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大气压 等离子体装置

阅读：979发布：2020-05-11

专利汇可以提供大气压等离子体装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明谋求一种通过压力传感器来检测气体配管内的压力并通过判断部根据气体配管内的压力偏离标准值的情况来判断装置的状态的有用的大气压等离子体装置。提供一种大气压等离子体装置，该大气压等离子体装置具备：等离子体照射头；气体配管，向等离子体照射头供给气体；流量控制计，控制向气体配管供给的气体的流量；压力传感器，配设于流量控制计的下游侧X，检测气体配管内的压力；及判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。由此，能够判断大气压等离子体装置的气体泄漏。另外，能够判断是否以良好的状态产生了等离子体。，下面是大气压等离子体装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种大气压等离子体装置，其特征在于，具备：
等离子体头；
气体配管，向所述等离子体头供给气体；
流量控制计，控制向所述气体配管供给的气体的流量；
压力传感器，配设于所述流量控制计的下游侧，检测所述气体配管内的压力；及判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的所述气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。
2.根据权利要求1所述的大气压等离子体装置，其中，
在所述气体配管内的压力为所述标准值以上的情况下，所述判断部判断为在所述等离子体头内以预先确定的规定状态产生了等离子体。
3.根据权利要求1或2所述的大气压等离子体装置，其中，
在所述气体配管内的压力为所述标准值以下的情况下，所述判断部将装置的状态判断为异常。
4.根据权利要求3所述的大气压等离子体装置，其中，
所述判断部根据气体的减压量来判断气体的泄漏量。

说明书全文

大气压 等离子体装置

技术领域

[0001] 本申请涉及一种大气压等离子体装置，更加具体地说，涉及一种检测气体配管内的压力来判断装置的状态的大气压等离子体装置。

背景技术

[0002] 迄今为止，存在有在对被处理体进行等离子体处理的等离子体处理装置中具备检测气体配管内的压力的压力计的装置。关于该技术，例如，存在有日本特开2012-129356号“等离子体处理装置、等离子体处理方法及存储介质”。该内容为一种等离子体处理装置，通过处理气体的等离子体而对被处理基板进行等离子体处理，该等离子体处理装置具备：处理容器，收容有被处理基板，内部能够进行真空排气；下部电极，配置于处理容器内，作为被处理基板的载置台发挥功能；上部电极，以与下部电极相向的方式配置于处理容器内，具有将处理气体呈喷淋状地向处理容器内喷出的能够装卸的电极板；气体供给单元，包括向上部电极供给处理气体的气体配管；等离子体生成用高频电力施加单元，对上部电极或者下部电极中的至少一方施加等离子体生成用的高频电力；压力计，检测气体配管内的压力；及控制部，以基于压力计的气体配管内的压力的检测值为基础，求得电极板的消耗度，计算基于此时的电极板的消耗的处理速率的变动，以消除该处理速率的变动的方式调整处理条件。

[0003] 现有技术文献

[0004] 专利文献

[0005] 专利文献1：日本特开2012-129356号公报发明内容

[0006] 发明所要解决的课题

[0007] 专利文献1基于气体配管内的压力的检测值，求得电极板的消耗度，计算基于此时的电极板的消耗的处理速率的变动，以消除该处理速率的变动的方式调整处理条件。因此，能够始终以与电极板未消耗时同等的处理速率进行等离子体处理，抑制与电极板的消耗相伴的处理速率的变动。另一方面，在大气压等离子体装置中，要求通过压力传感器来检测气体配管内的压力，通过判断部根据气体配管内的压力偏离标准值的情况来判断装置的状态。

[0008] 为此，本申请的目的在于提供一种解决上述课题的大气压等离子体装置。

[0009] 用于解决课题的技术方案

[0010] 为了实现所述目的，本申请的大气压等离子体装置具备：等离子体头；气体配管，向等离子体头供给气体；流量控制计，控制向气体配管供给的气体的流量；压力传感器，配设于流量控制计的下游侧，检测气体配管内的压力；及判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。

[0011] 发明效果

[0012] 本申请的大气压等离子体装置具备：压力传感器，检测气体配管内的压力；及判断部，根据气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。由此，能够判断气体配管的泄漏、偏离等异常、等离子体头中的等离子体的生成状态等大气压等离子体装置的状态。附图说明

