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深冷处理装置

阅读：178发布：2020-05-11

专利汇可以提供深冷处理装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明的目的在于提供一种深冷处理装置，该深冷处理装置能够均匀地冷却被冷却物，并且能够削减被冷却物的冷却中所使用的液态制冷剂。具有从设置于构成被冷却物载置室(43)的冷却槽(13)的贯通孔(14)延伸至被冷却物载置室排气口(56)配置在被冷却物载置室(43)中的、作为位于上半部分的空间且横向宽度与吸入口(48)的横向最大宽度一致的排气口配置空间(59)中。(43)的内部且具有排气口(56)的排气部件(31)，，下面是深冷处理装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种深冷处理装置，其特征在于，具有：
冷却槽，具有供被冷却物载置的被冷却物载置室和与所述被冷却物载置室连接的风扇收容室，并且由冷却槽主体和盖体构成，其中，所述冷却槽主体由底板和第一侧壁至第四侧壁构成；
整流部件，以划分所述被冷却物载置室和所述风扇收容室的方式被配置在所述冷却槽内，并且具有用于将所述被冷却物载置室的气氛气体导入到所述风扇收容室中的吸入口和用于将所述风扇收容室的气氛气体导入到所述被冷却物载置室中的吹出口；
搅拌风扇，以与所述吸入口相对的方式被收容在所述风扇收容室中，使供给到所述风扇收容室中的液态制冷剂为雾状或低温气体，并且搅拌所述冷却槽内的气氛气体；以及排气部件，从设置于所述冷却槽主体的贯通孔延伸至所述被冷却物载置室的内部，并且具有排气口，
所述第一侧壁至第四侧壁以包围所述底板的外周缘的方式配置，并与所述盖体接触而形成所述冷却槽的内部空间，
所述排气口被配置在所述内部空间中的、存在于所述被冷却物载置室的排气口配置空间中，在将所述底板的所述内部空间侧的表面与所述盖体的所述内部空间侧的表面正交的高度设为H的情况下，所述排气口配置空间为从所述盖体的内部空间侧的表面起的正交距离为H/2的部分的空间，所述排气口配置空间的宽度为与所述高度正交且与具有所述吸入口的所述整流部件平行的方向的宽度，所述排气口配置空间的宽度和与所述高度正交且与具有所述吸入口的所述整流部件平行的方向上的所述吸入口的宽度的最大值一致，所述排气口配置空间的所述宽度的中心与所述吸入口的所述宽度的中心一致。
2.根据权利要求1所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述排气口配置在位于所述被冷却物与所述整流部件之间的所述排气口配置空间中。
3.根据权利要求1所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述排气部件具有排气部件主体，
所述排气部件主体被配置为所述排气口朝向所述盖体侧。
4.根据权利要求2所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述排气部件具有排气部件主体，
所述排气部件主体被配置为所述排气口朝向所述盖体侧。
5.根据权利要求3所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述排气部件主体为圆筒状配管，
在利用与所述排气部件主体的延伸方向正交的面以通过所述排气口的方式剖切所述排气部件的状态下，所述排气口的通过连结所述排气口的两端与所述排气部件主体的中心而形成的中心角在90度以内。
6.根据权利要求4所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述排气部件主体为圆筒状配管，
在利用与所述排气部件主体的延伸方向正交的面以通过所述排气口的方式剖切所述排气部件的状态下，所述排气口的通过连结所述排气口的两端与所述排气部件主体的中心而形成的中心角在90度以内。
7.根据权利要求1所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述排气部件具有朝向所述底板侧的排水用孔。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述整流部件具有至少一个板状部件，所述板状部件具有均匀的厚度，
所述吸入口和所述吹出口贯通相同的所述板状部件。
9.根据权利要求1至7中的任一项所述的深冷处理装置，其特征在于，
所述整流部件具有与所述搅拌风扇面对的第一板状部件和与所述第一板状部件正交的第二板状部件及第三板状部件，所述吸入口贯通所述第一板状部件，所述吹出口贯通所述第二板状部件及第三板状部件。

说明书全文

深冷处理装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种通过将机械部件等钢铁材料冷却至0℃以下的低温度来实现硬度和韧性等性能的提高的深冷处理装置。

