专利汇可以提供一种长寿命电子回旋共振离子源专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公布了一种长寿命 电子 回旋共振(ECR)离子源的新结构。在该结构中, 波导 采用脊波导设计,脊波导外围加 磁场 。与波导连接的 微波 窗位于离子源的中上部,微波窗下端高于离子源的中心。这一独特设计使ECR离子源从根本上避免了高能返流二次电子束对微波窗的破坏,从而提高ECR离子源寿命,使其连续工作寿命在一年以上,达到工业生产设备长期运行的条件。,下面是一种长寿命电子回旋共振离子源专利的具体信息内容。
1.一种电子回旋共振离子源,包括波导(1)、放电室(8)、励磁线圈(6)、真空室(10)、加速电极(11)等几部分,其中波导(1)通过微波窗(5)同放电室(8)一端相连,放电室(8)周围缠绕励磁线圈(6),另一端的离子出口()与真空室相连,在离子束的引出通道上设置加速电极(11),其特征在于:所述微波窗为圆形陶瓷微波窗,微波窗位于离子源放电室中线的上方。
2.根据权利要求1所述离子源,其特征在于:所述的波导(1)内有两个脊波导(2),波导(1)外有两个永磁体(3)。
3.根据权利1所述离子源,其特征在于:放电室(8)左侧大法兰(4)中心有一圆锥孔(6),其直径大于返流电子束截面。
4.根据权利1所述离子源,其特征在于:放电室(8)内壁称氮化硼材料。
5.根据权利1所述离子源,其特征在于:大法兰(4)内部通冷却水(13)进行强制冷却。
6.根据权利3所述离子源,其特征在于:大法兰(4)内部通冷却水(13)进行强制冷却。
7.根据权利3所述离子源,其特征在于:微波窗(5)位于圆锥孔(6)上方。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种大功率电子回旋共振加热系统波导转换开关 | 2020-05-15 | 29 |
电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置 | 2020-05-11 | 179 |
一种长寿命电子回旋共振离子源 | 2020-05-11 | 389 |
一种电子回旋共振离子源 | 2020-05-11 | 904 |
一种圆板天线交叉磁场微波电子回旋共振离子推进器 | 2020-05-18 | 604 |
一种水冷型大功率电子回旋共振加热系统隔直器 | 2020-05-18 | 931 |
具有渐变带隙的无定形膜通过电子回旋共振的膜沉积 | 2020-05-18 | 776 |
用于电子回旋共振等离子体源的分布式永磁磁场装置 | 2020-05-17 | 71 |
用于处理玻璃基片或晶片的电子回旋共振除灰装置 | 2020-05-17 | 752 |
表面等离子体共振与电子回旋共振双激励式微波推力器 | 2020-05-16 | 132 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。