[0013] 图1是表示安装于工业用机器人的等离子体发生装置的概要结构的图。

[0014] 图2是等离子体头的立体图。

[0015] 图3是表示等离子体头的内部构造的剖视图。

[0016] 图4是表示等离子体发生装置的控制系统的框图。

[0017] 图5是表示检测模块的电结构的框图。

[0018] 图6是表示等离子体发生装置中的处理气体的供给所涉及的结构的示意图。

[0019] 图7是表示等离子体发生装置中的气体流量与压力的关系的坐标图。

[0020] 图8是表示等离子体发生装置中的气体泄漏量与压力的关系的坐标图。

[0021] 图9是表示等离子体发生装置中的从放电开始起经过的时间与压力的关系(等离子体模式压力变化)的坐标图。

[0022] 图10是阅览等离子体发生装置所涉及的各种信息的网络结构图。

[0023] 图11是咨询台的终端的显示画面的图。

[0024] 图12是管理者终端的显示画面的图。

具体实施方式

[0025] 第一实施方式

[0026] 整体结构

[0027] 等离子体发生装置10具备等离子体头11、控制装置110、电力电缆40、气体配管80及检测模块120等。等离子体发生装置10从控制装置110经由电力电缆40向等离子体头11传送电力，经由气体配管80供给处理气体，从等离子体头11照射等离子体。等离子体头11安装于工业用机器人100的机械臂101的前端。电力电缆40及气体配管80被安装为沿着机械臂101。机械臂101是在一个方向上连结两个臂部105、105的多关节机器人。工业用机器人100进行驱动机械臂101而向工件台5所支撑的工件W照射等离子体的作业。如后所述，电力电缆
40具有第一电缆41、第二电缆42及接地电缆43。气体配管80具有第一气体配管81及第二气体配管82。控制装置110具有第一处理气体供给装置111及第二处理气体供给装置112。第一处理气体供给装置111将包括氮等在内的非活性气体供给为处理气体。第二处理气体供给装置112将包括干燥空气等在内的活性气体供给为处理气体。另外，在控制装置11中具备触摸面板113。触摸面板113显示各种设定画面、装置的动作状态等。

[0028] 等离子体头的结构

[0029] 接下来，使用图2、图3说明等离子体头11的结构。如图2所示，等离子体头11具备主体块20、一对电极22(图3)、缓冲部件26、第一连结块28、反应室块30及第二连结块32。在以下的说明中，方向使用图2所示的方向。

[0030] 在主体块20的上表面形成有沿上下方向贯通的孔(未图示)，在贯通的孔安装有圆筒状的上部保持架54、54。在上部保持架54、54插入有棒状的导电部58、58，且被上部保持架54、54固定地保持。导电部58、58分别与第一电缆41及第二电缆42电连接。在导电部58、58的下方的前端部安装有一对电极22。一对电极22为大致棒状。在主体块20的、沿主体块20的上表面的Y轴方向的中心线上的位置形成有沿上下方向贯通的第一气体流路62的开口部。另外，在主体块20的左右的面形成有两条第二气体流路66的开口部。第一气体流路62及第二气体流路66分别与第一气体配管81及第二气体配管82物理地连接(连接状态未图示)。

[0031] 缓冲部件26形成为大致板状，由硅树脂制的材料制成。第一连结块28、反应室块30及第二连结块32形成为大致厚板形状，由陶瓷制的材料制成。

[0032] 接下来，使用图3，说明等离子体头11的内部构造。在主体块20的下表面形成有一对圆柱状的圆柱凹部60。另外，在主体块20的内部形成有第一气体流路62和两条第二气体流路66。第一气体流路62向一对圆柱凹部60之间开口，两条第二气体流路66向一对圆柱凹部60的内部开口。此外，第二气体流路66形成为从主体块20的左右面起朝向主体块20的中央部，在沿X轴方向延伸了预定距离之后，朝向下方弯折。另外，第一气体流路62形成为从主体块20的上表面起朝向下方，在沿Z轴方向延伸了预定距离之后，朝向后方弯折，进而朝向下方弯折。

[0033] 在缓冲部件26形成有与圆柱凹部60连通的插入部76。在第一连结块28形成有与插入部76连通的插入部64。在反应室块30形成有与插入部64连通的插入部63。主体块20的圆柱凹部60、插入部76、插入部64及插入部63连通，且内部的空间为反应室35。在第二连结块32形成有沿上下方向贯通的多个连通孔36。多个连通孔36形成为在Y方向上的中央部沿X方向并排。

