专利汇可以提供一种超衍射纳米光学探针专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 是一种超衍射纳米光学探针,在锥形介质芯的外表面 镀 一层金属外包层,并在锥形针尖的表面沉积多层膜,该多层膜由交替排列的介质膜和金属膜层组成,当光垂直入射到介质膜的表面时,在金属膜与介质膜的界面激发表面等离极化激元, 表面 等离子体 激元沿界面传播到锥形针尖时起到局域增强的效果,并进一步通过锥形针尖表面多层膜的的光学 各向异性 ,对局域增强的光斑进行修饰,压缩和透射增强。依据相同的原理,本发明还包含一种表面沉积该多层膜材料的蝴蝶结结构的设计,其特征在于在其下表面沉积上述多层膜材料。本发明中还可以通过调整多层膜中金属介质的厚度比来改变透射的光强,并且结构较简单,可以很方便的应用到 光刻 中,提高光刻分辨 力 。,下面是一种超衍射纳米光学探针专利的具体信息内容。
1.一种超衍射纳米光学探针,其特征在于:所述光学探针包括锥形介质芯、金属外包层、介质膜和金属膜层,所述锥形介质芯顶部为平台状的锥形针尖;在锥形介质芯的外表面镀一层金属外包层,并在锥形针尖的表面沉积成多层膜,该多层膜由交替排列的介质膜和金属膜层组成,当光垂直入射到介质膜的表面时,在金属膜层与介质膜的界面激发表面等离极化激元,表面等离子体激元沿界面传播到锥形针尖时,对光斑起到局域增强,并进一步通过锥形针尖的表面沉积多层膜的光学各向异性,对局域增强的光斑进行修饰、压缩,同时对光斑起到透射增强的作用;将超衍射纳米光学探针接近旋涂光刻胶记录介质的样品表面,从而实现光刻的目的。
2.如权利要求1所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述多层膜是蝴蝶结结构,在所述蝴蝶结结构下表面沉积交替排列的介质膜和金属膜层结构。
3.如权利要求1所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述的锥形介质芯是硅、或者是硅的氧化物。
4.如权利要求1所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述金属膜层是能够激发表面等离子体的金、银、铜或铝中的一种;介质膜的介电常数ε2与金属膜层的介电常数ε1满足关系:ε2>-Re[ε1],Re表示计算实部,介质膜是SiC材料或Si3N4材料。
5.如权利要求1所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述的锥形介质芯的直径的范围为30nm-100nm。
6.如权利要求1所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述样品自上而下由记录层、金属反射层和基底组成。
7.如权利要求6所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述的金属反射层的介电常数ε3与记录层的介电常数ε4满足匹配关系:ε4=-Re[ε3],Re表示计算实部。
8.如权利要求6所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述的金属反射层的厚度大于该金属反射层的材料在入射光波长下的趋肤深度。
9.如权利要求1所述的超衍射纳米光学探针,其特征在于,所述的多层膜的总厚度h1和锥形介质芯直径d满足关系: 其中:Re表示计算实部,εx=
(ε1+ηε2)/(1+η),εz=(1+η)/(1/ε1+η/ε2);ε1和ε2分别为金属膜层和介质膜的介电常数;η为单层介质膜与单层金属膜的厚度比,εx和εz分别为多层膜材料横向和纵向等效介电常数。
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