[0002] 本申请基于2013年3月22日在日本申请的特愿2013-060698号要求优先权，并在此援引其内容。

背景技术

[0003] 以往，为了实现机械部件等钢铁材料的高度和韧性等性能的提高，实施将机械部件等钢铁材料冷却至0℃以下的低温的深冷处理。

[0004] 作为深冷处理方法之一，已知有通过冷冻机或液态氮冷却用于收容被冷却物的冷却槽内的气氛气体，从而冷却被冷却物的低温气氛法。

[0005] 专利文献1中公开了实施上述深冷处理时所使用的深冷处理装置(参照图12)。

[0006] 图12是表示现有的深冷处理装置的大致结构的剖视图。

[0007] 参照图12，专利文献1中所记载的深冷处理装置100具有冷却槽102、制冷剂导入路径103、液态制冷剂导入阀104、温度调节计105、搅拌风扇108和整流板109。

[0008] 冷却槽102由绝热材料构成，在其内部具有处理空间。在冷却槽102的侧壁上设置有贯通所述侧壁的排气口102A。排气口102A在因液态氮(液态制冷剂)的蒸发而导致冷却槽102内的压力上升时，将冷却槽102内的氮气的一部分排出到冷却槽102的外部，以使该冷却槽102内的压力在规定压力的范围内。

[0009] 制冷剂导入路径103与未图示的液态氮供给源连接。制冷剂导入路径103在液态制冷剂导入阀104(被设置于制冷剂导入路径103的阀)打开时，向冷却槽102内供给液态氮。

[0010] 温度调节计105测定冷却槽102内的温度，并根据其结果，调节液态制冷剂导入阀104的开度。

[0011] 搅拌风扇108被收容在冷却槽102中。搅拌风扇108通过使液态氮为雾状而使其在冷却槽102内扩散，并且搅拌冷却槽102内的低温氮气(低温气体)。

[0012] 整流板109被收容在冷却槽102中，并且被配置在搅拌风扇108与被冷却物101之间。整流板109具有吸入口和吹出口。整流板109具有提高由搅拌风扇108引起的的搅拌作用的功能。

[0013] 专利文献1：专利第3946796号公报

[0014] 但是，如专利文献1中公开的深冷处理装置100那样，若经由贯通冷却槽102的侧壁的排气口102A，将低温氮气排出到冷却槽102的外部，则在冷却槽102内产生温度不稳定。

[0015] 如此，若在冷却槽102内产生温度不稳定，则招致被冷却物101的冷却的不均匀，从而被冷却物101的质量不稳定。

[0016] 另外，由于根据设置排气口102A的冷却槽102的侧壁的位置，会导致低温氮气在充分有助于处理空间的冷却之前从排气口102A排气，因此需要大量在冷却被冷却物101时所使用的液态制冷剂。

发明内容

[0017] 因此，本发明的目的在于提供一种深冷处理装置，该深冷处理装置能够均匀地冷却被冷却物，并且能够削减被冷却物的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0018] 为了解决上述问题，(1)提供一种深冷处理装置，其特征在于，具有：冷却槽，具有供被冷却物载置的被冷却物载置室和与所述被冷却物载置室连接的风扇收容室，并且由冷却槽主体和盖体构成，其中，所述冷却槽主体由底板和第一侧壁至第四侧壁构成；整流部件，以划分所述被冷却物载置室和所述风扇收容室的方式被配置在所述冷却槽内，并且具有用于将所述被冷却物载置室的气氛气体导入到所述风扇收容室中的吸入口和用于将所述风扇收容室的气氛气体导入到所述被冷却物载置室中的吹出口；搅拌风扇，以与所述吸入口相对的方式被收容在所述风扇收容室中，使供给到所述风扇收容室中的液态制冷剂为雾状或低温气体，并且搅拌所述冷却槽内的气氛气体；以及排气部件，从设置于所述冷却槽主体的贯通孔延伸至所述被冷却物载置室的内部，并且具有排气口，所述第一侧壁至第四侧壁以包围所述底板的外周缘的方式配置，并与所述盖板接触而形成所述冷却槽的内部空间，所述排气口被配置在所述内部空间中的、存在于所述被冷却物载置室的排气口配置空间中，在将所述底板的所述内部空间侧的表面与所述盖体的所述内部空间侧的表面正交的高度设为H的情况下，所述排气口配置空间为从所述盖体的内部空间侧的表面起的正交距离为H/2的部分的空间，所述排气口配置空间的宽度为与所述高度正交且与具有所述吸入口的所述整流部件平行的方向的宽度，所述排气口配置空间的宽度和与所述高度正交且与具有所述吸入口的所述整流部件平行的方向上的所述吸入口的宽度的最大值一致，所述排气口配置空间的所述宽度的中心与所述吸入口的所述宽度的中心一致。