[0034] 等离子体照射

[0035] 接下来，说明等离子体发生装置10中的等离子体产生。将混合氮等非活性气体与干燥空气而成的气体作为处理气体向第一气体流路62供给。将供给至第一气体流路62的气体向反应室35供给。另外，将氮等非活性气体作为处理气体向第二气体流路66供给。将供给至第二气体流路66的非活性气体向反应室35供给。另外，对一对电极22施加电压。由此，在一对电极22间产生了疑似电弧放电而流动有电流。通过疑似电弧放电而将处理气体等离子体化。此外，疑似电弧放电是指一边通过等离子体电源限制电流一边放电的方式，以使得不会像通常的电弧放电那样流动有大电流。在反应室35中产生的等离子体经由第二连结块32的多个连通孔36而喷出，从而向工件W照射等离子体。

[0036] 控制系统

[0037] 接下来，使用图4，说明等离子体发生装置10的控制系统。除了上述结构以外，控制装置110还具备控制器130、电源装置140及多个驱动电路132。多个驱动电路132与第一处理气体供给装置111、第二处理气体供给装置112及触摸面板113连接。控制器130具备CPU、ROM、RAM等，以计算机为主体，与多个驱动电路132及电源装置140连接。控制器130控制电源装置140、第一处理气体供给装置111、第二处理气体供给装置112及触摸面板113等。

[0038] 基于检测模块的漏电检测

[0039] 如图1所示，连接等离子体头11的电极22与电源装置140而向电极22供供电力的电力电缆40安装于工业用机器人100的机械臂101。因此，根据机械臂101的动作而对电力电缆40施加有弯曲、扭绞、拉伸等的应力，存在有受到损伤的情况。为此，等离子体发生装置10通过检测模块120来检测因电力电缆40损伤等而产生的异常电流。接下来进行详述。

[0040] 如图5所示，由商用电源(未图示)供电的电源装置140具有AC电源141、142及DC电源143。检测模块120具有变流器CT、比较电路121、电源电路122及开关123。电力电缆40具有第一电缆41、第二电缆42及接地电缆43。第一电缆41、第二电缆42及接地电缆43各自是绝缘体被电线覆盖而成的电缆。第一电缆41、第二电缆42及接地电缆43被网眼状的导电性的屏蔽部件45屏蔽。AC电源141经由第一电缆41及第二电源电缆朝向等离子体头11供给交流电力。详细地说，第一电缆41及第二电源电缆各自朝向等离子体头11的电极22、22供供电力。屏蔽部件45经由接地电缆43接地。

[0041] 检测模块120具有变流器CT、比较电路121、电源电路122及开关123。变流器CT安装于接地电缆43。变流器CT将与在接地电缆43中流动的电流值相应的检测电压朝向比较电路121输出。电源电路122由从AC电源142供给的AC200V生成朝向比较电路121供给的驱动电压及阈值电压，并朝向比较电路121供给。当检测电压形成为阈值电压以上时，比较电路121输出使开关123开启的电压。开关123的一端与输出DC24V的电源电路122连接，另一端与控制器130连接。在从比较电路121输入有使开关123开启的电压的情况下，开关123开启，将DC24V朝向控制器130输出。另一方面，在未从比较电路121输入有使开关123开启的电压的情况下，开关123关闭，不将DC24V朝向控制器130输出。

[0042] 在此，由于在第一电缆41或者第二电缆42与接地电缆43之间产生了短路或放电的情况下，从AC电源141朝向接地电压流动有电流，因此变流器CT的检测电压形成为阈值电压以上，向控制器130输入有DC24V。另外，在第一电缆41与第二电缆42之间产生了短路或放电的情况下，因电磁感应而在屏蔽部件45中流动有电流。由此，在接地电缆43中流动有电流，变流器CT的检测电压形成为阈值电压以上，向控制器130输入有DC24V。这样，检测模块120不仅在第一电缆41或者第二电缆42的接地时检测短路或放电，还能够检测第一电缆41及第二电缆42间的短路或放电。

