板230之间，设置有压簧232s。因此，压滚104r成为相对于中央槽口214的内表面沿Z方向（在附图上为上方）被推抵的状态。 [0126] 图10是表示本实施方式的主体部1100的构造的分解组装图。主体部1100大致为在振动体壳体1120内收纳有振动部110的构造。振动部110由振动体112、陶瓷制的驱动凸部114、以及四片表电极116等构成，其中，上述振动体112由压电材料形成为长方体形状；上述驱动凸部114安装于振动体112的长边方向（X方向）的端面；上述四片表电极116设置为将振动体112的一方的侧面分割为四份。此外，虽然在图10中 未图示，但在与设置有四片表电极116的一侧的相反侧的侧面，设置有几乎覆盖侧面整面的背电极，该背电极接地。另外，如后所述，从表电极116以及背电极，引出未图示的电源电缆，并且在振动体壳体1120的侧部，设置有用于供电源电缆通过的贯通孔120h。而且，通过贯通孔120h的电源电缆通过第二侧壁块1220的贯通孔220h（参照图9），从而向压电马达20的外部引出。 [0127] 振动部110以如下状态收纳于振动体壳体120，即，通过由具有动态粘弹性的材料（聚酰亚胺树脂、橡胶、弹性体等）形成的缓冲部130从设置有表电极116以及背电极的两侧面（在图10中为Z方向的两侧面）夹持振动部110。并且，在表电极116侧的缓冲部130上，载有由金属材料形成的板状的压板140、弹性部142以及压盖144，并通过止动螺钉146将压盖144紧固于振动体壳体1120。因此，对于振动部110而言，被弹性部142的弹力推压并且树脂制的缓冲部130还发生剪切变形，由此振动体112在振动体壳体1120内以能够振动的状态被收纳。此外，在本实施方式中，作为弹性部142使用碟簧。另外，如后述所述，缓冲部130从两侧夹持振动体112的方向（Z方向）为与振动体112弯曲振动的方向（弯曲方向）交叉的方向。 [0128] B.压电马达的动作原理： [0129] 由于压电马达20的动作原理与第一实施方式所示的压电马达10相同，因此省略详细说明。 [0130] C.振动体壳体的构造： [0131] 图11是从振动体112的朝向弯曲方向的刚性的观点表示振动体壳体1120的构造的说明图。若从朝向弯曲方向的刚性的观点来看，如图11（a）所示，则本实施方式的振动体壳体1120可以考虑为通过连结部120c将第一侧部120a和第二侧部1120b结合的构造，其中，上述第一侧部120a相对于振动体112（参照图10）设置于弯曲方向（Y方向）；上述第二侧部1120b隔着振动体112设置于第一侧部120a侧的相反侧；上述连结部120c相对于振动体112设置于Z方向。 [0132] 此外，第一侧部120a、第二侧部1120b不是单纯的平板形状，而是 设置有用于安装前侧滚子102r、后侧滚子106r、或者压滚104r（参照图9）的构造等（关于前侧滚子102r、后侧滚子106r、压滚104r，参照图9）。但是，这些构造若从朝向弯曲方向的刚性的观点来看，并非有助于刚性的结构。因此，本实施方式的振动体壳体1120的构造能够如图11（b）所示那样简化。而且，图11（b）所示的构造为朝向弯曲方向的刚性较高的构造。 [0133] 由于与第一实施方式说明的振动体壳体120（参照图5）相同，因此省略对振动体壳体1120的刚性较高的理由的详细说明。 [0134] 此外，如上述那样，从确保弯曲方向的刚性并且使振动体壳体120小型化的观点来看，本实施方式的振动体壳体1120为在振动体112的弯曲方向的两侧设置有第一侧部120a以及第二侧部1120b且用连结部120c将第一侧部120a以及第二侧部120b结合的构造。因此，难以如现有的压电马达所采用的那样、用树脂制部件等从弯曲方向的两侧保持振动体112。因此，如图10所示，在本实施方式的振动体壳体1120中，采用了如下的新方法，即，用缓冲部130从厚度方向（Z方向）夹持振动体112的两侧来保持振动体112。换言之，从需要开发从厚度方向（Z方向）夹持振动体112从而保持振动体112的新方法这一点来看，本实施方式的振动体壳体1120的构造是特殊的构造。 [0135] 这里，因为通过对振动体112施加驱动电压从而振动体112发生变形，进而压电马达20进行动作，所以需要布线用于对振动体112施加驱动电压的电源电缆。而且，由于在将压电马达20搭载于各种机器时的布局上的制约，还存在需要将电源电缆向压电马达20的侧方引出的情况。即使在这种情况下，为了能够以不会损害振动体壳体1120具有高刚性的特性的方式将电源电缆向压电马达20的侧方引出，在本实施方式中采用以下方法。 [0136] 图12是举例说明将电源电缆向本实施方式的压电马达20的侧方引出的说明图。如图所示，在本实施方式的压电马达20中，从振动体112的表电极116（参照图10）引出正电压电缆118a、118b，并且从振动体112的背电极（省略图示）引出接地电缆118g。此外，为了使这些电源电缆（正电压电缆118a、118b、接地电缆118g）尽量不对振动体112的振动造成影响，从振动的节点所存在的振动体112的长边方向中央的 位置引出。 [0137] 而且，这些电源电缆（正电压电缆118a、118b、接地电缆118g）通过在振动体壳体1120的第二侧部1120b形成的贯通孔120h（参照图10）、以及在外侧壳体1200的第二侧壁块1220形成的贯通孔220h（参照图9），从压电马达20的侧方向外部引出。此外，在本实施方式的说明中，虽然将贯通孔120h设置于第二侧部1120b，但是也可以设置于第一侧部 120a。在该情况下，将贯通孔220h也设置于外侧壳体1200的第一侧壁块210。这样，只要从在振动体壳体1120的第二侧部1120b（或者第一侧部120a）设置的贯通孔120h将电源电缆引出，因为以下理由，就能够以几乎不会损害振动体壳体1120的刚性的方式将电源电缆向压电马达20的侧方引出。 [0138] 假设在振动体壳体1120的第二侧部1120b设置有用于供来自振动体112的电源电缆通过的切口。在图13（a）中，举例示出了将用于供电源电缆通过的切口120f设置于第二侧部1120b的振动体壳体1120。此外，为了便于理解，在图13（a）中，用细虚线示出了除振动体壳体1120以外的部件（例如振动体112、压盖144）的大致形状。另外，因为如上述那样电源电缆从振动体112的长边方向的大致中央引出，所以振动体壳体1120的切口120f也设置于第二侧部1120b的长边方向的大致中央。 [0139] 如图13（a）所示，若在振动体壳体1120的第二侧部1120b设置有切口120f，则第二侧部1120b成为被分为几乎具有相同大小的前侧部分（前侧第二侧部120d）和后侧部分（后侧第二侧部120e）的状态。其结果是，如图13（b）所示，发生前侧第二侧部120d与后侧第二侧部120e隔着切口120f彼此反向变形那样的振动模式，从而大幅度降低振动体壳体1120的刚性。 [0140] 与此相对，在如本实施方式那样将贯通孔120h设置于振动体壳体1120的情况下，能够抑制发生前侧第二侧部120d与后侧第二侧部120e彼此反向变形那样的振动模式（参照图13（b））的情况。因此，能够在抑制了振动体壳体1120的刚性降低的状态下，将电源电缆向压电马达20的侧方引出。 [0141] 此外，在以上说明中，对于贯通孔120h而言，说明了该贯通孔120h形成于一体形成的第二侧部1120b的情况。但是，第二侧部1120b也可以由多个部件组合而成，也可以通过将多个部件组合来形成有第二侧部1120b，作为结果，也可以形成有贯通孔120h。 [0142] 例如，在图14（a）所示的例子中，在前侧第二侧部120d与后侧第二侧部120e之间的切口120f，从上方嵌入有结合部件120o，并且结合部件120o通过焊接、钎焊、或者粘接等与前侧第二侧部120d以及后侧第二侧部120e结合。其结果是，通过前侧第二侧部120d、后侧第二侧部120e和结合部件120o形成有第二侧部1120b。而且，在由这些前侧第二侧部120d、后侧第二侧部120e、和结合部件120o包围的切口120f的部分，形成有贯通孔120h。 