[0019] 另外，(2)提供一种根据(1)所述的深冷处理装置，其特征在于，所述排气口配置在位于所述被冷却物与所述整流部件之间的所述排气口配置空间中。

[0020] 另外，(3)提供一种根据(1)或(2)所述的深冷处理装置，其特征在于，所述排气部件具有排气部件主体，所述排气部件主体被配置为所述排气口朝向所述盖体侧。

[0021] 另外，(4)提供一种根据(3)所述的深冷处理装置，其特征在于，所述排气部件主体为圆筒状配管，在利用与所述排气部件主体的延伸方向正交的面以通过所述排气口的方式剖切所述排气部件的状态下，所述排气口的通过连结所述排气口的两端与所述排气部件主体的中心而形成的中心角在90度以内。

[0022] 另外，(5)提供一种根据(1)所述的深冷处理装置，其特征在于，所述排气部件具有朝向所述底板侧的排水用孔。

[0023] 另外，(6)提供一种根据(1)至(5)中的任一项所述的深冷处理装置，其特征在于，所述整流部件具有至少一个板状部件，所述板状部件具有均匀的厚度，所述吸入口和所述吹出口贯通相同的所述板状部件。

[0024] 另外，(7)提供一种根据(1)至(5)中的任一项所述的深冷处理装置，其特征在于，所述整流部件具有与所述搅拌风扇面对的第一板状部件和与所述第一板状部件正交的第二板状部件及第三板状部件，所述吸入口贯通所述第一板状部件，所述吹出口贯通所述第二板状部件及第三板状部件。

[0025] 根据本发明的深冷处理装置，通过设置从设置于构成被冷却物载置室的冷却槽的贯通孔延伸至被冷却物载置室的内部且具有排气口的排气部件，并且在被冷却物载置室中的、作为位于上半部分的空间且横向宽度与吸入口的横向最大宽度一致的排气口配置空间配置排气口，从而即使在经由排气口，将低温气体(液态制冷剂经气化的物质)排出到冷却槽的外部的情况下，也能够抑制被冷却物载置室内的气氛气体的温度偏差。

[0026] 由此，能够均匀地冷却被冷却物(换言之，能够抑制被冷却物的质量偏差)。

[0027] 另外，由于能够抑制低温气体在充分有助于处理空间的冷却之前从排气口排出，因此能够削减被冷却物的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0028] 即，根据本发明的深冷处理装置，能够均匀地冷却被冷却物，并且能够削减被冷却物的冷却中所使用的液态制冷剂。附图说明

[0029] 图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的深冷处理装置的外观的侧视图。

[0030] 图2是用于说明收容在图1所示的冷却槽主体中的深冷处理装置的结构要素的图，是透过图1所示的盖体，沿A向观察图1所示的冷却槽的俯视图。

[0031] 图3是用于说明收容在图1所示的冷却槽主体中的深冷处理装置的结构要素的图，是透过图1所示的第一侧壁，沿B向观察图1所示的冷却槽内的图。

[0032] 图4是图2所示的排气部件和冷却槽主体的第三侧壁的C-C向的剖视图。

[0033] 图5是沿D向观察图4所示的贯通孔和位于贯通孔的周围的第三侧壁的图。

[0034] 图6是沿E向观察图4所示的排气部件的图。

[0035] 图7是图4所示的排气部件的G-G向的剖视图。

[0036] 图8是用于说明第一实施方式的变型例所涉及的深冷处理装置的图，是透过构成所述深冷处理装置的盖体，俯视观察所述深冷处理装置的图。

[0037] 图9是用于说明第二实施方式所涉及的深冷处理装置的图，是透过构成所述深冷处理装置的盖体，俯视观察所述深冷处理装置的图。

[0038] 图10是沿M向观察图9所示的整流部件的第二板状部件的图。

[0039] 图11是图9所示的排气部件、冷却槽主体的第三侧壁和整流部件的第二板状部件的N-N向的剖视图。

[0040] 图12是表示现有的深冷处理装置的大致结构的剖视图。

具体实施方式

[0041] 下面，参照附图，对应用了本发明的实施方式进行详细说明。此外，在下面的说明中所使用的附图用于说明本发明的实施方式的结构，有时图示的各部的大小、厚度和尺寸等与实际的深冷处理装置的尺寸关系不同。

[0042] (第一实施方式)

[0043] 图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的深冷处理装置的外观的侧视图。图2是用于说明收容在图1所示的冷却槽主体中的深冷处理装置的结构要素的图，是透过图1所示的盖体，沿A向观察图1所示的冷却槽的俯视图。

