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基本的微机电结构
子分类:
B81B2203/01: .悬挂结构,即结构允许一个运动
B81B2203/03: .静态结构
B81B2203/04: .电极
B81B2203/05: .运动的类型
B81B2203/06: .包括可移动的相互关系中的元件的设备,如滑动或旋转
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