1.一种多轴机械手，所述机械手包括：
转臂，所述转臂经调适以围绕第一旋转轴线旋转，所述转臂包括腹板部分；
转臂驱动设备，所述转臂驱动设备包括：
第一前臂驱动部件，所述第一前臂驱动部件在所述腹板部分之上以旋转方式安装至所述转臂，
第一腕部驱动部件，所述第一腕部驱动部件在所述腹板部分之上以旋转方式安装至所述转臂，
第二前臂驱动部件，所述第二前臂驱动部件在所述腹板部分之下以旋转方式安装至所述转臂，
第二腕部驱动部件，所述第二腕部驱动部件在所述腹板部分之下以旋转方式安装至所述转臂；
第一前臂，所述第一前臂在所述转臂的外侧端以旋转方式耦接至所述转臂，且所述第一前臂被配置成围绕第二旋转轴线独立旋转；
第二前臂，所述第二前臂在所述转臂的所述外侧端以旋转方式耦接至所述转臂，且被配置成围绕所述第二旋转轴线独立旋转，所述第二前臂比所述第一前臂短；
第一腕部部件，所述第一腕部部件在所述第一前臂的第一外部位置以旋转方式耦接至所述第一前臂且被配置成相对于所述第一前臂围绕第三轴线独立旋转；及第二腕部部件，所述第二腕部部件在第二外部位置以旋转方式耦接至所述第二前臂且被配置成相对于所述第二前臂围绕第四轴线独立旋转。
2.如权利要求1所述的多轴机械手，所述机械手进一步包括：
第一驱动马达，所述第一驱动马达耦接至所述转臂；
第二驱动马达，所述第二驱动马达耦接至所述第一前臂；
第三驱动马达，所述第三驱动马达耦接至所述第一腕部部件；
第四驱动马达，所述第四驱动马达耦接至所述第二前臂；及
第五驱动马达，所述第五驱动马达耦接至所述第二腕部部件。
3.如权利要求1所述的多轴机械手，所述机械手进一步包括：
第一驱动马达的第一定子；
第二驱动马达的第二定子；
第三驱动马达的第三定子；
第四驱动马达的第四定子；
第五驱动马达的第五定子；
上隔框，所述上隔框支撑所述第一定子及所述第五定子；
下隔框，所述下隔框支撑所述第二定子及所述第三定子；及
所述第四定子被接收于上隔框与下隔框之间。
4.如权利要求1所述的多轴机械手，其中，所述第二前臂具有比所述第一前臂短的长度且所述长度被配置以使得所述第二前臂不干扰所述第一前臂的腕部关节。
5.如权利要求1所述的多轴机械手，其中，所述第一前臂具有第一中心之间长度，且所述第二前臂具有第二中心之间长度，且所述第二中心之间长度介于所述第一中心之间长度的50％与90％之间。
6.如权利要求1所述的多轴机械手，其中，所述转臂的中心之间长度比所述第一前臂的中心之间长度短。
7.如权利要求1所述的多轴机械手，其中，所述转臂的中心之间长度比所述第二前臂的中心之间长度短。
8.如权利要求1所述的多轴机械手，其中，较短的所述第二前臂定位在比所述第一前臂高的水平处。
9.如权利要求1所述的多轴机械手，其中所述转臂驱动设备进一步包括：
第一前臂从动部件，所述第一前臂从动部件在所述腹板部分之上在外侧端处以旋转方式安装至所述转臂，
第一腕部从动部件，所述第一腕部从动部件在所述腹板部分之上在外侧端处以旋转方式安装至所述转臂，
第一前臂传动部件，所述第一前臂传动部件在所述腹板部分之上将所述第一前臂驱动部件耦接至所述第一前臂从动部件，及
第一腕部传动部件，所述第一腕部传动部件在所述腹板部分之上将所述第一腕部驱动部件耦接至所述第一腕部从动部件。
10.如权利要求9所述的多轴机械手，所述机械手进一步包括耦接在所述第一腕部驱动部件与所述第一腕部部件之间的第一中间传动部件。
11.如权利要求9所述的多轴机械手，其中，所述转臂驱动设备进一步包括：
第二前臂从动部件，所述第二前臂从动部件在所述腹板部分之下在外侧端处以旋转方式安装至所述转臂，