[0044] 因此，在图2中，省略作为第一实施方式的深冷处理装置10的结构要素的盖体36的图示。

[0045] 图3是用于说明收容在图1所示的冷却槽主体中的深冷处理装置的结构要素的图，是透过图1所示的第一侧壁，沿B向观察图1所示的冷却槽的图。因此，在图3中，省略作为第一实施方式的深冷处理装置10的结构要素的第一侧壁39-1的图示。

[0046] 另外，在图1至图3中，对相同的结构部分标注相同的附图标记。

[0047] 参照图1至图3，第一实施方式的深冷处理装置10具有冷却槽13、贯通孔14、温度传感器16、温度调节计18、制冷剂供给管道21、制冷剂供给部23、液态制冷剂导入阀24、整流部件25、搅拌风扇27、旋转轴28、旋转驱动装置29和排气部件31。

[0048] 冷却槽13具有冷却槽主体35和盖体36。冷却槽主体35具有底板38和第一至第四侧壁39-1～39-4。

[0049] 第一至第四侧壁39-1～39-4被配置为包围呈矩形的底板38的外周缘。第一至第四侧壁39-1～39-4的下端与底板38成为一体。

[0050] 第一及第二侧壁39-1、39-2被相对配置。第三及第四侧壁39-3、39-4被相对配置。

[0051] 第一及第二侧壁39-1、39-2与分别相邻的第三及第四侧壁39-3、39-4成为一体。

[0052] 盖体36与第一至第四侧壁39-1～39-4的上端面接触。由此，在冷却槽13内形成有呈长方体或正方体的内部空间(包括被冷却物载置室43和风扇收容室45的空间)。

[0053] 冷却槽13具有被冷却物载置室43和风扇收容室45。被冷却物载置室43和风扇收容室45通过整流部件25而划分。在被冷却物载置室43中载置有被冷却物11。

[0054] 贯通孔14被设置为贯通第三侧壁39-3。贯通孔14被配置在第三侧壁39-3中的、作为位于被冷却物载置室43的高度H的上半部分的空间且位于被冷却物11与整流部件25之间的部分。贯通孔14的形状例如可以是圆柱(参照图4和图5)，但不限定于此。例如，作为贯通孔14的形状，还可以使用方柱。

[0055] 此外，所谓高度H是指与底板的内部空间侧的表面(上表面)和盖体的内部空间侧的表面(下表面)正交的距离，位于被冷却物载置室43的高度H的上半部分的空间是指冷却槽的内部空间中的、以正交距离从盖体的下表面到H/2之间的空间。

[0056] 温度传感器16的前端部16A被配置在风扇收容室45内。温度传感器16与温度调节计18电连接。温度传感器16将与风扇收容室45的温度相关的数据发送到温度调节计18中。

[0057] 作为温度传感器16，例如可使用热电偶。在这种情况下，前端部16A为温接点的接合点。

[0058] 温度调节计18被设置在冷却槽13的外部。温度调节计18与温度传感器16和液态制冷剂导入阀24电连接。在温度调节计18中预先存储有与风扇收容室45的规定温度范围(例如，－80～－70℃)相关的数据。

[0059] 温度调节计18基于与风扇收容室45的规定温度范围(例如，－80～－70℃)相关的数据和从温度传感器16发送的数据(具体而言，与风扇收容室45的实际测定的温度相关的数据)，调节液态制冷剂导入阀24的开度(也包括开闭)，以使风扇收容室45的温度为规定温度范围。

[0060] 制冷剂供给管道21的一端与配置在冷却槽13的外部的液态制冷剂供给源(未图示)连接，另一端与配置在风扇收容室45中的制冷剂供给部23连接。作为液态制冷剂供给源(未图示)，例如可使用供给液态氮来作为液态制冷剂的供给源。

[0061] 制冷剂供给部23被配置在风扇收容室45中。制冷剂供给部23用于将通过制冷剂供给管道21输送来的液态制冷剂供给到搅拌风扇27的侧面。

[0062] 液态制冷剂导入阀24为电磁阀，被设置在制冷剂供给管道21上。液态制冷剂导入阀24与温度调节计18电连接。

[0063] 液态制冷剂导入阀24为用于调节向制冷剂供给部23供给液态制冷剂与否以及调节向制冷剂供给部23供给的液态制冷剂的供给量的阀。

[0064] 液态制冷剂导入阀24在因风扇收容室45内的温度上升而风扇收容室45内的温度脱离规定温度范围(例如，－80～－70℃)时，向风扇收容室45内供给液态制冷剂。

