工业用机器人 |
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| 申请号 | CN201180045722.3 | 申请日 | 2011-09-06 | 公开(公告)号 | CN103124617B | 公开(公告)日 | 2015-05-27 |
| 申请人 | 日本电产三协株式会社; | 发明人 | 矢泽隆之; 增泽佳久; 中江孝郎; | ||||
| 摘要 | 一种工业用 机器人 ，即便在搬运对象物被配置成沿上下方向不重叠的第二配置 位置 与工业用机器人之间配置有闸 门 部，也能减小手部相对于主体部的回旋半径，并能防止手部与闸门部的干涉。工业用机器人(1)包括第一手部(3)、第二手部(4)、臂(5)及主体部(6)。第一手部(3)的基端部及第二手部(4)的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂(5)的前端部。第一手部(3)和第二手部(4)能相对于臂(5)个别地旋转，且从上下方向观察时能相对于臂(5)以共同的旋转中心(C1)为中心进行旋转。另外，第一手部(3)及第二手部(4)从上下方向观察时弯曲，且从上下方向观察时相对于穿过旋转中心(C1)的规定的假想线形成为大致线对称。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种工业用机器人，包括：第一手部及第二手部，在该第一手部及第二手部上装载搬运对象物；臂，在该臂上以能旋转的方式安装有所述第一手部及所述第二手部；以及主体部，在该主体部上以能旋转的方式安装有所述臂的基端部，其特征在于，所述第一手部的基端部和所述第二手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于所述臂的前端部， |
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| 说明书全文 | 工业用机器人技术领域背景技术[0002] 以往，作为搬运半导体晶片等的工业用机器人，已知一种具有装置主体、臂、两个手部的工业用机器人(例如参照专利文献1)。在专利文献1所记载的工业用机器人中，臂的基端部以能旋转的方式安装于装置主体，两个手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂的前端部。两个手部能相对于臂个别地旋转。另外，两个手部形成为大致相同的形状。具体而言，手部的基端侧部分形成为直线状，手部的前端侧部分形成为双叉状，手部整体形成为大致Y形状。另外，在该工业用机器人中，臂以与臂连接的手部的基端部直线状地进行动作的方式伸缩。 [0003] 现有技术文献 [0004] 专利文献 [0005] 专利文献1：日本专利特开2008－135630号公报 发明内容[0006] 发明所要解决的技术问题 [0007] 在专利文献1所记载的工业用机器人中，两个手部能相对于臂个别地旋转，因此，能以在上下方向上重叠的方式配置两个手部，并且能以除了与臂连接的手部的基端部之外的其它部分在上下方向上不重叠的方式配置两个手部。因此，在该工业用机器人中，能从半导体晶片被收纳成在上下方向上重叠的收纳位置同时搬出两块半导体晶片或朝该收纳位置同时搬入两块半导体晶片，并且，能朝半导体晶片被配置成在上下方向上不重叠的作业位置同时搬入两块半导体晶片或从该作业位置同时搬出两块半导体晶片。 [0008] 然而，有时在半导体晶片被配置成不重叠的作业位置与工业用机器人之间配置有闸门部，该闸门部形成有能供两块半导体晶片分别穿过的开口部。在作业位置与工业用机器人之间配置有闸门部的情况下，即便欲利用专利文献1所记载的工业用机器人来进行两块半导体晶片朝该作业位置的搬运，也可能存在形成为大致Y形状的手部的基端侧部分与开口部间的壁部干涉而无法搬运半导体晶片的情况。此处，若增大形成为直线状的手部的基端侧部分的长度，则能防止手部的基端侧部分与壁部的干涉，但若增大手部的基端侧部分的长度，则与臂一起相对于装置主体回旋的手部相对于装置主体的回旋半径会相应地增大。 [0009] 因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，其能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置搬运，并能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置搬运，且即便在工业用机器人与第二配置位置之间配置有闸门部，也能减小手部相对于主体部的回旋半径，并能防止手部与闸门部的干涉。 [0010] 解决技术问题所采用的技术方案 [0011] 为解决上述技术问题，本发明的工业用机器人的特征是，包括：第一手部及第二手部，在该第一手部及第二手部上装载搬运对象物；臂，在该臂上以能旋转的方式安装有第一手部及第二手部；以及主体部，在该主体部上以能旋转的方式安装有臂的基端部，第一手部的基端部和第二手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂的前端部，第一手部和第二手部能相对于臂个别地旋转，并从上下方向观察时能相对于臂以共同的旋转中心为中心进行旋转，而且，第一手部和第二手部从上下方向观察时弯曲，并从上下方向观察时相对于穿过旋转中心的规定的假想线呈大致线对称。 [0012] 在本发明中，工业用机器人例如在第一手部的前端侧和第二手部的前端侧沿上下方向重叠的状态下，进行搬运对象物从其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置的搬出和/或搬运对象物朝第一配置位置的搬入，在第一手部的前端侧和第二手部的前端侧沿上下方向不重叠的状态下，进行搬运对象物从其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置的搬出和/或搬运对象物朝第二配置位置的搬入。 [0013] 在本发明的工业用机器人中，第一手部的基端部和第二手部的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于臂的前端部。另外，第一手部和第二手部能相对于臂个别地旋转，且从上下方向观察时能相对于臂以共同的旋转中心为中心进行旋转。因此，通过以供搬运对象物装载的第一手部的前端侧和第二手部的前端侧在上下方向上重叠的方式配置两个手部(第一手部及第二手部)，能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置搬运，并且，通过以第一手部的前端侧和第二手部的前端侧在上下方向上不重叠的方式配置两个手部，能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置搬运。 [0014] 另外，在本发明中，第一手部及第二手部从上下方向观察时弯曲，并从上下方向观察时相对于穿过旋转中心的规定的假想线形成为大致线对称。因此，通过使第一手部及第二手部弯曲成规定的形状，即便在工业用机器人与第二配置位置之间配置有闸门部，也能缩短第一手部及第二手部在工业用机器人的径向上的长度，并能防止第一手部及第二手部与闸门部的干涉。即，在本发明中，即便在工业用机器人与第二配置位置之间配置有闸门部，也能减小手部相对于主体部的回旋半径，并能防止手部与闸门部的干涉。 [0015] 在本发明中，较为理想的是，第一手部及第二手部形成为：搬运对象物朝第二配置位置搬运时的第一手部的基端侧及第二手部的基端侧从旋转中心朝彼此远离的方向延伸。若采用上述结构，则能在将搬运对象物朝第二配置位置搬运时增大第一手部与第二手部之间的间隙。因此，能容易且可靠地防止第一手部及第二手部与闸门部的干涉。 [0016] 另外，在该情况下，第一手部及第二手部例如在三角形区域的外侧配置有第一手部的弯曲部分及第二手部的弯曲部分，上述三角形是在搬运对象物朝第二配置位置搬运时、由将装载于第一手部的搬运对象物的中心与旋转中心连接的线段和将装载于第二手部的搬运对象物的中心与旋转中心连接的线段形成的。 [0017] 在本发明中，第一手部及第二手部例如形成为：搬运对象物朝第一配置位置搬运时的第一手部的前端侧和第二手部的前端侧彼此交叉地重叠。