即使这样，因为利用结合部件120o将前侧第二侧部120d与后侧第二侧部120e结合，所以也能够抑制前侧第二侧部120d和后侧第二侧部120e如图13（b）所示那样彼此反向变形那样的振动模式发生的情况。因此，能够抑制振动体壳体1120的刚性降低。 [0143] 另外，结合部件120o未必需要嵌入前侧第二侧部120d与后侧第二侧部120e之间，如图14（b）举例所示，也可以以横跨切口120f的方式将结合部件120o设置于前侧第二侧部120d以及后侧第二侧部120e的上方。在该情况下，虽然也可以通过焊接、钎焊、或者粘接等，使结合部件120o相对于前侧第二侧部120d以及后侧第二侧部120e结合，但是也可以如图14（c）举例所示那样，使用螺钉120s进行螺丝固定。 [0144] 另外，也可以如图15所示那样，在振动体壳体1120的连结部120c设置有凹部（布线凹部120g）。通过这样，接地电缆118g的布线空间变大，因此能够容易地对接地电缆118g进行布线。另外，由于只要在连结部120c设置有凹部，就不需要为了确保布线空间而扩大振动体壳体1120的连结部120c与振动体112的间隔，因此也不需要使振动体壳体1120变厚变大，并且也不会使压电马达20大型化。 [0145] 此外，与第一实施方式说明的（参照图5（c））相同，在由振动体112的弯曲振动引起的反作用力作用于振动体壳体1120时，连结部120c并非主动承受负载。因此，即使由于设置有布线凹部120g而使连结部120c的板厚部分变薄，也几乎不会降低振动体壳体1120的刚性。 [0146] 另外，第二侧部1120b的贯通孔120h未必需要相对于第二侧部1120b的侧面垂直设置。例如，在如图16所示的例子中，第二侧部1120b的贯通孔120h在附图上向左下方向倾斜设置。此外，在这样将第二侧部1120b的贯通孔120h倾斜设置的情况下，与贯通孔120h同样，也可以将外侧壳体1200的第二侧壁块1220的贯通孔220h倾斜设置。 [0147] 根据搭载压电马达20时的布局上的要求，还存在必须斜着引出电源电缆（正电压电缆118a、118b、接地电缆118g）的情况。在这种情况下，通过使第二侧部1120b的贯通孔 120h、第二侧壁块1220的贯通孔220h向欲引出电源电缆的方向倾斜，从而能够以不会强行折弯电源电缆的方式将其引出。另外，由于还能够抑制电源电缆与贯通孔120h、贯通孔 220h的角部干涉从而使电源电缆损伤的危险，因此不需要设置电缆保护用的缓冲部件、或者进行模具加工来固定电缆，就能保护电缆。 [0148] 另外，不管贯通孔120h相对于第二侧部1120b的侧面垂直贯通还是斜着贯通，在第二侧部1120b的贯通孔120h开口的位置，也可以将角部倒角、或者将其由曲面形成。在图17（a）中，举例示出了在相对于第二侧部1120b的侧面垂直设置的贯通孔120h设置有倒角部120k的情况。另外，在图17（b）中，举例示出了在贯通孔120h设置有曲面部120r的情况。此外，即使在外侧壳体1200的第二侧壁块1220，也可以将贯通孔220h开口的位置的角部倒角、或者将其由曲面形成。通过这样，即使在电源电缆（正电压电缆118a、118b、接地电缆118g）振动从而与贯通孔120h的开口的位置发生摩擦的情况下、或是电源电缆由于张力而被推抵于贯通孔120h的开口的位置的情况下，也能够抑制电源电缆产生损伤、断线的危险。 [0149] 应用例 [0150] 上述实施方式的压电马达10（20）能够优选装入以下装置。 [0151] 图18是举例说明装入有第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达10（20）的机器人手600的说明图。图示的机器人手600从基台602立设有多根指部603，并经由腕部604与臂610连接。这里，指部603的根部部分能够在基台602内移动，并且以将驱动凸部 114推抵于该指部603的根部部分的状态搭载有压电马达10（20）。因此，通过使 压电马达10（20）动作，从而能够使指部603移动来把持对象物。另外，在腕部604的部分，也以将驱动凸部114推抵于腕部604的端面的状态搭载有压电马达10（20）。