[0065] 整流部件25以划分被冷却物载置室43和风扇收容室45的方式被配置在冷却槽13内。

[0066] 整流部件25具有板状部件47、吸入口48和第一及第二吹出口49-1、49-2。板状部件47为厚度均匀的部件。

[0067] 板状部件47的上端部与盖体36的下表面36a(内部空间侧的表面)接触，板状部件47的下端面与底板38的上表面38a(内部空间侧的表面)接触。

[0068] 另外，板状部件47的横向的一个端面与第三侧壁39-3的内表面接触，板状部件47的横向的另一个端面与第四侧壁39-4的内表面接触。

[0069] 吸入口48被设置为贯通板状部件47中的、与收容在风扇收容室45中的搅拌风扇27相对的部分(具体而言，板状部件47的中央部)。

[0070] 即，吸入口48和第一及第二吹出口49-1、49-2被设置在厚度均匀的同一板状部件47上。

[0071] 特别优选地，吸入口48和第一及第二吹出口49-1、49-2在板状部件47的内部开口面积不会减小，而沿厚度方向以一定的面积开口。

[0072] 吸入口48为用于将被冷却物载置室43的气氛气体导入到风扇收容室45中的贯通部。

[0073] 吸入口48的形状例如可设定为与搅拌风扇27的外形27A相同的形状。吸入口48的大小被设定为与搅拌风扇27的外形27A大致相等的大小。

[0074] 在本发明中，所谓吸入口48的大小与搅拌风扇27的外形27A大致相等是指吸入口48的直径在搅拌风扇27的直径的0.9～1.1倍的范围内。

[0075] 第一吹出口49-1贯通位于吸入口48与第三侧壁39-3之间的板状部件47。作为第一吹出口49-1，例如可以是在从底板38朝向盖体36的方向上延伸的贯通槽(狭缝)。

[0076] 第二吹出口49-2贯通位于吸入口48与第四侧壁39-4之间的板状部件47。第二吹出口49-2为与第一吹出口49-1相同的形状。在将侧壁39-3设定在右侧，并将侧壁39-4设定在左侧的情况下，整流部件25为左右对称的形状。

[0077] 第一及第二吹出口49-1、49-2用于将风扇收容室45的气氛气体导入到被冷却物载置室43中。

[0078] 此外，在图3中，作为第一及第二吹出口49-1、49-2的一例，图示了在板状部件47的上下方向上延伸的贯通槽，但第一及第二吹出口49-1、49-2的形状和数量并不限定于此。另外，第一及第二吹出口49-1、49-2的形状也可以不同。

[0079] 例如，作为第一及第二吹出口49-1、49-2，也可以在板状部件47上设置一列或多列呈圆形或方形的贯通部，并且还可以使所述贯通部的大小不同。

[0080] 另外，例如，还可以在板状部件47的横向或纵向上配置呈长方形或椭圆形的贯通槽，也可以使所述贯通槽的大小不同。

[0081] 搅拌风扇27以与吸入口48相对的方式被配置在风扇收容室45中。搅拌风扇27与贯通第二侧壁39-2的旋转轴的一端连接。由此，搅拌风扇27以可旋转的状态被配置在风扇收容室45中。作为搅拌风扇27，例如可使用多叶片风扇。

[0082] 搅拌风扇27使从搅拌风扇27的侧方供给来的液态制冷剂为雾状或低温气体，并且搅拌冷却槽13内的气氛气体。

[0083] 由此，经由吸入口48吸入的被冷却物载置室43的气氛气体向搅拌风扇27的后侧方扩散，并且风扇收容室45的气氛气体经由第一及第二吹出口49-1、49-2被导入到被冷却物载置室43中。

[0084] 旋转轴28贯通第二侧壁39-2。旋转轴28的一端与搅拌风扇27连接，设置在冷却槽13的外部的另一端与旋转驱动装置29连接。

[0085] 旋转驱动装置29被设置在冷却槽13的外部。旋转驱动装置29经由旋转轴28，使搅拌风扇27旋转。作为旋转驱动装置29，例如可使用电动机。

[0086] 图4是图2所示的排气部件和冷却槽主体的第三侧壁的C-C向的剖视图。图5是沿D向观察图4所示的贯通孔和位于贯通孔的周围的第三侧壁的图。图6是沿E向观察图4所示的排气部件的图。此外，在图5中，省略图4所示的排气部件的图示。

[0087] 参照图2至图4和图6，排气部件31具有排气部件主体55、排气口56和排水用孔57。

[0088] 排气部件主体55为呈筒状的部件，且一端为开放端。排气部件主体55的开放端侧的端部被插入到设置于第三侧壁39-3的贯通孔14中。排气部件主体55的外径与贯通孔14的内径相等。

