浮动电位阳极辉光发射装置
阅读：864发布：2020-05-12
专利汇可以提供浮动电位阳极辉光发射装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型属于一种 浮动电位 阳极 辉光发射装置，其特征在于阳极（2）与悬浮外筒（3）之间设有间隙（6），阳极（2）为圆筒形，阳极（2）的左侧中心处设有接头（12），接头（12）中心设有氩气充气孔（10），并装有 垫圈 （8），用 螺母 （9）与接头（12） 螺纹 连接；接头（12）上装有绝缘套（11）；悬浮外筒（3）的左侧装有悬浮盖板（1）；悬浮外筒（3）的外面装有绝缘筒（5）；阳极（2）内设有放电的辉光腔（7）。该实用新型通过阳极内的 辉光放电 ，电离氩气形成阳极辉光。阳极形成 电子 通道，使电子束流清洗 工件 ，同时电离的气体离子奔向工件（ 阴极 ）对工件进行离子清洗，传递 动能 辅助成膜，提高膜层 质量 。，下面是浮动电位阳极辉光发射装置专利的具体信息内容。
浮动电位阳极辉光发射装置
技术领域
背景技术
[0003] 本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种简易等离子体源使氩气体在电子轰击下产生阳极辉光，利用其清洗工件，并通入反应气体，离化后参与反应镀膜；阳极电位避免自身溅射的污染，增加电子通道，使镀膜制程中阴极源工作更稳定的浮动电位阳极辉光发射装置。
[0004] 本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极与悬浮外筒之间设有间隙，阳极为圆筒形，阳极的左侧中心处设有接头，接头中心设有氩气充气孔，并装有垫圈，用螺母与接头螺纹连接；接头上装有绝缘套；悬浮外筒的左侧装有悬浮盖板；悬浮外筒的外面装有绝缘筒；阳极内设有放电的辉光腔。
[0005] 本实用新型的有益效果是：该实用新型通过阳极内的辉光放电，电离氩气形成阳极辉光。阳极形成电子通道，使电子束流清洗工件，同时电离的气体离子奔向工件（阴极）对工件进行离子清洗，传递动能辅助成膜，提高膜层质量。附图说明
[0006] 以下结合附图以实施例具体说明。
[0007] 图1是浮动电位阳极辉光发射装置。
具体实施方式
[0009] 实施例，参照附图，一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极2与悬浮外筒3之间设有间隙6，阳极2为圆筒形，阳极2的左侧中心处设有接头12，接头12中心设有氩气充气孔10，并装有垫圈8，用螺母9与接头12螺纹连接；接头12上装有绝缘套11；悬浮外筒3的左侧装有悬浮盖板1；悬浮外筒3的外面装有绝缘筒5；阳极2内设有放电的辉光腔7。绝缘筒5装在真空镀膜设备壳体4上，其工作原理，阳极2收集电子；离子奔向工件，沉积成膜。大面积的阳极2构成均匀的电子通道，使真空室内电子密度呈不均匀分布。阳极2制成如附图1所示圆筒状或制成条状，其上施以比真空室壳体更高的电位，由于电位差必使电子呈条束状优先奔向该装置。此束状电子密度比周边高，形成电子束流，有很好的清洗工件效果。通过氩气充气孔10向阳极2通入氩气，气体会被电子电离并发出辉光，充实在辉光腔7中。辉光中电子电离氩气产生更多的二次电子，维持或增强放电过程。电离产生的离子奔向负电位的工件实现离子清洗，并传递动能辅助成膜，改善膜层质量。
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