因此，通过使压电马达10（20）动作，从而能够使基台602整体旋转。 [0152] 图19是举例说明具备机器人手600（手部）的单臂机器人650的说明图。如图所示，机器人650具有臂610（臂部），该臂610（臂部）具备多根连杆部612（连杆部件）和关节部620，其中，上述关节部620以能够使这些连杆部612之间弯曲的状态将它们连接。另外，机器人手600与臂610的前端连接。而且，在关节部620，内置有压电马达10（20）。因此，通过使压电马达10（20）动作，从而能够使各个关节部620仅弯曲任意角度。 [0153] 图20是举例说明具备机器人手600的多臂机器人660的说明图。如图所示，机器人650具有多根（在图示的例子中为两根）臂610，上述臂610具备多根连杆部612和关节部620，其中，上述关节部620以能够使这些连杆部612之间弯曲的状态将它们连接。另外，在臂610的前端连接有机器人手600、工具601（手部）。另外，在头部662搭载有多台照相机663，并且在主体部664的内部搭载有控制整体动作的控制部666。并且，能够利用在主体部664的底面设置的脚轮668进行搬运。该机器人660也在关节部620内置有压电马达10（20）。因此，通过使压电马达10（20）动作，从而能够使各个关节部620仅弯曲任意角度。 [0154] 图21是例示了装入第一实施方式、或者第二实施方式的压电马达10（20）从而构成的电子部件检查装置700的立体图。图示的电子部件检查装置700大致具备基台710和立设于基台710的侧面的支承台730。在基台710的上表面，设置有载置并搬运检查对象的电子部件1的上游侧工作台712u、和载置并搬运检查完毕的电子部件1的下游侧工作台712d。另外，在上游侧工作台712u与下游侧工作台712d之间，设置有用于确认电子部件1的姿势的拍摄装置714、和为了检查电特性而供电子部件1固定的检查台716（检查部）。此外，作为电子部件1的代表部件，能够例举有“半导体”、“半导体晶片”、“LCD、OLED等显示器件”、“水晶器件”、“各种传感器”、“喷墨头”、“各种MEMS器件”等。 [0155] 另外，在支承台730设置有Y工作台732，该Y工作台732能够 沿与基台710的上游侧工作台712u以及下游侧工作台712d平行的方向（Y方向）移动，从Y工作台732沿朝向基台710的方向（X方向）延伸设置有臂部734。另外，在臂部734的侧面，设置有能够沿X方向移动的X工作台736。而且，在X工作台736，设置有拍摄照相机738、和内置有能够沿上下方向（Z方向）移动的Z工作台的把持装置750。另外，在把持装置750的前端，设置有把持电子部件1的把持部752。把持部752通过压电马达10（20）（省略图示）驱动，并把持电子部件1。并且，在基台710的前表面侧，还设置有控制电子部件检查装置700的整体动作的控制装置718。此外，在本实施方式中，设置于支承台730的Y工作台732、臂部 734、X工作台736、把持装置750对应于本发明的“电子部件搬运装置”。 [0156] 具有以上结构的电子部件检查装置700以如下方式进行电子部件1的检查。首先，检查对象的电子部件1载于上游侧工作台712u，并移动至检查台716附近。接下来，移动Y工作台732以及X工作台736，从而使把持装置750移动至载置于上游侧工作台712u的电子部件1的正上方的位置。此时，能够使用拍摄照相机738来确认电子部件1的位置。而且，若使用内置于把持装置750内的Z工作台使把持装置750下降，从而用把持部752把持电子部件1，则使把持装置750直接移动至拍摄装置714上，并使用拍摄装置714确认电子部件1的姿势。接着，使用内置于把持装置750的微调整机构来调整电子部件1的姿势。 而且，在使把持装置750移动至检查台716上之后，移动内置于把持装置750的Z工作台从而将电子部件1固定于检查台716上。由于使用把持装置750内的微调整机构来调整电子部件1的姿势，所以能够将电子部件1固定于检查台716的正确位置。