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压电石英晶体频率片自动控温腐蚀

阅读:798发布:2020-05-11

专利汇可以提供压电石英晶体频率片自动控温腐蚀专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型提供一种压电 石英 晶体 频率 片自动控温 腐蚀 机,它包括 超 声波 水 槽和设置在 超声波 水槽内的腐蚀液内槽,超声波水槽上设置有进水管道,超声波水槽上部设置有上限溢 流管 道,进水管道上设置有电磁 阀 开关 ,超声波水槽内设置有 热电偶 ,热电偶电连接 温度 控制仪, 温度控制 仪的常开触点一端连接中间继电器的线圈一端,中间继电器的常开触点一端连接所述 电磁阀 开关的线圈一端,温度控制仪的常开触点另一端、中间继电器的常开触点另一端用于连接电源一端,中间继电器的线圈另一端、电磁阀开关的线圈另一端用于连接电源另一端。该压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机具有设计科学、结构简单、温度恒定、操作安全可靠的优点。,下面是压电石英晶体频率片自动控温腐蚀专利的具体信息内容。

1、一种压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机,包括声波槽和设置 在超声波水槽内的腐蚀液内槽,其特征在于:所述超声波水槽上设置有进 水管道,所述超声波水槽上部设置有上限溢流管道,所述进水管道上设置 有电磁开关,所述超声波水槽内设置有热电偶,所述热电偶电连接温度 控制仪,所述温度控制仪的常开触点一端连接中间继电器的线圈一端,所 述中间继电器的常开触点一端连接所述电磁阀开关的线圈一端,所述温度 控制仪的常开触点另一端、所述中间继电器的常开触点另一端用于连接电 源一端,所述中间继电器的线圈另一端、所述电磁阀开关的线圈另一端用 于连接电源另一端。
2、根据权利要求1所述的压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机,其特 征在于:所述进水管道上设置有阀
3、根据权利要求1所述的压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机,其特 征在于:所述上限溢流管道上设置有控制阀门。

说明书全文

技术领域

本实用新型涉及一种压电石英晶体频率腐蚀加工设备,具体地说, 涉及了一种压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机

背景技术

腐蚀机是一种利用化学加工的方法改变晶片的厚度或频率和表面光洁 度的一种设备,它的组成有声波发生装置、腐蚀液内槽、温控装置、自 动升降装置、吊挂装置等组成;它的工作原理是:打开超声波设定到一定 功率,打开温控装置,设定到工艺要求温度,将晶片放在一个盛具内,吊 挂在自动升降装置上,打开自动升降装置,使晶片在腐蚀液内上下运动, 并通过超声波使晶片均匀散开,在一定的时间内使晶片频率达到指定频率, 腐蚀时间按工艺要求确定;在腐蚀的过程中,晶片始终在恒温的腐蚀液中 腐蚀,但在实际生产中,由于超声波在工作时会产生热量,使腐蚀液温度 升高,腐蚀出来的晶片频率有差异,并且经常出现同样的腐蚀时间,而频 率却超出很多,而这些原因就是因为腐蚀液的温度波动引起的。
为了克服以上问题,人们一直在寻找一种技术解决方案。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,从而提供一种设计科学、 结构简单、温度恒定、安全可靠的压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种压电石英晶体 频率片自动控温腐蚀机,包括超声波槽和设置在超声波水槽内的腐蚀液 内槽,所述超声波水槽上设置有进水管道,所述超声波水槽上部设置有上 限溢流管道,所述进水管道上设置有电磁开关,所述超声波水槽内设置 有热电偶,所述热电偶电连接温度控制仪,所述温度控制仪的常开触点一 端连接中间继电器的线圈一端,所述中间继电器的常开触点一端连接所述 电磁阀开关的线圈一端,所述温度控制仪的常开触点另一端、所述中间继 电器的常开触点另一端用于连接电源一端,所述中间继电器的线圈另一端、 所述电磁阀开关的线圈另一端用于连接电源另一端。
基于上述,所述进水管道上设置有阀;所述上限溢流管道上设置有 控制阀门。
本实用新型相对于现有技术具有实质性特点和进步,具体的说,该自 动控温腐蚀机设计科学,结构简单,温度恒定,操作安全可靠;该自动控 温腐蚀机有效解决了超声波所产生热量对腐蚀液温度的影响,即在工作时, 超声波水槽内的水温可自行调节,使得槽内水温保持恒定,保证了腐蚀液 内槽中腐蚀液温度恒定,进一步确保了晶片加工的质量,提高了产品合格 率,大大降低了企业生产成本。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是所述温控电路的连接结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式:
如图1和图2所示,一种压电石英晶体频率片自动控温腐蚀机,包括 超声波水槽1和设置在超声波水槽1内的腐蚀液内槽2,所述超声波水槽1 上设置有进水管道4,所述超声波水槽1上部设置有上限溢流管道3,所述 进水管道4上设置有电磁阀开关5,所述超声波水槽1内设置有热电偶6, 所述热电偶6电连接温度控制仪7;所述热电偶6用于测量水的温度;
如图2所示,所述温度控制仪7的常开触点11一端连接中间继电器8 的线圈一端,所述中间继电器8的常开触点12一端连接所述电磁阀开关5 的线圈一端,所述温度控制仪7的常开触点11另一端、所述中间继电器8 的常开触点12另一端用于连接电源一端,所述中间继电器8的线圈另一端、 所述电磁阀开关5的线圈另一端用于连接电源另一端,以此构成本腐蚀机 的温控电路。
基于上述,所述进水管道4上设置有阀门10;所述上限溢流管道3上 设置有控制阀门9;阀门10和控制阀门9用于特殊情况下手动控制。
在工作过程中,超声波发生装置会产生热量,使超声波水箱内的水温 上升而无法有效控制,为此,在进水口处安装一个单向的电磁阀开关,当 温度升高时,电磁阀开关打开注入凉水,当温度下降并达到设定温度时电 磁阀开关关闭;实现这一功能还需要一个温度控制仪,一个中间继电器, 一个热电偶,当热电偶检测到超声波水槽内的水温度升高,即温度大于设 定值时,温度控制仪的常开触点会闭合,给中间继电器提供一个电压,中 间继电器工作,然后电磁阀开关线圈得电,电磁阀开关打开,水进入超声 波水槽内,当水位超过上限溢流孔时,水溢流出来,从而达到降温作用; 而当温度低于设定值时,温度控制仪触点断开,则中间继电器失电,继而 电磁阀开关线圈失电,则水关闭;以上动作会往复工作,使其槽内温度在 很小的范围内变化,从而达到生产所需。
所述中间继电器型号是JZ7-44,所述温度控制仪型号是XMTD-2301, 所述热电偶型号是WRET-1800E,所述电磁阀型号是QX23D-22。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非 对其限制;尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明,所属领域 的普通技术人员应当理解:依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改 或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本实用新型技术方案的精神, 其均应涵盖在本实用新型请求保护的技术方案范围当中。
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