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输送器以及部件检查装置

阅读：991发布：2023-01-14

专利汇可以提供输送器以及部件检查装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种输送器以及部件检查装置。该输送器具备：与收容凹槽对应的第一冷却路径以及第二冷却路径；第一供给路径；与第一供给路径分支的第二供给路；使第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径多的第一节流阀；对各收容凹槽进行加热的加热器；检测各收容凹槽的温度的温度传感器；以及为了使各温度传感器的检测值成为目标温度而控制阀的开闭状态与加热器的输出，并且控制加热器的输出的控制装置。，下面是输送器以及部件检查装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种输送器，其特征在于，具备：
第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；
第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；
第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；
第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；
第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；
第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；
制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀以及连结路径供给至所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径；以及
 气化容器，其配置于所述连结路径，并包含具有比所述连结路径的流路截面积大的流路截面积的第一气化室以及第二气化室，
所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，所述连结路径具有第一连结路径以及第二连结路径，
所述第一连结路径与所述第一气化室连接，
所述第二连结路径与所述第二气化室连接，
所述第一气化室以及所述第二气化室配置为能够相互热交换，
所述输送器具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。
2.根据权利要求1所述的输送器，其特征在于，
所述第一冷却路径是制冷剂的流量比第二冷却路径小的流路。
3.根据权利要求2所述的输送器，其特征在于，
具备缩小所述第一冷却路径中的制冷剂的流量的第一节流阀。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的输送器，其特征在于，具备：
收容容器，其收容有所述支承部；
第一排出路径，其将所述第一冷却路径的出口与所述收容容器连通；以及第二排出路径，其将所述第二冷却路径的出口与所述收容容器连通。
5.根据权利要求4所述的输送器，其特征在于，具备：
第一止回阀，其配设于所述第一排出路径并抑制气体向所述第一冷却路径的流入；以及
第二止回阀，其配设于所述第二排出路径并抑制气体向所述第二冷却路径的流入。
6.根据权利要求5所述的输送器，其特征在于，
在所述第一排出路径中的所述第一止回阀的下游侧连接有所述第二排出路径中的所述第二止回阀的下游侧的部位。
7.根据权利要求6所述的输送器，其特征在于，
在所述第一排出路径中的连接有所述第二排出路径的部位的下游侧具备升温部，所述升温部使通过所述第一排出路径的制冷剂升温，
所述升温部是能够供被空气加热器升温的干燥空气流通的热交换器。
8.根据权利要求1～3中任一项所述的输送器，其特征在于，
所述输送器具有多个所述第二冷却路径，
所述输送器具备第二节流阀，其被设置于所述多个第二冷却路径的各个路径中，并缩小所述第二冷却路径中的制冷剂的流量。
9.一种部件检查装置，其特征在于，具备：
第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；
第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；
第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；
第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；
第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；
第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；
制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀以及连结路径供给至所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径；以及
气化容器，其配置于所述连结路径，并包含具有比所述连结路径的流路截面积大的流路截面积的第一气化室以及第二气化室，
所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，所述连结路径具有第一连结路径以及第二连结路径，
所述第一连结路径与所述第一气化室连接，
所述第二连结路径与所述第二气化室连接，
所述第一气化室以及所述第二气化室配置为能够相互热交换，
所述检查装置具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。

说明书全文

输送器以及部件检查装置

技术领域

[0001] 本发明涉及输送部件的输送器（handler），特别是涉及具有调节部件的温度的温度调节部的输送器，以及具备该输送器的部件检查装置。

背景技术

[0002] 通常，在检查电子部件的电气特性的部件检查装置中，使用在基台上的托盘与检查用插口之间输送检查前、检查后的电子部件的输送器。在这样的部件检查装置中，存在在将电子部件置于0℃以下的低温后检查该电子部件的电气特性的装置。

[0003] 以往，作为冷却电子部件的方法，例如公知有如专利文献1记载那样的技术。在专利文献1中，在载台载置有托盘，该托盘具有多个支承有电子部件的支承部。在该载台的内部形成有冷却路径，该冷却路径经由载台对托盘进行冷却。而且，通过将冷却了压缩空气的制冷剂从制冷剂供给部供给至载台的冷却路径，来经由托盘冷却电子部件。

[0004] 专利文献1：日本特开2004-347329号公报

[0005] 然而，在利用上述的构成冷却多个载台的情况下，需要在每个载台设置根据温度控制制冷剂的供给量的流量控制阀。然而，若是这样的构成，会导致连接制冷剂的供给源与各冷却路径的配管的构造变得复杂。另外，由于多个流量控制阀各自的状态由于载台不同而不同，所以对控制流量控制阀的开阀以及闭阀的控制部造成较大的负荷。

发明内容

[0006] 本发明是鉴于上述的实际情况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制在对支承多个部件的多个支承部进行冷却之后造成控制部件的温度的控制部的控制的负荷增大与冷却回路复杂化的输送器，以及具备该输送器的部件检查装置。