而且，若使用检查台 716检查电子部件1的电特性的检查结束，则此次将电子部件1从检查台716拿起，然后，再次移动Y工作台732以及X工作台736，从而使把持装置750移动至下游侧工作台712d上，并将电子部件1置于下游侧工作台712d。然后，移动下游侧工作台712d，从而将检查结束的电子部件1搬运至规定位置。 [0157] 图22是关于内置于把持装置750的微调整机构的说明图。如图所示，在把持装置750内，设置有与把持部752连接的旋转轴754、将旋转轴754安装为能够旋转的微调整板 756等。另外，微调整板756通过 未图示的引导机构而被引导，并且能够沿X方向以及Y方向移动。 [0158] 这里，如图22中标注斜线所示，朝向旋转轴754的端面搭载有旋转方向用的压电马达10θ（20θ），并且压电马达10θ（20θ）的驱动凸部（省略图示）被推抵于旋转轴754的端面。因此，通过使压电马达10θ（20θ）动作，从而能够使旋转轴754（以及把持部752）绕θ方向高精度地仅旋转任意角度。另外，朝向微调整板756设置有X方向用的压电马达10x（20x）和Y方向用的压电马达10y（20y），各个驱动凸部（省略图示）被推抵于微调整板756的表面。因此，通过使压电马达10x（20x）动作，从而能够使微调整板756（以及把持部752）沿X方向高精度地仅移动任意距离，同样地，通过使压电马达10y（20y）动作，从而能够使微调整板756（以及把持部752）沿Y方向高精度地仅移动任意距离。因此，图21的电子部件检查装置700通过使压电马达10θ（20θ）、压电马达10x（20x）、压电马达10y（20y）动作，从而能够对用把持部752把持的电子部件1的姿势进行微调。 [0159] 图23是举例说明装入有第一实施方式或者第二实施方式的压电马达10（20）从而构成的送液泵800的说明图。在图23（a）中，示出了俯视观察送液泵800时的俯视图，在图23（b）中，示出了侧面观察送液泵800的剖视图。如图所示，对于送液泵800而言，在矩形形状的壳体802内，圆板形状的转子804（移动部）设置为能够旋转，在壳体802与转子804之间，夹持有供药液等液体在内部流通的管806（液体管）。另外，管806的一部分被设置于转子804的球808（闭塞部）压扁从而成为闭塞的状态。因此，由于若转子804旋转则球808压扁管806的位置移动，因此对管806的液体进行送液。而且，只要以将上述实施方式的压电马达10（20）的驱动凸部114推抵于转子804的侧面的状态进行设置，就能够驱动转子804。只要这样，就能够高精度地对极微量的液体进行送液，而且，能够实现小型的送液泵800。 [0160] 图24是举例表示装入有第一实施方式或者第二实施方式的压电马达10（20）的打印装置850的立体图。图示的打印装置850是在打印介质2的表面喷射墨水从而打印图像的所谓喷墨打印机。打印装置850形成为大致箱形的外观形状，并且在前表面的大致中央，设置有排纸托盘851、排出口852、以及多个操作按钮855。另外，在背面侧设置有用 纸支架853，该用纸支架853设置卷为辊状的打印介质2（卷纸854）。若将卷纸854固定于用纸支架853并操作操作按钮855，则将设置于用纸支架853的卷纸854吸入，从而在打印装置850的内部将图像打印于打印介质2的表面。另外，在用搭载于打印装置850的内部的后述切断机构880将卷纸854切断之后，卷纸854从排出口852排出。 [0161] 在打印装置850的内部，设置有打印头870和导轨860，其中，上述打印头870在打印介质2上沿主扫描方向往复移动；上述导轨860对打印头870沿主扫描方向的移动进行引导。另外，图示的打印头870由印字部872、扫描部874等构成，其中，上述印字部872在打印介质2上喷射墨水；上述扫描部874用于使打印头870沿主扫描方向扫描。在印字部872的底面侧（朝向打印介质2一侧），设置有多个喷嘴，并且能够将墨水从喷嘴朝向打印介质2喷射。另外，在扫描部874，搭载有压电马达10m（20m）、10s（20s）。压电马达10m（20m）的驱动凸部（省略图示）被推抵于导轨860。