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闸流管充气系统

阅读：193发布：2020-05-11

专利汇可以提供闸流管充气系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种闸流管充气系统，包括置于密封腔内的闸流管，所述闸流管通过管道连通一储氢罐，且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器，在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计；所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计。该闸流管充气系统，可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。，下面是闸流管充气系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种闸流管充气系统，包括置于密封腔（1）内的闸流管（2），其特征在于：所述闸流管通过管道连通一储氢罐（5），且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀（3）和充氢微调阀（4）；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器（9），在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀（6）、第一隔离阀（7）和第一储氢阀（8）；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀（10）和清空阀（11）；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计（12）；所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计（13）。
2.根据权利要求1所述的闸流管充气系统，其特征在于：所述储氢罐还通过管道连通到第二金属氢化物储氢器（16）。
3.根据权利要求2所述的闸流管充气系统，其特征在于：在所述进氢阀和第一隔离阀之间设一管道支路连通到所述第二金属氢化物储氢器，且在该进氢阀到第二金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有第二隔离阀（14）和第二储氢阀（15）。
4.根据权利要求3所述的闸流管充气系统，其特征在于：在所述第二隔离阀和第二储氢阀之间的管道上设有第二微调阀（17）。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统，其特征在于：在所述第一隔离阀和第一储氢阀之间的管道上设有第一微调阀（18）。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统，其特征在于：在工位阀和储氢罐之间的管道上还设有一充氢阀（19）；在所述工位阀和充氢阀之间的管道上设一管道支路连通到所述密封腔内，且该管道支路上依次设有抽氢阀（20）和钟罩电磁阀（21），另在该抽氢阀和钟罩电磁阀之间的管道上设有第一机械泵（22）。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统，其特征在于：在所述工位阀和充氢微调阀之间的管道上还设有一管道支路，该管道支路上依次设有总阀（23）、分子泵（24）和第二机械泵（25）。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统，其特征在于：在所述密封腔内还设有两支路管道，该两支路管道上分别设有充气电磁阀（26）和放气电磁阀（27）。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的闸流管充气系统，其特征在于：所述密封腔为金属烘箱形成。

说明书全文

闸流管充气系统

技术领域

[0001] 本发明涉及一种闸流管充气系统。

背景技术

[0002] 随着闸流管生产量的增长及闸流管生产效率的提高，传统的钯合金膜扩散法纯化氢气的方法越来越具有一定的局限性，特别是在工艺需求大量氢气时，目前钯合金膜扩散法的纯化速度无法满足。为了提高钯合金膜扩散法纯化氢气的速度和效率，可以减小钯合金管的厚度、提高钯合管的工作温度、升高钯合金管两端的压差，但是这样就容易造成钯合金管漏气寿命严重缩短。同时钯是一种贵金属，价格昂贵，造成成本较高。

发明内容

[0003] 为了克服上述缺陷，本发明提供了一种闸流管充气系统，可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。

[0004] 本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种闸流管充气系统，包括置于密封腔内的闸流管，所述闸流管通过管道连通一储氢罐，且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器，在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计；所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计。

[0005] 作为本发明的进一步改进，所述储氢罐还通过管道连通到第二金属氢化物储氢器。

[0006] 作为本发明的进一步改进，在所述进氢阀和第一隔离阀之间设一管道支路连通到所述第二金属氢化物储氢器，且在该进氢阀到第二金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有第二隔离阀和第二储氢阀。

[0007] 作为本发明的进一步改进，在所述第二隔离阀和第二储氢阀之间的管道上设有第二微调阀。

[0008] 作为本发明的进一步改进，在所述第一隔离阀和第一储氢阀之间的管道上设有第一微调阀。

[0009] 作为本发明的进一步改进，在工位阀和储氢罐之间的管道上还设有一充氢阀；在所述工位阀和充氢阀之间的管道上设一管道支路连通到所述密封腔内，且该管道支路上依次设有抽氢阀和钟罩电磁阀，另在该抽氢阀和钟罩电磁阀之间的管道上设有第一机械泵。

[0010] 作为本发明的进一步改进，在所述工位阀和充氢微调阀之间的管道上还设有一管道支路，该管道支路上依次设有总阀、分子泵和第二机械泵。

[0011] 作为本发明的进一步改进，在所述密封腔内还设有两支路管道，该两支路管道上分别设有充气电磁阀和放气电磁阀。

[0012] 作为本发明的进一步改进，所述密封腔为金属烘箱形成。

[0013] 本发明的有益效果是：闸流管加灯丝电压后气体压力能够得到监控，可实现对闸流管进行氢气和氘气等气体的转换充气，而且气体纯度高，储气量大，使用寿命长，经济实惠。同时，对闸流管的性能起到了重要作用。附图说明