在该情况下，较为理想的是，第一手部从上下方向观察时朝一个方向弯曲，第二手部从上下方向观察时朝作为与第一手部的弯曲方向相反的方向的另一个方向弯曲，第一手部的前端侧及第二手部的前端侧形成为具有第一装载部及第二装载部的双叉状，第一手部的第一装载部配置于第一手部的弯曲方向侧，并且第一手部的第二装载部配置于第一手部的弯曲方向侧的相反一侧，第二手部的第一装载部配置于第二手部的弯曲方向侧，并且第二手部的第二装载部配置于第二手部的弯曲方向侧的相反一侧，第一手部及第二手部形成为：搬运对象物朝第一配置位置搬运时的第一手部的第二装载部的前端侧与第二手部的第二装载部的前端侧重叠。若采用上述结构，则在将搬运对象物朝第一配置位置搬运时，能减小第一手部和第二手部在与搬运对象物的搬运方向正交的方向上的重叠部分的宽度。因此，即便在工业用机器人与第一配置位置之间配置有形成供搬运对象物穿过的开口部的闸门部，也能防止该闸门部与弯曲的手部的干涉。 [0018] 在本发明中，较为理想的是，第一手部和第二手部从上下方向观察时以规定的角度弯曲一次。若采用上述结构，则与第一手部及第二手部从上下方向观察时弯曲多次的情况比较，能简化第一手部及第二手部的结构。 [0019] 在本发明中，较为理想的是，第一手部的比弯曲部分更靠前端侧的部分的宽度大致一定，第二手部的比弯曲部分更靠前端侧的部分的宽度大致一定。若采用上述结构，则与第一手部的比弯曲部分更靠前端侧的部分的宽度及第二手部的比弯曲部分更靠前端侧的部分的宽度朝手部的前端逐渐扩大的情况比较，能减小第一手部及第二手部在与搬运对象物的搬运方向正交的方向上的宽度。因此，即便在工业用机器人与第二配置位置之间以及工业用机器人与第一配置位置之间配置有闸门部的情况下，也能容易且可靠地防止闸门部与手部的干涉。 [0020] 发明效果 [0021] 如上所述，在本发明的工业用机器人中，能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置搬运，并能将搬运对象物朝其被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置搬运，且即便在工业用机器人与第二配置位置之间配置有闸门部，也能减小手部相对于主体部的回旋半径，并能防止手部与闸门部的干涉。附图说明 [0022] 图1是本发明实施方式的工业用机器人的侧视图。 [0023] 图2是图1所示的工业用机器人的俯视图。 [0024] 图3是图2所示的第一手部及第二手部的俯视图，图3(A)是表示将晶片朝处理装置搬运时的第一手部及第二手部的状态的图，图3(B)是表示将晶片朝盒子搬运时的第一手部及第二手部的状态的图。 [0025] 图4是表示在第一手部的前端侧和第二手部的前端侧沿上下方向不重叠的状态下从图2所示的盒子取出晶片时的状态的俯视图。 具体实施方式[0026] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。 [0027] (工业用机器人的概略结构) [0028] 图1是本发明实施方式的工业用机器人1的侧视图。图2是图1所示的工业用机器人1的俯视图。 [0029] 本实施方式的工业用机器人1是用于对作为搬运对象物的半导体晶片2(参照图2)进行搬运的多关节型机器人。如图1、图2所示，该工业用机器人1包括：供半导体晶片 2装载的第一手部3及第二手部4这两个手部；以能旋转的方式安装有第一手部3及第二手部4的臂5；以及以能旋转的方式安装有臂5的基端部的主体部6。另外，在以下的说明中，将工业用机器人1称为“机器人1”，并将半导体晶片2称为“晶片2”。 [0030] 主体部6形成为大致圆筒状。在主体部6的内部收纳有使臂5升降的升降机构(未图示)。臂5由第一臂部7、第二臂部8及第三臂部9构成。第一臂部7、第二臂部8及第三臂部9形成为中空状。第一臂部7的基端部以能旋转的方式安装于主体部6。第二臂部8的基端部以能旋转的方式安装于第一臂部7的前端部。第三臂部9的基端部以能旋转的方式安装于第二臂部8的前端部。在本实施方式中，在上下方向上，从下侧起依次配置主体部6、第一臂部7、第二臂部8及第三臂部9。 [0031] 第一手部3的基端部及第二手部4的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于第三臂部9的前端部。