因此，通过使压电马达10m（20m）动作，从而能够使打印头870沿主扫描方向移动。另外，压电马达10s（20s）的驱动凸部114相对于印字部872被推抵。因此，通过使压电马达10s（20s）动作，从而能够使印字部872的底面侧靠近打印介质2，或者远离打印介质2。另外，在打印装置850，还搭载有用于切断卷纸854的切断机构880。切断机构880具备刀具支架884和引导轴882，其中，上述刀具支架884将用纸刀具886搭载于前端；上述引导轴882贯通刀具支架884沿主扫描方向延伸设置。在刀具支架884内，搭载有压电马达10c（20c），压电马达10c（20c）的未图示的驱动凸部被推抵于引导轴882。因此，若使压电马达10c（20c）动作，则刀具支架884沿着引导轴882沿主扫描方向移动，并且用纸刀具886切断卷纸854。另外，为了对打印介质2进行送纸，也能够使用压电马达10（20）。 [0162] 图25是举例说明装入有第一实施方式或者第二实施方式的压电马达10（20）的电子表900的内部构造的说明图。在图25中，示出了从电子表900的时刻显示一侧的相反侧（后盖侧）观察的俯视图。在图25例示的电子表900的内部，具备：圆板形状的旋转圆板902；齿轮系904，其将旋转圆板902的旋转传递至显示时刻的指针（省略图示）；压电马达10（20），其用于驱动旋转圆板902；电力供给部906；水晶芯片908；以及IC910。另外，电力供给部906、水晶芯片908、IC910搭载 于未图示的电路基板。齿轮系904构成为包含多个齿轮、未图示的棘轮。此外，为了避免图示繁琐，在图25中，用细点划线表示连结齿轮的齿顶的线，用粗实线表示连结齿轮的齿根的线。因此，由粗实线以及细点划线形成的二层的圆形表示齿轮。另外，针对表示齿顶的细点划线，未表示整周，仅表示与其他齿轮啮合的部分的周边。 [0163] 在旋转圆板902，同轴地设置有较小的齿轮902g，该齿轮902g与齿轮系904啮合。因此，旋转圆板902的旋转以规定的比率减速，并且传递至齿轮系904。而且，该齿轮的旋转传递至表示时刻的指针从而显示时刻。而且，只要将上述实施方式的压电马达10（20）的驱动凸部114设置为被推抵于旋转圆板902的侧面的状态，就能够使旋转圆板902旋转。 [0164] 图26是举例说明装入有第一实施方式或者第二实施方式的压电马达10（20）的投影装置950的说明图。如图所示，投影装置950具备包含光学透镜的投影部952，并且通过对来自内置的光源（省略图示）的光进行投影来显示图像。而且，也可以使用上述实施方式的压电马达10（20）驱动调整机构954（调整部），上述调整机构954（调整部）用于使投影部952所包含的光学透镜的焦点一致。由于压电马达10（20）的定位的分辨率较高，因此能够进行细微的对焦。另外，在不投影来自光源的光的期间，通过用透镜罩956覆盖投影部952的光学透镜，从而能够防止光学透镜受伤。为了开闭该透镜罩956，也能够使用上述实施方式的压电马达10（20）。 [0165] 以上，虽然对本发明的压电马达、搭载有压电马达的各种装置的实施方式、变形例、应用例进行了说明，但是本发明并不限定于上述实施方式、变形例、应用例，在不脱离其主旨的范围内能够以各种方式实施。 [0166] 附图标记的说明 [0167] 1…电子部件；2…打印介质；10、20…压电马达；100、1100…主体部；110…振动部；112…振动体；114…驱动凸部；116…表电极；118a…正电压电缆；118g…接地电缆；120、1120…振动体壳体；120a…第一侧部；120b、1120b…第二侧部；120c…连结部；120h…贯通孔；200、 1200…外侧壳体；210…第一侧壁块；220、1220…第二侧壁块；220h…贯通孔；230…基板；240…止动螺钉；600…机器人手；650、660…机器人；700…电子部件检查装置；752…把持部；800…送液泵；900…电子表；950…投影装置。 |
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