[0014] 图1为本发明实施例所述闸流管充气系统结构示意图。

[0015] 结合附图，作以下说明：

[0016] 1——密封腔 2——闸流管

[0017] 3——工位阀 4——充氢微调阀

[0018] 5——储氢罐 6——进氢阀

[0019] 7——第一隔离阀 8——第一储氢阀

[0020] 9——第一金属氢化物储氢器 10——连接阀

[0021] 11——清空阀 12——第一薄膜真空计

[0022] 13——第二薄膜真空计 14——第二隔离阀

[0023] 15——第二储氢阀 17——第二微调阀

[0024] 16——第二金属氢化物储氢器 18——第一微调阀

[0025] 19——充氢阀 20——抽氢阀

[0026] 21——钟罩电磁阀 22——第一机械泵

[0027] 23——总阀 24——分子泵

[0028] 25——第二机械泵 26——充气电磁阀

[0029] 27——放气电磁阀

具体实施方式

[0030] 结合附图，对本发明作详细说明，但本发明的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本发明申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖范围之内。

[0031] 如图1所示，一种闸流管充气系统，包括置于金属烘箱形成的密封腔1内的闸流管2(此处闸流管可根据密封腔而设置一只或多只，且每只闸流管需要设置一只工位阀进行控制)，该闸流管通过管道连通一储氢罐5，且在该闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀3和充氢微调阀4；储氢罐5又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器9，在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀6、第一隔离阀7和第一储氢阀
8；在进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀10和清空阀11；储氢罐5上设有第一薄膜真空计12；闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计13。

[0032] 其中，储氢罐5还通过管道连通到第二金属氢化物储氢器16（此处可以根据需要设置多路连接到多个金属氢化物储氢器）。本例为在进氢阀6和第一隔离阀7之间设一管道支路连通到第二金属氢化物储氢器16，且在该进氢阀到第二金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有第二隔离阀14和第二储氢阀15。

[0033] 另在第二隔离阀14和第二储氢阀15之间的管道上设有第二微调阀17，在第一隔离阀7和第一储氢阀8之间的管道上设有第一微调阀18。

[0034] 上述系统在工位阀和储氢罐之间的管道上还设有一充氢阀（19）；在工位阀和充氢阀之间的管道上设一管道支路连通到所述密封腔内，且该管道支路上依次设有抽氢阀20和钟罩电磁阀21，另在该抽氢阀和钟罩电磁阀之间设有第一机械泵22。

[0035] 在上述工位阀和充氢微调阀之间的管道上还设有一管道支路，该管道支路上依次设有总阀23、分子泵24和第二机械泵25。

[0036] 在上述密封腔内还设有两支路管道，该两支路管道上分别设有充气电磁阀26和放气电磁阀27。

[0037] 该系统工作过程如下：纯化气体前对金属氢化物储氢器、储氢罐及管道进行抽真空。将连接阀的一端与氢气钢瓶连接（纯化氘气时与氘气钢瓶连接）,打开氢气钢瓶减压阀,并使其维持一定压力，依次打开连接阀10、清空阀11，清空2～3秒钟,然后关闭清空阀11，打开图1左面第一隔离阀7、第一微调阀18、第一储氢阀8（纯化氘气打开图1右面第二隔离阀14、第二微调阀17、第二储氢阀15），开始纯化氢气，纯化的进行时第一金属氢化物储氢器9罐体有发热现象,随着反应不断的进行,当罐体表面温度趋于室温时,表明纯化已结束，关第一储氢阀8、连接阀10、氢气钢瓶减压阀,开进氢阀6向储氢罐充气，开第一机械泵22、抽氢阀20、充氢阀19，对储氢罐5及管道抽真空,当低真空度达到要求后关抽氢阀20、第一机械泵22，开第二机械泵25、总阀23、分子泵24，当高真空度达到要求后关充氢阀19、总阀23、分子泵24、第二机械泵25,开第一储氢阀8向储氢罐充氢，当储氢罐5第一薄膜真空计12指示满足工艺要求后，然后关进氢阀6、第一隔离阀7、第一微调阀18、第一储氢阀8。向工件（闸流管）充气时，闸流管加上工艺要求灯丝电压，打开充氢微调阀4向管内充气，当第二薄膜真空计13压力指示满足工艺要求并且稳定后关闭充氢微调阀4。

[0038] 其中分子泵和第二机械泵可对闸流管进行抽真空，第一机械泵可对密封腔抽真空，充气电磁阀和放气电磁阀可实现对密封腔内充气和放气，利于开启密封腔。

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