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一种检测器件有无层的方法

阅读:611发布:2020-05-14

专利汇可以提供一种检测器件有无层的方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种检测器件有无 镀 层的方法,该方法包括以下步骤:A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析;B、将器件的表层去除,使用 俄歇 电子 能谱仪对器件的基材元素成份进行分析;C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份,如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同,则说明没有镀层,否则说明有镀层。本发明有如下优点:本发明方法操作步骤少,操作简便,可快速准确判断出器件表面是否有镀层。,下面是一种检测器件有无层的方法专利的具体信息内容。

1.一种检测器件有无层的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析;
B、将器件的表层去除,使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析;
C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份,如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同,则说明没有镀层,否则说明有镀层。
2.根据权利要求1所述的一种检测器件有无镀层的方法,其特征在于:所述步骤A分析得到器件表面元素的种类及其含量百分比。
3.根据权利要求1所述的一种检测器件有无镀层的方法,其特征在于:所述步骤B分析得到器件基材元素的种类及其含量百分比。

说明书全文

一种检测器件有无层的方法

[0001]

技术领域

[0002] 本发明涉及材料的成份分析技术领域。
[0003]

背景技术

[0004] 在金属或者其他材料制件的表面附有一层金属膜的镀层,可以起到防止腐蚀,提高机械性能,增进美观等作用。在检测器件表面是否有金属镀层时,常用的方法是先做切片,然后用光学显微镜观察器件表面是否有镀层,但该方法对镀层较厚的比较容易分辨,对于镀层小于2微米的就很难分辨出有无镀层。因此,如何快速准确分辨出器件表面是否有镀层成为材料成份分析领域亟待解决的问题。
[0005]

发明内容

[0006] 为解决现有技术很难分辨出器件表面是否有小于2微米的镀层的问题,本发明提供以下技术方案:一种检测器件有无镀层的方法,该方法包括以下步骤:
A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析;
B、将器件的表层去除,使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析;
C、比较器件表面元素成份和基材的元素成份,如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同,则说明没有镀层,否则说明有镀层。
[0007] 作为本发明的一种优选方案,所述步骤A分析得到器件表面元素的种类及其含量百分比。
[0008] 作为本发明的另一种优选方案,所述步骤B分析得到器件基材元素的种类及其含量百分比。
[0009] 本发明有如下优点:本发明方法操作步骤少,操作简便,可快速准确判断出器件表面是否有镀层。
[0010]附图说明
[0011] 图1 本发明表面成份分析能谱图。
[0012]

具体实施方式

[0013] 下面对该工艺实施例作详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。
[0014] 本实施例对某种金属器件是否存在镀层进行检测,具体检测步骤如下:A、使用扫描电镜和能谱仪对器件的表面元素进行成份分析,得到能谱图如图1所示,各元素成份及含量如表一;
表一 表面成份元素及含量
元素重量百分比(%) 原子百分比(%)
OK 14.38 38.85
AlK 3.42 5.89
ZnL 82.20 55.26
总量100 100
B、将器件的表层去除,使用俄歇电子能谱仪对器件的基材元素成份进行分析,得到器件的基材元素成份,如表二;
表二 基材成份元素及含量
C、对比表一和表二,器件表面元素成份和器件的基材元素成份有很大差异,因此可以确定,该器件表面存在镀层,且镀层的主要成份为锌。
[0015] 所述,仅为本发明的具体实施方式之一,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内,可不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
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