另外，第一手部3的基端部及第二手部4的基端部配置于第三臂部9的上表面侧。在本实施方式中，第一手部3的基端部配置于上侧，第二手部4的基端部配置于下侧。即，第一手部3配置于第二手部4的上侧。第一手部3及第二手部4能相对于臂5个别地旋转。另外，第一手部3和第二手部4从上下方向观察时能以共同的旋转中心C1为中心进行旋转。在后面说明第一手部3及第二手部4的详细结构。 [0032] 另外，机器人1包括：使第一臂部7及第二臂部8旋转以使由第一臂部7和第二臂部8构成的基端侧臂部伸缩的基端侧臂部驱动机构(未图示)；驱动第三臂部9旋转的第三臂部驱动机构(未图示)；驱动第一手部3旋转的第一手部驱动机构(未图示)；以及驱动第二手部4旋转的第二手部驱动机构(未图示)。 [0033] 基端侧臂部驱动机构包括：电动机；将该电动机的动力减速并传递至第一臂部7的减速机；以及将该电动机的动力减速并传递至第二臂部8的减速机等。第三臂部驱动机构包括电动机以及将该电动机的动力减速并传递至第三臂部9的减速机等。第一手部驱动机构包括电动机以及将该电动机的动力减速并传递至第一手部3的减速机等，第二手部驱动机构包括电动机以及将该电动机的动力减速并传递至第二手部4的减速机等。 [0034] 本实施方式的机器人1是通过组装于半导体制造系统而被使用的。例如，机器人1配置于半导体制造系统的入口，并在盒子11与处理装置12之间搬运晶片2，其中上述盒子11被配置成使晶片2以规定的间距在上下方向上重叠，上述处理装置12被配置成使晶片2在上下方向上不重叠(参照图2)。 [0035] 在盒子11上形成有闸门部11a。在闸门11a上形成有供第一手部3及第二手部4的前端侧穿过的开口部11b。在处理装置12上以相邻的方式形成有多个处理室13。另外，在处理装置12上形成有闸门部12a。在闸门部12a上形成有与各处理室13连通的多个开口部12b，开口部12b之间为闸门部12a的壁部12c。 [0036] 在本实施方式中，机器人1在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧沿上下方向重叠的状态下从盒子11中同时搬出两块晶片2，另外，还朝盒子11同时搬入两块晶片2。另外，机器人1在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧沿上下方向不重叠的状态下，将两块晶片2分别搬入两个处理室13，另外，还将两块晶片2分别从两个处理室13中同时搬出。 [0037] 当进行晶片2朝盒子11的搬运时及进行晶片2朝处理装置12的搬运时，臂5以第一手部3及第二手部4的旋转中心C1的移动轨迹为直线状的方式伸缩。在本实施方式中，盒子11的内部是搬运对象物即晶片2被配置成在上下方向上重叠的第一配置位置，处理装置12的内部是晶片2被配置成在上下方向上不重叠的第二配置位置。另外，在本实施方式中，机器人1有时也在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧沿上下方向不重叠的状态下从盒子11中搬出一块晶片2或朝盒子11搬入一块晶片2。 [0038] (第一手部及第二手部的结构) [0039] 图3是图2所示的第一手部3及第二手部4的俯视图，图3(A)是表示将晶片2朝处理装置12搬运时的第一手部3及第二手部4的状态的图，图3(B)是表示将晶片2朝盒子11搬运时的第一手部3及第二手部4的状态的图。 [0040] 第一手部3及第二手部4从上下方向观察时弯曲。具体而言，第一手部3及第二手部4从上下方向观察时以规定的角度弯曲一次。另外，第一手部3及第二手部4从上下方向观察时相对于穿过旋转中心C1的规定的假想线L1形成为大致线对称。即，以第一手部3的弯曲方向和第二手部4的弯曲方向为相反方向的方式形成第一手部3及第二手部4，第一手部3从其基端向前端朝一个方向(图3的逆时针方向)弯曲，第二手部4从其基端向前端朝另一个方向(图3的顺时针方向)弯曲。 [0041] 第一手部3由基端侧部分3a和前端侧部分3b构成。另外，第一手部3从上下方向观察时以基端侧部分3a与前端侧部分3b所成的角度为钝角的方式弯曲一次，整体形成为大致L形状(或大致“く”字形)。同样地，第二手部4由基端侧部分4a和前端侧部分4b构成。