[0043] 当通过检测模块120输入有DC24V时，控制器130对电源装置140进行指示，以使AC电源141朝向等离子体头11的供电停止。另外，对第一处理气体供给装置111及第二处理气体供给装置112的各驱动电路132进行指示，以使气体的供给停止。由此，等离子体头11朝向电极22、22的电力停止，处理气体的供给停止。另外，例如对触摸面板113的驱动电路132的整个区域进行红色显示，也通过显示消息等的警告显示来指示漏电。

[0044] 第二实施方式

[0045] 接下来，说明与等离子体发生装置10中的处理气体的供给相关的结构。

[0046] 如图6所示，等离子体头11与控制装置110被气体配管80连结。该控制装置110具备压力传感器92、流量控制计94、控制器130等，这些压力传感器92、流量控制计94由控制器130控制。控制器130与第一处理气体供给装置111及第二处理气体供给装置112连接。气体配管80具有供从第一处理气体供给装置111供给的氮气流动的第一气体配管81和供给从第二处理气体供给装置112供给的干燥空气的第二气体配管82。

[0047] 在控制器130所具备的CPU134(参照图6)中，执行进行判断处理的程序。该判断处理根据对应被供给的处理气体的各流量所规定的第一气体配管81与第二气体配管82的配管压力偏离标准值的情况来判断等离子体发生装置10的状态。在第一气体配管81及第二气体配管82内的压力为标准值以上的情况下，判断为在等离子体头11内以预先确定的规定状态产生了等离子体。在此，预先确定的规定状态是指，例如，预定量的处理气体被供给至等离子体头11而稳定地产生了等离子体的状态。进而，在第一气体配管81及第二气体配管82内的压力为标准值以下的情况下，将等离子体发生装置10的状态判断为异常。在此，异常是指，例如，第一气体配管81或者第二气体配管82偏离这样的情况、因配管的破损、破裂等而导致处理气体向外部泄漏这样的情况、异常放电的情况、在等离子体头11中并未正常地产生了等离子体的情况、气体供给的不合格的情况等。另外，根据气体的减压量来判断气体的泄漏量。

[0048] 另外，在触摸面板113显示有基于等离子体发生装置10的作业所需的各种信息。

[0049] 流量控制计94控制从第一处理气体供给装置111及第二处理气体供给装置112向第一气体配管81及第二气体配管82供给的气体的流量。该流量控制计94配设于第一处理气体供给装置111及第二处理气体供给装置112的下游侧X、且压力传感器92的上游侧Y。流量控制计94例如能够使用公知的质量流量控制器。

[0050] 在等离子体发生装置10中，在处理气体的供给量不足的情况下，在等离子体头11中难以稳定地产生等离子体。通过流量控制计94将处理气体的供给量控制在规定的流量。通过该流量控制计94而设为供等离子体产生的恰当的气体供给量。

[0051] 此外，具体地说，气体流量的调整是通过控制自动阀(未图示)的开闭来进行的。

[0052] 压力传感器92检测第一气体配管81及第二气体配管82内的压力。该压力传感器92配设于流量控制计94的下游侧X、且等离子体头11的上游侧Y。通过检测压力，能够检测气体配管的偏离、泄漏等。另外，能够检测是否正常地产生了等离子体。

[0053] 具备第一气体配管81及第二气体配管82的气体配管80与第一气体配管81及第二气体配管82一并地由具有挠性的树脂性管构成。例如，相当于特氟隆(注册商标)制的管等。

[0054] 图7是等离子体发生装置10的气体流量与压力之间的变化所涉及的曲线图。横轴是气体流量(L/min)，纵轴是气体配管内的压力(kPa)。在无配管等的破损、偏离的正常的等离子体发生装置10中，将相对于未产生等离子体的状态下的气体流量的内部的压力表示为标准值。与气体流量增大相应地，第一气体配管81及第二气体配管82内等的内部的压力增大。因而，对应各气体流量，将与气体流量相应的压力设为判断装置状态时的内部压力的检测的标准值，检测自标准值起的压力的变化，从而把握装置内部的状态。

