专利汇可以提供多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种多棱六边 辐射 型 阴极 发射结构的平板显示器及其制作工艺,包括由阴极玻璃面板、 阳极 玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封 真空 腔;在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的 荧光 粉层;位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的 支撑 墙结构以及消气剂附属元件,在阴极玻璃面板上有控制栅极、 碳 纳米管 以及多棱六边辐射型阴极发射结构;提高 碳纳米管 的 电子 发射效率;进一步缩短了栅极-阴极之间的距离,降低了整体器件的工作 电压 ,提高了栅极的控制能 力 和效率,具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。,下面是多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺专利的具体信息内容。
1、一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器,包括由阴极玻璃面 板[1]、阳极玻璃面板[10]和四周玻璃围框[15]所构成的密封真空腔;在阳极 玻璃面板上有阳极导电层[11]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[13]; 位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[14]以及消气剂附属元 件[16],其特征在于:在阴极玻璃面板上有控制栅极[7]、碳纳米管[9]以及 多棱六边辐射型阴极发射结构。
2、根据权利要求1所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器, 其特征在于:所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的衬底材料为玻璃,也就 是阴极玻璃面板[1],阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层[2], 阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅一层形成阴极提升层[3],阴极提升层位 于阴极引线层的上面,但不能完全覆盖住阴极引线层,阴极提升层呈现半个 六棱型结构,即上顶面为一个六棱型,侧面为六个梯形形状相互接触排列在 四周,长边位于下方,阴极提升层的侧面是一个斜坡形状,从顶部六棱型的 边缘一直延伸到底部阴极引线层上面,阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形 形状的边缘部分上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层[4],阴极导电层布满阴 极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分,并和阴极玻璃面板上的 阴极引线层相互连通,阴极导电层上面的刻蚀后的金属层形成转换层[5],转 换层为线条型,一个线条型转换层位于阴极提升层顶部六棱形的边缘部分, 其余的线条型转换层呈现辐射型位于阴极提升层的侧面斜坡面上,阴极玻璃 面板上的刻蚀后的二氧化硅二层形成栅极增高层[6],栅极增高层和阴极提升 层是相互隔离开来的,栅极增高层环绕在阴极提升层的周围,从俯视方向上 也呈现一个内侧六棱型形状,和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的, 但栅极增高层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的,栅极增高层的上顶面与阴极 提升层的上顶面的高度是相同的,栅极增高层顶面上的刻蚀后的金属层形成 栅极引线层[7],栅极引线层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层[8], 碳纳米管[9]制备在转换层上面。
3、根据权利要求2所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器, 其特征在于:所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的固定位置为安装固定在 阴极玻璃面板上,且栅极和阴极是集成到一起的,栅极位于碳纳米管阴极的 上方,控制着碳纳米管阴极的电子发射,阴极引线层为金属金、银、铝、铜、 铬、钼、锡,阴极导电层为金属金、银、铬、镍、钴、锡、钼、铝,转换层 为金属镍、钼、钴、锡、铬,栅极引线层为金属金、银、镍、钴、锡、铬、 钼、铝,栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的。
4、一种多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的制作工艺,其特征 在于:其制作工艺如下:
1)阴极玻璃面板[1]的制作:对整体平板玻璃进行划割,制作出阴极玻 璃面板;
2)阴极引线层[2]的制作:在阴极玻璃面板上制备出一个金属层,刻蚀 后形成阴极引线层;
3)阴极提升层[3]的制作:在阴极玻璃面板上制备出一个二氧化硅层, 刻蚀后形成阴极提升层;
4)阴极导电层[4]的制作:在阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状 的边缘部分制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极导电层;
5)转换层[5]的制作:在阴极导电层的上面制备出一个金属层,刻蚀后 形成转换层;
6)栅极增高层[6]的制作:在阴极玻璃面板上再次制备出一个二氧化硅 层,刻蚀后形成栅极增高层;
7)栅极引线层[7]的制作:在栅极增高层的上顶面制备出一个金属层, 刻蚀后形成栅极引线层;栅极引线层和阴极引线层是相互垂直的;
8)栅极覆盖层[8]的制作:在栅极引线层的上面制备出一个二氧化硅层, 刻蚀后形成栅极覆盖层;
9)多棱六边辐射型阴极发射结构的表面清洁处理:对多棱六边辐射型阴 极发射结构的表面进行清洁处理,除掉杂质和灰尘;
10)碳纳米管[9]的制备:在转换层的上面制备出碳纳米管;
11)阳极玻璃面板[10]的制作:对整体平板玻璃进行划割,制作出阳极玻 璃面板;
12)阳极导电层[11]的制作:在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜 层;刻蚀后形成阳极导电层;
13)绝缘浆料层[12]的制作:在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料 层;
14)荧光粉层[13]的制作:在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层;
15)器件装配:将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[14]和玻 璃围框[15]装配到一起,并将消气剂[16]放入到空腔当中,用低熔点玻璃粉 固定;
16)成品制作:对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的 制作工艺,其特征在于:所述步骤3具体为在阴极玻璃面板上制备出一个二 氧化硅层,刻蚀后形成阴极提升层;阴极提升层位于阴极引线层的上面,但 不能完全覆盖住阴极引线层;阴极提升层呈现半个六棱型结构,即上顶面为 一个六棱型,侧面为六个梯形形状相互接触排列在四周,长边位于下方;阴 极提升层的侧面是一个斜坡形状,从顶部六棱型的边缘一直延伸到底部阴极 引线层上面。
6、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的 制作工艺,其特征在于:所述步骤4具体为在阴极提升层的斜坡面以及顶部 六棱形形状的边缘部分制备出一个金属层,刻蚀后形成阴极导电层;阴极导 电层布满阴极提升层的斜坡面以及顶部六棱形形状的边缘部分,并和阴极玻 璃面板上的阴极引线层相互连通。
7、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的 制作工艺,其特征在于:所述步骤6具体为在阴极玻璃面板上再次制备出一 个二氧化硅层,刻蚀后形成栅极增高层;栅极增高层和阴极提升层是相互隔 离开来的;栅极增高层环绕在阴极提升层的周围,从俯视方向上也呈现一个 内侧六棱型形状,和阴极提升层的顶部六棱型形状是相对应的,但栅极增高 层的侧壁是垂直于阴极玻璃面板的;栅极增高层的上顶面与阴极提升层的上 顶面的高度是相同的;
8、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的 制作工艺,其特征在于:所述步骤14具体为在阳极导电层的非显示区域印刷 绝缘浆料层,用于防止寄生电子发射;经过烘烤,烘烤温度:150℃,保持时 间:5分钟之后,放置在烧结炉中进行高温烧结,烧结温度:580℃,保持时 间:10分钟。
9、根据权利要求4所述的多棱六边辐射型阴极发射结构的平板显示器的 制作工艺,其特征在于:所述步骤15具体为在阳极导电层上面的显示区域印 刷荧光粉层;在烘箱当中进行烘烤,烘烤温度:120℃,保持时间:10分钟。
10、根据权利要求4所述的一种带有多棱六边辐射型阴极发射结构的平 板显示器的制作工艺,其特征在于:所述步骤17具体为对已经装配好的器件 进行如下的封装工艺:将样品器件放入烘箱当中进行烘烤;放入烧结炉当中 进行高温烧结;在排气台上进行器件排气、封离,在烤消机上对器件内部的 消气剂进行烤消,最后加装管脚形成成品件。
本发明属于平面显示技术领域、电子科学与技术领域、真空科学与技术领 域、集成电路科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域,涉及 到平板场致发射显示器的器件制作,具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射 显示器的器件制作方面的内容,特别涉及到一种多棱六边辐射型阴极发射结构 的碳纳米管场发射显示器的器件制作及其制作工艺。
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