另外，第二手部4从上下方向观察时以基端侧部分4a与前端侧部分4b所成的角度为钝角的方式弯曲一次，整体形成为大致L形状(或大致“く”字形)。基端侧部分3a、4a与前端侧部分3b、4b所成的角度例如为大致120°。基端侧部分3a、4a与前端侧部分3b、4b间的边界处的折曲的部分为弯曲部分3c、4c。另外，晶片2装载于前端侧部分3b、4b。 [0042] 基端侧部分3a、4a的厚度(上下方向的厚度)比前端侧部分3b、4b的厚度大。基端侧部分3a、4a的宽度比前端侧部分3b、4b的宽度狭小。另外，基端侧部分3a、4a的宽度大致一定，前端侧部分3b、4b的宽度大致一定。另外，在本实施方式中，基端侧部分3a的宽度比基端侧部分4a的宽度狭小。另外，前端侧部分3b的宽度与前端侧部分4b的宽度相等。 [0043] 前端侧部分3b、4b的前端侧形成为双叉状，具有供晶片2的一部分装载的第一装载部3d、4d和第二装载部3e、4e。第一装载部3d配置于第一手部3的弯曲方向侧，第一装载部4d配置于第二手部4的弯曲方向侧。另外，第二装载部3e配置于第一手部3的弯曲方向侧的相反一侧，第二装载部4e配置于第二手部4的弯曲方向侧的相反一侧。此外，在前端侧部分3b、4b的基端侧配置有用于把持晶片2的把持元件15。把持元件15例如由与晶片2的端面接触的接触部、驱动该接触部的汽缸等构成。另外，也可在第一手部3及第二手部4上设置吸引型的晶片2的把持元件，以代替由汽缸等构成的把持元件15。 [0044] 当进行晶片2朝处理装置12的搬运时，如上所述，第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧在上下方向上不重叠。具体而言，当进行晶片2朝处理装置12的搬运时，如图3(A)所示，设定第一手部3及第二手部4的旋转位置，以使基端侧部分3a与基端侧部分4a所成的角度θ为大致150°。即，当进行晶片2朝处理装置12的搬运时，基端侧部分3a和基端侧部分4a从旋转中心C1朝彼此远离的方向延伸。另外，前端侧部分3b、4b从弯曲部分3c、4c朝处理装置12延伸。另外，当进行晶片2朝处理装置12的搬运时，如图3(A)所示，在由线段L2和线段L3形成的三角形区域R的外侧配置有弯曲部分3c、4c，其中，上述线段L2将装载于第一手部3的晶片2的中心C2与旋转中心C1连接，上述线段L3将装载于第二手部4的晶片2的中心C3与旋转中心C1连接。 [0045] 另一方面，当进行晶片2朝盒子11的搬运时，如上所述，第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧在上下方向上重叠。具体而言，当进行晶片2朝盒子11的搬运时，如图3(B)所示，设定第一手部3及第二手部4的旋转位置，以使前端侧部分3b的前端侧与前端侧部分4b的前端侧交叉地重叠。更具体而言，当进行晶片2朝盒子11的搬运时，设定第一手部3及第二手部的旋转位置，以使第二装载部3e的前端部与第二装载部4e的前端部重叠。此时，基端侧部分3a与基端侧部分4a所成的角度θ例如为大致70°。 [0046] (工业用机器人的概略动作) [0047] 图4是表示在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧沿上下方向不重叠的状态下从图2所示的盒子11中取出晶片2时的状态的俯视图。 [0048] 在如上所述的机器人1中，臂5在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态下伸缩，如图2所示，从盒子11中同时搬出两块晶片2。此时，在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态下，第一手部3及第二手部4的前端侧穿过形成于盒子11的闸门部11a的开口部11b。 [0049] 当从盒子11中搬出了晶片2时，在第一臂部7、第二臂部8及第三臂部9转动规定角度，并且第一手部3及第二手部4以使第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧分离的方式转动之后(具体而言，在第一手部3朝图2的顺时针方向转动、第二手部4朝图2的逆时针方向转动之后)，臂5在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧不重叠的状态下伸缩，以分别将两块晶片2同时搬入两个处理室13。