[0055] 图8是朝向外部的气体泄漏量与压力的关系所涉及的图。横轴是气体泄漏流(L/min)，纵轴是气体配管内的压力(kPa)。在无气体泄漏的情况下的配管内部的压力是80kPa的情况下，示出处理气体从第一气体配管81及第二气体配管82漏出时的配管内部的压力的变化。处于压力与气体的泄漏量增大相应地从标准值(在该情况下，80kPa)降低的关系，根据检测到由压力传感器92检测的配管内部的压力降低的情况，通过判断处理判断为气体泄漏。根据图7的坐标图对应各气体流量求得无气体泄漏的状态下的既定的压力(标准值)。针对对应各气体流量所规定的压力(标准值)，能够通过压力降低的程度来判断气体泄漏的程度。另外，除了气体泄漏以外，压力降低也考虑有等离子体头11内的异常放电、未产生等离子体的异常状态、处理气体的供给不足的状态等。在这些异常状态中，也能够与气体泄漏的情况同样地通过压力降低来判断为异常状态。

[0056] 图9示出在等离子体头11中产生等离子体时与从用于产生等离子体的放电开始起经过的时间相伴的内部压力的变化(等离子体模式压力变化)。横轴是从放电开始起的经过时间(min)，纵轴是气体配管内的压力(kPa)。是无气体泄漏的情况下的配管内部的压力是45kPa的情况下的坐标图。通过开始放电而开始产生等离子体。通过存在于处理气体中的干燥空气中的氧等的化学反应而促进等离子体的生成，产生与该化学反应相伴的热量。产生的热量对处理气体进行加温，其结果是，处理气体膨胀。因处理气体膨胀而产生气体的滞留，从而等离子体头11及配管内的压力上升。另一方面，产生的等离子体与处理气体一并地从连通孔36向外部喷出。在等离子体的生成稳定之后，等离子体头11内的压力上升平衡为一定的值。在图9中示出在等离子体生成稳定之后，内部压力上升，以大致80kPa的压力处于平衡。因而，在从开始放电起经过了预定时间之后，配管内部的压力比放电开始前上升预定压力(在该情况下，大致80kPa)，由此能够判断为正常地产生了等离子体。在配管内部的压力与放电无关地并未上升至预定值的情况下，能够判断为并未正常地生成等离子体、或者产生了配管的偏离、破裂等。

[0057] 接下来，说明经由能够从远程把握本实施方式的运转状况的因特网IN的信息阅览系统。采用该信息阅览系统，能够将表示在各工厂中设置有多个等离子体发生装置10的生产线150中的各自的等离子体发生装置10的状态、设定的信息、即异常信息、警报信息、维护信息、设备数据等各种信息向云服务器CS上传，在需要时下载到与因特网IN连接的管理者终端160、咨询台终端170而阅览上述各信息。

[0058] 基于图10，说明与等离子体发生装置10相关的信息阅览系统。首先，与设置于生产线150的各个等离子体发生装置10的状态、设定等相关的各种信息经由因特网IN被从各等离子体发生装置10的控制装置110朝向云服务器CS发送(D1)。该发送是对应各预定期间进行的，被发送至云服务器CS的各种信息被依次存储。在管理等离子体发生装置10、生产线150的管理者、或者等离子体发生装置10的供应商所运营的咨询台中，能够根据来自作业者等的查询等需求而从云服务器CS将需要期间的需要种类的各种信息下载到各自具有的终端、即管理者终端160或者咨询台终端170而进行阅览(D2、D3)。由此，即使在管理者或者咨询台位于与等离子体发生装置10、生产线150分离的场所而对于来自作业者的查询无法迅速赶往现场的情况下，也能够阅览需要期间的需要的各种信息，能够进行异常状态的把握，确认警报信息，一边参照维护信息、设备数据等，一边从远程通过电话联络等对作业者指示正确的处置。

[0059] 另外，在咨询台终端170中，只要具备能够针对等离子体发生装置10发送邮件发送等消息的功能，就能够向作业者所负责的现场的等离子体发生装置10发送消息(D4)。作为消息，例如，列举有“请检查气体配管。”、“请断开断路器。”等。作业者能够依据在触摸面板113上显示的消息来进行处置。

[0060] 在此，表示在咨询台终端170的显示画面172及管理者终端160的显示画面161中显示的各种信息的一例。

[0061] 当在等离子体发生装置10的触摸面板113上选择通过操作而显示的主菜单的项目时，显示有未图示的主菜单画面。在该主菜单画面中，配置有用于选择并显示与等离子体发生装置10相关的各种信息等的选择按钮。作为选择按钮，例如，列举有“设定”、“运转”、“报警”、“维护”、“历史”等，当选择各选择按钮时，显示有与选择按钮相对应的画面，显示有各种信息。作业者根据选择而在触摸面板113上阅览各种信息，从而能够确认等离子体发生装置10的状态、设定等的信息。