[0007] 本发明中的输送器的一实施方式具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对支承部件的第一支承部进行冷却；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，第二支承部支承部件且与上述第一支承部不同；第一加热器，其对上述第一支承部进行加热；第二加热器，其对上述第二支承部进行加热且与上述第一加热器不同；第一温度传感器，其对上述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对上述第二支承部的温度进行检测且与上述第一温度传感器不同；以及制冷剂供给部，其其将制冷剂通过流量控制阀向上述第一冷却路径以及第二冷却路径供给，上述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于上述制冷剂供给部，上述输送器具备控制部，上述控制部根据上述第一温度传感器的检测值使上述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使上述第一加热器的输出变化，上述控制部根据上述第二温度传感器的检测值使上述第二加热器的输出变化。

[0008] 根据本发明中的输送器的一实施方式，由于第一冷却路径和第二冷却路径被并列地连接于制冷剂供给部，所以通过了共通的流量控制阀的来自制冷剂供给部的制冷剂被供给至第一冷却路径以及第二冷却路径。其结果是，与分别在第一冷却路径以及第二冷却路径单独地设置冷却供给部的情况相比，能够抑制冷却回路复杂化。

[0009] 另外，对于第一支承部而言，控制部根据第一温度传感器的检测值改变流量控制阀与第一加热器的输出，另一方面，对于第二支承部而言，控制部根据第二温度传感器的检测值仅改变第二加热器的输出。其结果是，能够在控制部件的温度之后减少对控制部的负荷。因此，能够实现简化冷却部件的冷却回路，并且，能够在将部件控制在目标温度之后减少对控制部的负荷。

[0010] 本发明中的输送器的其他的实施方式的上述第一冷却路径是制冷剂的流量比第二冷却路径小的流路。

[0011] 根据本发明中的输送器的其他的实施方式，由于第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径中的制冷剂的流量大，所以第二支承部比第一支承部被冷却至更低的温度。其结果是，能够实现简化冷却回路以及减少向控制部施加的负荷，并能够将第一支承部以及第二支承部控制在相同的温度，能够将第二支承部控制在比第一支承部的温度更低的温度。

[0012] 本发明中的输送器的其他的实施方式具备缩小上述第一冷却路径中的制冷剂的流量的节流阀。

[0013] 根据本发明中的输送器的其他的实施方式，由于利用第一节流阀缩小第一冷却路径中的制冷剂的流量，所以即使在第一冷却路径的流路截面积比第二冷却路径的流路截面积大的情况下，也能够使第一冷却路径中的制冷剂的流量比第二冷却路径小。因此，与未具有这样的节流阀的构成相比，还能够提高第一冷却路径以及第二冷却路径的形状、大小所涉及的自由度。

[0014] 本发明中的输送器的其他的实施方式具备：收容容器，其收容有上述支承部；第一排出路径，其将上述第一冷却路径的出口与上述收容容器连通；第二排出路径，其将上述第二冷却路径的出口与上述收容容器连通。

[0015] 对于将部件冷却至比常温更低的温度的输送器而言，为了避免冷却路径、支承部的周围的结露、结冰，而在冷却路径、支承部的周围形成有例如干燥空气、氮气等、含水量比大气少的氛围气体。根据本发明中的输送器的其他的实施方式，由于将含水量较少的制冷剂供给至收容有支承部的收容容器，所以能够抑制在支承部以及支承于该支承部的部件等、成为低温的部位产生结露。

[0016] 本发明中的输送器的其他的实施方式具备第一止回阀，其配设于上述第一排出路径抑制气体向上述第一冷却路径的流入，和及第二止回阀，其配设于上述第二排出路径抑制气体向上述第二冷却路径的流入。

[0017] 根据本发明中的输送器的其他的实施方式，通过第一排出路径抑制气体朝向第一冷却路径的流动，并且通过第二排出路径抑制气体朝向第二冷却路径的流动。因此，能够抑制下述情况发生：通过了第一冷却路径的制冷剂在第一排出路径逆流而再次流入第一冷却路径，并且通过了第二冷却路径的制冷剂在第二排出路径逆流而再次流入第二冷却路径。其结果是，抑制了因通过第一冷却路径而温度上升的制冷剂、来自收容容器的大气向第一冷却路径逆流，并抑制了因通过第二冷却路径而温度上升的制冷剂、来自收容容器的大气向第二冷却路径逆流。因此，能够高效地进行由供给至第一冷却路径的制冷剂对第一支承部进行的冷却与由供给至第二冷却路径的制冷剂对第二支承部进行的冷却。

[0018] 在本发明中的输送器的其他的实施方式中，在上述第一排出路径中的、上述第一止回阀的下游侧连接有上述第二排出路径中的上述第二止回阀的下游侧的部位。

[0019] 根据本发明中的输送器的其他的方式，与将第一排出路径以及第二排出路径与收容容器单独地连接的情况相比，也能够在制冷剂的排出侧简化冷却回路。另外，也能够抑制因通过第一冷却路径而温度上升的制冷剂在第二排出路径逆流而流入第二冷却路径，并且能够抑制因通过第二冷却路径而温度上升的制冷剂在第一排出路径逆流而流入第一冷却路径。