此时，第一手部3的前端侧穿过形成于处理装置12的闸门部12a的一个开口部12b，第二手部4的前端侧穿过另一个开口部12b。 [0050] 另外，当在处理装置12中规定的处理结束时，臂5在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧不重叠的状态下伸缩，以分别将两块晶片2同时从两个处理室13中搬出。当从处理室13中搬出了晶片2时，在第一臂部7、第二臂部8及第三臂部9转动规定角度，并且第一手部3及第二手部4以使第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的方式转动之后(具体而言，在第一手部3朝图2的逆时针方向转动、第二手部4朝图2的顺时针方向转动之后)，臂5在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态下伸缩，以将两块晶片2同时搬入盒子11。 [0051] 此处，根据收容于盒子11的晶片2的块数，机器人1有时也在第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧沿上下方向不重叠的状态下从盒子11中搬出一块晶片2或朝盒子11搬入一块晶片2。在该情况下，例如，有时也从第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态起，如图4(B)所示以基端侧部分3a与基端侧部分4a所成的角度为钝角的方式使第二手部4朝图4的逆时针方向转动，之后使臂5伸缩，以利用第一手部3进行晶片2朝盒子11的搬运。另外，有时也从第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态起，如图4(C)所示以基端侧部分3a与基端侧部分4a所成的角度为锐角的方式使第一手部3朝图4的逆时针方向转动，之后使臂5伸缩，以利用第二手部4进行晶片2朝盒子11的搬运。 [0052] 同样地，若有时也从第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态起，以基端侧部分3a与基端侧部分4a所成的角度为锐角的方式使第二手部4朝图4的顺时针方向转动，之后使臂5伸缩，以利用第一手部3进行晶片2朝盒子11的搬运，则有时也从第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的状态起，以基端侧部分3a与基端侧部分4a所成的角度为钝角的方式使第一手部3朝图4的顺时针方向转动，之后使臂5伸缩，以利用第二手部4进行晶片2朝盒子11的搬运。 [0053] (本实施方式的主要效果) [0054] 如上所述，在本实施方式中，第一手部3的基端部及第二手部4的基端部以在上下方向上重叠的方式安装于第三臂部9的前端部，且第一手部3和第二手部4能相对于臂5个别地旋转。因此，如上所述，通过以第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧重叠的方式设定第一手部3及第二手部4的旋转位置，能将两块晶片2搬运至以晶片2重叠的方式配置的盒子11，且通过以第一手部3的前端侧与第二手部4的前端侧不重叠的方式设定第一手部3和第二手部4的旋转位置，能将晶片2同时搬运至相邻的两个处理室13中的每个处理室13。即，在本实施方式中，能将两块晶片2同时搬运至盒子11及处理装置12。因此，在本实施方式中，能缩短生产节拍时间。另外，在本实施方式中，能同时搬运两块晶片2，因此，能减少机器人1的动作次数，其结果是，能延长机器人1的寿命。 [0055] 在本实施方式中，第一手部3和第二手部4从上下方向观察时以规定的角度彼此朝相反方向弯曲一次，并从上下方向观察时相对于假想线L1形成为大致线对称。另外，当进行晶片2朝处理装置12的搬运时，基端侧部分3a和基端侧部分4a从旋转中心C1朝彼此远离的方向延伸。