第二腕部从动部件，所述第二腕部从动部件在所述腹板部分之下在外侧端处以旋转方式安装至所述转臂，
第二前臂传动部件，所述第二前臂传动部件在所述腹板部分之下将所述第二前臂驱动部件耦接至所述第二前臂从动部件，及
第二腕部传动部件，所述第二腕部传动部件在所述腹板部分之下将所述第二腕部驱动部件耦接至所述第二腕部从动部件，及
其中所述多轴机械手进一步包括耦接在所述第二腕部驱动部件与所述第二腕部部件之间的第二中间传动部件。
12.一种电子装置处理系统，所述系统包括：
传递腔室；
多关节机械手设备，所述多关节机械手设备至少部分地被接收于所述传递腔室中，所述多关节机械手设备具有：
转臂，所述转臂经调适以围绕第一旋转轴线旋转，所述转臂包括腹板部分；
转臂驱动设备，所述转臂驱动设备包括：
第一前臂驱动部件，所述第一前臂驱动部件在所述腹板部分之上以旋转方式安装至所述转臂，
第一腕部驱动部件，所述第一腕部驱动部件在所述腹板部分之上以旋转方式安装至所述转臂，
第二前臂驱动部件，所述第二前臂驱动部件在所述腹板部分之下以旋转方式安装至所述转臂，
第二腕部驱动部件，所述第二腕部驱动部件在所述腹板部分之下以旋转方式安装至所述转臂；
第一前臂，所述第一前臂在所述转臂的外侧端以旋转方式耦接至所述转臂且被配置成独立旋转；
第二前臂，所述第二前臂在所述转臂的所述外侧端以旋转方式耦接至所述转臂且被配置成独立旋转，所述第二前臂比所述第一前臂短；
第一腕部部件，所述第一腕部部件以旋转方式耦接至所述第一前臂且被配置成相对于所述第一前臂而独立旋转；及
第二腕部部件，所述第二腕部部件以旋转方式耦接至所述第二前臂且被配置成相对于所述第二前臂而独立旋转。
13.如权利要求12所述的电子装置处理系统，所述系统包括：
所述第一前臂的第一中心之间长度、所述第二前臂的第二中心之间长度，且所述第二中心之间长度介于所述第一中心之间长度的50％与90％之间。
14.一种在电子装置处理系统内传送基板的方法，所述方法包括：
提供转臂，所述转臂经调适以围绕第一旋转轴线旋转，所述转臂包括腹板部分；
提供转臂驱动设备，所述转臂驱动设备包括：
第一前臂驱动部件，所述第一前臂驱动部件在所述腹板部分之上以旋转方式安装至所述转臂，
第一腕部驱动部件，所述第一腕部驱动部件在所述腹板部分之上以旋转方式安装至所述转臂，
第二前臂驱动部件，所述第二前臂驱动部件在所述腹板部分之下以旋转方式安装至所述转臂，
第二腕部驱动部件，所述第二腕部驱动部件在所述腹板部分之下以旋转方式安装至所述转臂；
提供第一前臂，所述第一前臂在所述转臂的外侧端以旋转方式耦接至所述转臂；
提供第二前臂，所述第二前臂在所述转臂的所述外侧端以旋转方式耦接至所述转臂，所述第二前臂比所述第一前臂短；
提供第一腕部部件，所述第一腕部部件在所述第一前臂的外部位置以旋转方式耦接至所述第一前臂；
提供第二腕部部件，所述第二腕部部件在所述第二前臂的外部位置以旋转方式耦接至所述第二前臂；及
借助所述第一前臂驱动部件的旋转独立旋转所述第一前臂、借助所述第二前臂驱动部件的旋转独立旋转所述第二前臂、借助所述第一腕部驱动部件的旋转独立旋转所述第一腕部部件，及借助所述第二腕部驱动部件的旋转独立旋转所述第二腕部部件以将基板从一个腔室传送至另一个腔室，及在所述传送期间的至少一些时间内将所述第二前臂移至高于所述第一前臂。
15.如权利要求14所述的方法，所述方法包括定位全部处于折叠状态下的所述第一前臂、所述第二前臂、所述第一腕部部件、所述第二腕部部件、耦接至所述第一腕部部件的第一终端受动器、及耦接至所述第二腕部部件的第二终端受动器，其中正在第一和第二终端受动器上被同时传送的第一基板和第二基板不越过彼此。