[0062] 如图11所示，在咨询台终端170的显示画面172上，能够一览显示与作业者在触摸面板113上阅览的各信息的显示画面相同的画面。能够在一个画面中把握各种信息。

[0063] 图11是在咨询台终端170的显示画面172中显示的情况的具体例。在咨询台终端170的显示画面172中以划分为5部分的方式一览显示各种信息。图中175是“报警画面”。按照时间顺序显示有与等离子体产生相关的异常、与气体相关的异常等由等离子体发生装置
10产生的报警的内容及其产生时间。在画面中，越往上显示的信息越新，越往下显示的信息越旧。能够通过操作向上滚动按钮182、向下滚动按钮184来进行滚动。此外，能够通过复位按钮186使显示复位。

[0064] 图中176是“运转时间”。作为项目而显示有“电极使用时间”、“加热器使用时间”、“运转时间”等，显示有这些的当前值。此外，通过触摸复位按钮，能够使显示复位。

[0065] 图中177是“版本信息”的画面。显示有装置的版本信息。图中178是“运转参数”。主要能够确认气体流量。在该画面中显示有流量控制计94的设定值、气体流量的当前值、单位等。具体地说，例如，能够确认通过“MAIN(GAS1)”的氮、“MAIN(GAS2)”的干燥空气、“SUB(GAS1)”的氮、“SUB(GAS2)”的干燥空气的流量控制计94而设定的设定值及当前的气体流量。此外，能够通过复位按钮使显示复位。

[0066] 图中179是“放电监视”。用于监视为了产生等离子体而所需的放电。具体地说，对应预定周期的脉冲测量有无放电，计数在预定时间(在该情况下，1分钟)无放电的脉冲数。即，将为了预先产生等离子体所需的放电脉冲数阈值设定为放电阈值，将放电脉冲数计数为测定值。在放电脉冲数未达到放电脉冲数阈值这样的情况下，实施通过报警来进行通知等措置。在该画面中，在放电阈值的项目中显示有放电脉冲数阈值，在测定值的项目中显示有放电脉冲数及单位等。此外，能够通过复位按钮使显示复位。

[0067] 图12是在管理者终端160的显示画面161中显示的情况下的具体例。根据显示画面161的尺寸等的制约，显示各信息中的选择出的一个信息。在图12中，示例了显示有报警画面175的情况，但是不言而喻地，也可以根据选择而显示图11中图示的“运转时间”、“版本信息”、“运转参数”、“放电监视”等。

[0068] 在此，等离子体发生装置10是大气压等离子体装置的一例。控制器130所具备的CPU134是判断部的一例。通过CPU134来执行判断处理的程序。具体地说，根据图8所示的相对于气体泄漏量的压力的降低而判断气体泄漏，根据图9所示的与从开始放电起经过的时间相伴的压力的上升而判断为生成等离子体。另外，也通过压力降低来判断异常放电、未产生等离子体的异常状态、处理气体的供给不足的状态。

[0069] 本申请并不局限于上述说明的实施方式，不言而喻地，能够进行不偏离本申请的主旨的范围内的各种改良、变更。

[0070] 例如，压力传感器92的设置并不局限于本实施方式的位置。只要是能够测量内部的压力的位置即可，也可以设置在等离子体头11的内部。

[0071] 另外，在咨询台终端170的显示画面172上确认了等离子体发生装置10的状态的情况下，也可以除了等离子体发生装置10的触摸面板113以外、或者取代触摸面板113而在管理者终端160的显示画面161上显示消息。

[0072] 图7～图9所示的坐标图及图11、图12中显示的各种信息的内容为示例，本申请的内容并不局限于该数值。另外，图11、图12中显示的各种信息并不局限于此。

[0073] 附图标记说明

[0074] 10 等离子体发生装置

[0075] 11 等离子体头

[0076] 80 气体配管

[0077] 81 第一气体配管

[0078] 82 第二气体配管

[0079] 92 压力传感器

[0080] 94 流量控制计

[0081] 110 控制装置

[0082] 111 第一处理气体供给装置

[0083] 112 第二处理气体供给装置

[0084] 113 触摸面板

[0085] 150 生产线

[0086] 160 管理者终端

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大气压等离子体装置

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