因此，即便在形成于处理装置12的闸门部12a的开口部12b间存在壁部12c，也能缩短第一手部3及第二手部4在机器人1的径向上的长度，并能防止第一手部3及第二手部4与壁部12c的干涉。即，在本实施方式中，即便在闸门部12a上形成有壁部 12c，也能减小第一手部3及第二手部4相对于主体部6的回旋半径，并能防止第一手部3及第二手部4与闸门部12a的干涉。 [0056] 另外，在本实施方式中，当进行晶片2朝盒子11的搬运时，设定第一手部3及第二手部的旋转位置，以使第二装载部3e的前端部与第二装载部4e的前端部重叠。因此，当进行晶片2朝盒子11的搬运时，能减小第一手部3和第二手部4在与晶片2的搬运方向正交的方向上的重叠部分的宽度。因此，在本实施方式中，即便第一手部3及第二手部4弯曲，也能防止在将晶片2搬运至盒子11时盒子11的闸门部11a与第一手部3及第二手部4的干涉。 [0057] 另外，在本实施方式中，第一手部3的前端侧部分3b的宽度及第二手部4的前端侧部分4b的宽度大致一定，因此，与前端侧部分3b、4b的宽度朝前端逐渐扩大的情况比较，能减小第一手部3和第二手部4在与晶片2的搬运方向正交的方向上的宽度。因此，在本实施方式中，能容易且可靠地防止第一手部3及第二手部4与闸门部11a、12a的干涉。 [0058] 在本实施方式中，第一手部3及第二手部4从上下方向观察时弯曲一次。因此，在本实施方式中，与第一手部3及第二手部4从上下方向观察时弯曲多次的情况比较，能简化第一手部3及第二手部4的结构。 [0059] (其它实施方式) [0060] 上述实施方式是本发明的优选实施方式中的一例，但本发明并不限定于此，能在不改变本发明技术思想的范围内进行各种变形实施。 [0061] 在上述实施方式中，第一手部3从上下方向观察时以基端侧部分3a与前端侧部分3b所成的角度为钝角的方式弯曲。除此之外，例如，第一手部3既可以从上下方向观察时以基端侧部分3a与前端侧部分3b所成的角度为直角的方式弯曲，也可以以基端侧部分3a与前端侧部分3b所成的角度为锐角的方式弯曲。同样地，在上述实施方式中，第二手部4从上下方向观察时以基端侧部分4a与前端侧部分4b所成的角度为钝角的方式弯曲，但第二手部4既可以从上下方向观察时以基端侧部分4a与前端侧部分4b所成的角度为直角的方式弯曲，也可以以基端侧部分4a与前端侧部分4b所成的角度为锐角的方式弯曲。 [0062] 在上述实施方式中，第一手部3及第二手部4从上下方向观察时弯曲一次。除此之外，例如，第一手部3及第二手部4也可以弯曲两次以上。另外，在上述实施方式中，第一手部3的前端侧部分3b的宽度及第二手部4的前端侧部分4b的宽度大致一定，但也可以如上述专利文献1记载的工业用机器人的手部那样，以前端侧部分3b、4b的宽度朝前端逐渐扩大的方式形成前端侧部分3b、4b。 [0063] 在上述实施方式中，第一手部3的前端侧部分3b及第二手部4的前端侧部分4b形成为双叉状。除此之外，例如，前端侧部分3b、4b也可形成为直线状。另外，在上述实施方式中，机器人1是用于搬运晶片2的机器人，但机器人1也可以是用于对晶片2以外的基板等搬运对象物进行搬运的搬运用机器人。 [0064] (符号说明) [0065] 1 机器人(工业用机器人) [0066] 2 晶片(半导体晶片、搬运对象物) [0067] 3 第一手部 [0068] 3c 弯曲部分 [0069] 3d 第一装载部 [0070] 3e 第二装载部 [0071] 4 第二手部 [0072] 4c 弯曲部分 [0073] 4d 第一装载部 [0074] 4e 第二装载部 [0075] 5 臂 [0076] 6 主体部 [0077] 11 盒子(第一配置位置) [0078] 12 处理装置(第二配置位置) [0079] C1 旋转中心 [0080] C2 装载于第一手部的搬运对象物的中心 [0081] C3 装载于第二手部的搬运对象物的中心 [0082] L1 假想线 [0083] L2 将装载于第一手部的搬运对象物的中心和旋转中心连接的线段[0084] L3 将装载于第二手部的搬运对象物的中心和旋转中心连接的线段[0085] R 区域 |
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