[0089] 排气部件主体55在排气部件主体55被安装于贯通孔14的状态下，从贯通孔14延伸至被冷却物载置室43的内部，从而另一端部被配置在排气口配置空间59内。

[0090] 排气口配置空间59为被冷却物载置室43中的、位于上半部分的空间，并且为横向宽度与吸入口48的横向最大宽度(在图3的情况下为吸入口48的直径)一致的空间。

[0091] 此外，所谓位于上述上半部分的空间是指将盖体36的下表面36a与底板38的上表面38a正交的距离设为被冷却物载置室43的高度H时的、冷却槽的内部空间中的、以正交距离从盖体36的下表面36a到H/2的空间。所谓排气口配置空间59的横向和吸入口48的横向是指与所述高度正交且与所述整流部件25平行的方向。

[0092] 另外，所谓排气口配置空间59的横向宽度与吸入口48的横向最大宽度(在图3的情况下为吸入口48的直径)一致的空间是指冷却槽的内部空间中的、所述排气口配置空间的所述宽度的中心与所述吸入口的最大宽度的中心一致且横向宽度一致的空间。

[0093] 与排气部件主体55的延伸方向正交的面的外形并不特别限定，例如可以是圆形或方形等。在图6中，作为排气部件主体55的一例，图示呈圆筒状(排气部件主体55的外形为圆形)的配管。

[0094] 此外，在图4中，作为一例，举例说明了使排气部件主体55插入到贯通孔14中的情况，但也可以使排气部件主体55的内径与贯通孔14的内径相同，并将排气部件主体55固定在冷却槽13上，而不将排气部件主体55的一部分插入贯通孔14中。

[0095] 排气口56具有如下功能：在向风扇收容室45内供给液态制冷剂以使冷却槽13内的压力上升时，经由排气部件主体55，将低温气体(液态制冷剂经气化的物质)的一部分排出到冷却槽13的外部，由此进行调整以使冷却槽13内的压力在规定的压力范围内。

[0096] 排气口56被设置在排气部件主体55的、与贯通孔14连接的端的另一端。由此，排气口56被配置在从冷却槽13的第一至第四侧壁39-1～39-4分离的被冷却物载置室45的内部。

[0097] 如此，通过在被冷却物载置室43中的、作为位于上半部分的空间且横向宽度与吸入口48的横向最大宽度(在图3的情况下为吸入口48的直径)一致的排气口配置空间59配置排气口56，从而在被冷却物载置室43内的从侧壁39-1朝向侧壁39-2的方向的中心线上形成低温气体流路，并通过在该流路上配置排气口56而使偏流消失，因此能够均匀地冷却被冷却物(换言之，能够抑制被冷却物11的质量偏差)。

[0098] 另外，由于能够抑制位于第一侧壁39-1、第三侧壁39-3和第四侧壁39-4的附近且并不充分有助于被冷却物载置室43的冷却的低温气体从排气口5排气，因此能够削减被冷却物11的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0099] 即，能够均匀地冷却被冷却物11，并且能够削减被冷却物11的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0100] 此外，关于排气口56，优选地，排气口56的整体被配置在排气口配置空间59内，但即使在排气口56的一部分被配置在排气口配置空间59内的情况下也能够得到相同的效果。

[0101] 另外，由于在使排气口56配置在被冷却物载置室43中的、位于下半部分的空间(是指冷却槽的内部空间中的、以正交距离从底板38的上表面38a到H/2的空间)的情况下，回收可充分有助于被冷却物载置室43的冷却的低温气体，因此如上述说明那样，排气口56有必要配置在被冷却物载置室43中的、位于上半部分的空间。

[0102] 排气部件主体55在与贯通孔14连接的端的另一端侧具有朝向盖体侧开口的排气口56。通过将排气口56朝向盖体侧设置，从而沉淀在冷却槽13下方的温度更低的低温气体以绕进排气部件主体55的方式到达排气口56，因此能够毫不浪费地利用冷热。例如，在排气部件主体55的排气口56向冷却槽的侧壁39-1开口的情况下，从水平方向送风来的低温气体在冷却槽13内循环之前易于从排气口56吸入，因此冷热产生浪费。

[0103] 如图7所示，在利用排气部件主体55的延伸方向正交的面以通过排气口56的方式剖切排气部件31的状态下，排气口56构成为通过连结排气口56的两端56A、56B与排气部件主体55的中心而形成的中心角θ在90度以内即可。由于能够使从排气口56吸入的低温气体量变为适当，因此能够进一步无浪费地利用低温气体的冷热。

[0104] 参照图2和图4，排水用孔57位于与排气口56相反的一侧，即位于冷却槽13的底板侧38，并且被设置为贯通排气部件主体55。

[0105] 然而，当冷却槽13内的温度为规定温度范围内的温度，停止液态制冷剂的供给时，冷却槽13的外部的大气经由排气部件主体55(换言之，排气部件31)侵入，从而大气中包含的水分在排气部件主体55内结露、冻结，以使排气部件主体55内闭塞。

[0106] 因此，通过在位于排气口56下方的排气部件主体55中设置排水用孔57，从而能够抑制水分在排气部件主体55内滞留，因此能够抑制排气部件主体55(换言之，排气部件31)内的闭塞。

[0107] 根据第一实施方式的深冷处理装置，设置从设置于构成被冷却物载置室43的第三侧壁39-3的贯通孔14延伸至被冷却物载置室43的内部且具有排气口56的排气部件31，并且在作为位于被冷却物载置室43的上半部分的空间且横向宽度与吸入口48的横向最大宽度(在图3所示的吸入口48的情况下为直径)一致的排气口配置空间59配置排气口56，从而即使在从排气口56排出低温气体(无助于被冷却物载置室43的冷却的低温气体)的情况下，也能够抑制被冷却物载置室43内的气氛气体的温度偏差。

[0108] 由此，能够均匀地冷却被冷却物11(换言之，能够抑制被冷却物11的质量偏差)。

[0109] 另外，由于能够抑制低温气体在充分有助于被冷却物载置室43的冷却之前从排气口56排出，因此能够削减被冷却物11的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0110] 即，根据第一实施方式的深冷处理装置10，能够均匀地冷却被冷却物11，并且能够削减被冷却物11的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0111] 此外，在第一实施方式中，举例说明了在第三侧壁39-3上设置贯通孔14的情况，但若能够使排气口56配置在位于被冷却物11与整流部件25之间的排气口配置空间中，则贯通孔14也可以设置在构成被冷却物载置室43的冷却槽13的任一位置。

[0112] 具体而言，还可以代替第三侧壁39-3，在第一侧壁39-1、第四侧壁39-4和盖体36的任一个上设置贯通孔14。

[0113] 图8是用于说明第一实施方式的变型例所涉及的深冷处理装置的图，是透过构成所述深冷处理装置的盖体，俯视观察所述深冷处理装置的图。

[0114] 在图8中，对与图2所示的第一实施方式的深冷处理装置10相同的结构部分标注相同的附图标记。另外，在图8中，为了方便说明，省略构成第一实施方式的变型例所涉及的深冷处理装置的盖体(图1所示的盖体36)的图示。

[0115] 参照图8，第一实施方式的变型例所涉及的深冷处理装置65被构成为除使贯通孔14和排气部件31的配设位置不同之外，与第一实施方式的深冷处理装置10相同。

[0116] 在第一实施方式的变型例所涉及的深冷处理装置65中，在位于第一侧壁39-1附近的第三侧壁39-3上设置有贯通孔14，以在位于被冷却物11与第一侧壁39-1之间的排气口配置空间59配置排气口56。

[0117] 呈这种结构的第一实施方式的变型例所涉及的深冷处理装置65能够得到与第一实施方式的深冷处理装置10相同的效果。

[0118] (第二实施方式)

[0119] 图9是用于说明第二实施方式所涉及的深冷处理装置的图，是透过构成所述深冷处理装置的盖体，俯视观察所述深冷处理装置的图。

[0120] 在图9中，对与图2所示的第一实施方式的深冷处理装置10相同的结构部分标注相同的附图标记。另外，在图9中，为了方便说明，省略构成第二实施方式所涉及的深冷处理装置70的盖体(图1所示的盖体36)的图示。

[0121] 参照图9，第二实施方式的深冷处理装置70被构成为除代替构成第一实施方式的深冷处理装置10的整流部件25和被整流部件25划分的被冷却物载置室43及风扇收容室45，具有整流部件71和被整流部件71区分的被冷却物载置室81及风扇收容室82之外，与深冷处理装置10相同。

[0122] 整流部件71在俯视的状态下呈コ字形。整流部件71的下端面与底板38的上表面38a接触，上端面与未图示的盖体的下表面接触。

[0123] 由此，整流部件71在冷却槽13内划分被配置在整流部件71的内侧且呈长方体的被冷却物载置室81和被配置在整流部件71的外侧且俯视时呈コ字形的风扇收容室82。

[0124] 整流部件71具有第一板状部件72-1、第二板状部件72-2和第三板状部件72-3。

[0125] 第一板状部件72-1被配置在搅拌风扇27与排气部件31之间。

[0126] 第一板状部件72-1被配置为与第一侧壁39-1平行。第一板状部件72-1具有与搅拌风扇27相对的吸入口48。

[0127] 图10是沿M向观察图9所示的整流部件的第二板状部件的图。

[0128] 参照图9和图10，第二板状部件72-2以与第三侧壁39-3平行的方式被配置在冷却槽13内，并且被配置在第三侧壁39-3的附近。第二板状部件72-2的横向的一端与第一板状部件72-1成为一体，横向的另一端与第一侧壁39-1的内表面接触。

[0129] 第二板状部件72-2具有第一吹出口74-1和排气部件插入孔76。第一吹出口74-1被设置为贯通第二板状部件72-2的下部。第一吹出口74-1具有将风扇收容室82的气氛气体导入被冷却物载置室81的功能。

[0130] 图11是图9所示的排气部件、冷却槽主体的第三侧壁和整流部件的第二板状部件的N-N向的剖视图。在图11中，对与图9和图10相同的结构部分标注相同的附图标记。

[0131] 参照图9至图11，排气部件插入孔76被设置为贯通第二板状部件72-2中的、与贯通孔14相对的部分。在排气部件插入孔76中插入有排气部件31。

[0132] 参照图9，第三板状部件72-3以与第四侧壁39-4平行的方式被配置在冷却槽13内，并且被配置在第四侧壁39-4的附近。第三板状部件72-3的横向的一端与第一板状部件72-1成为一体，横向的另一端与第一侧壁39-1的内表面接触。

[0133] 第三板状部件72-3具有第二吹出口74-2。第二吹出口74-2被设置为贯通第三板状部件72-3的下部中的、与第一吹出口74-1相对的部分。

[0134] 第二吹出口74-2为与第一吹出口74-1相同的形状。

[0135] 第二吹出口74-2具有与第一吹出口74-1相同的功能。

[0136] 此外，在图9和图10中，作为第一及第二吹出口74-1、74-2的一例，图示了在板状部件72-2和72-3的横向上延伸的贯通槽，但第一及第二吹出口74-1、74-2的形状和数量并不限定于此。另外，第一及第二吹出口74-1、74-2的形状也可以不同。

[0137] 例如，作为第一及第二吹出口74-1、74-2，也可以在板状部件72-2和72-3上设置一列或多列呈圆形或方形的贯通部，还可以使贯通部的大小不同。

[0138] 另外，例如，也可以在板状部件72-2和72-3的横向或纵向上配置呈长方形或椭圆形的贯通槽，还可以使贯通槽的大小不同。

[0139] 呈这种结构的第二实施方式所涉及的深冷处理装置70能够得到与第一实施方式的深冷处理装置10相同的效果。

[0140] 以上，对本发明的优选实施方式进行了详细说明，但本发明并不限定于上述特定的实施方式，在权利要求书中所记载的本发明的主旨范围内可进行各种变型和变更。

[0141] 本发明可适用于深冷处理装置，该深冷处理装置能够均匀地冷却被冷却物，并且能够削减被冷却物的冷却中所使用的液态制冷剂。

[0142] 附图标记说明

[0143] 10、65、70 深冷处理装置

[0144] 13 冷却槽

[0145] 14 贯通孔

[0146] 16 温度传感器

[0147] 16A 前端部

[0148] 18 温度调节计

[0149] 21 制冷剂供给管道

[0150] 23 制冷剂供给部

[0151] 24 液态制冷剂导入阀

[0152] 25、71 整流部件

[0153] 27 搅拌风扇

[0154] 28 旋转轴

[0155] 29 旋转驱动装置

[0156] 31 排气部件

[0157] 35 冷却槽主体

[0158] 36 盖体

[0159] 38 底板

[0160] 38a 上表面

[0161] 39-1 第一侧壁

[0162] 39-2 第二侧壁

[0163] 39-3 第三侧壁

[0164] 39-4 第四侧壁

[0165] 43、81 被冷却物载置室

[0166] 45、82 风扇收容室

[0167] 47 板状部件

[0168] 48 吸入口

[0169] 49-1、74-1 第一吹出口

[0170] 49-2、74-2 第二吹出口

[0171] 55 排气部件主体

[0172] 55A 中心

[0173] 56 排气口

[0174] 56A、56B 端

[0175] 57 排水用孔

[0176] 59 排气口配置空间

[0177] 72-1 第一板状部件

[0178] 72-2 第二板状部件

[0179] 72-3 第三板状部件

[0180] 76 排气部件插入孔

[0181] H 高度

[0182] θ 中心角

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