[0020] 在本发明中的输送器的其他的方式中，在上述第一排出路径中的连接有上述第二排出路径的部位的下游侧具备使通过上述第一排出路径的制冷剂升温的升温部。

[0021] 根据本发明中的输送器的其他的方式，将被升温部升温的制冷剂导入收容容器。其结果是，与将未被升温的制冷剂导入收容容器的情况相比，由于收容容器内的温度增高，所以能够抑制在收容容器内产生结露的情况。

[0022] 本发明中的输送器的其他的实施方式具备：第一节流阀，其具有多个上述第二冷却路径，并缩小上述第一冷却路径中的制冷剂的流量；以及第二节流阀，其被设置于上述多个第二冷却路径的各个路径中，并缩小该第二冷却路径中的制冷剂的流量。

[0023] 根据本发明中的输送器的其他的方式，即使在多个第二冷却路径的各个路径中的制冷剂的流量相互不同的情况下，也能够通过设置于各第二冷却路径的第二节流阀来抑制第二冷却路径间的制冷剂的流量的偏差。

[0024] 本发明中的部件检查装置的一实施方式具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对支承部件的第一支承部进行冷却；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，第二支承部支承部件且与上述第一支承部不同；第一加热器，其对上述第一支承部进行加热；第二加热器，其对上述第二支承部进行加热且与上述第一加热器不同；第一温度传感器，其对上述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对上述第二支承部的温度进行检测且与上述第一温度传感器不同；以及制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀向上述第一冷却路径以及第二冷却路径供给，上述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于上述制冷剂供给部，上述检查装置具备控制部，上述控制部根据上述第一温度传感器的检测值使上述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使上述第一加热器的输出变化，上述控制部根据上述第二温度传感器的检测值使上述第二加热器的输出变化。

[0025] 根据本发明中的部件检查装置的一实施方式，能够实现简化冷却部件的冷却回路，并且，能够减轻在控制部件温度方面对于控制部的负荷。附图说明

[0026] 图1是表示将本发明具体化了的输送器以及部件检查装置的一实施方式的整体构成的构成图。

[0027] 图2是示意性地表示了该实施方式的冷却单元的简要构成的简要构成图。

[0028] 图3是表示该实施方式的输送器中的电气构成的一部分的框图。

[0029] 图4是表示了在该实施方式的输送器中，温度传感器的检测值与对收容凹槽的冷却输出以及加热输出的关系的一个例子的图表。

[0030] 图5是表示了在图5（a）~图5（d）变形例中，温度传感器的检测值与对收容凹槽的冷却输出以及加热输出的关系的一个例子的图表。

[0031] 图6是示意性地表示了变形例中的支承部的图。

具体实施方式

[0032] 以下，参照图1~图3对将本发明的输送器以及部件检查装置具体化了的一实施方式进行说明。其中，部件检查装置是具备输送电子部件的输送器，和为与输送器独立的装置并对电子部件的电气特性进行检查的测试器的装置。

[0033] 输送器以及部件检查装置的构成

[0034] 首先，参照图1对输送器以及具备该输送器的部件检查装置的整体构成进行说明。如图1所示，在输送器10的基台11上，将搭载有各种机器人的搭载面11a设置为上表面，该搭载面11a的大部分被盖部件12覆盖。利用从外部供给的干燥空气将由这些盖部件12与搭载面11a围起的空间亦即输送空间的湿度与温度维持在规定的值。

[0035] 在基台11的搭载面11a排列有四条在盖部件12的外侧与内侧之间输送电子部件T的输送机C1~C4。其中，在输送机的排列方向亦即X方向的一侧铺设有从盖部件12的外侧朝内侧输送检查前的电子部件T的供给用输送机C1，并在X方向的另一侧铺设有从盖部件12的内侧朝外侧输送检查后的电子部件T的回收用输送机C2、C3、C4。在这些输送机C1~C4中，多个电子部件T以收容于各输送机上的器件托盘C1a~C4a的状态被输送。

[0036] 另外，在搭载面11a中，在输送空间的大致中央形成有贯通搭载面11a的矩形状的开口部13。在该开口部13安装有测试器的测试头14。测试头14在其上表面具有供电子部件T嵌入的检查用插口14a，并与用于检查该电子部件T的测试器内的检查电路电连接。在该测试器中，利用测试头14与检查用插口14a构成一个载台。

[0037] 并且，搭载面11a中，在与X方向正交的Y方向，在开口部13的两侧配设有临时载置检查前以及检查后的电子部件T的第一往复机构15与第二往复机构16。这些往复机构15、16以沿X方向延伸的方式形成，并在其上表面中的上述供给用输送机C1侧分别固定有供给用往复机构板15a、16a，该供给用往复机构板15a、16a形成有多个收容检查前的电子部件T的收容凹槽17、18。另一方面，在往复机构15、16的上表面中的上述回收用输送机C2~C4侧分别固定有收容检查后的电子部件T的回收用往复机构板15b、16b。而且，这些往复机构15、16分别与固定设置于搭载面11a的沿X方向延伸的往复机构引导件15c、16c连结并沿X方向做往复移动。在输送器10中，利用第一往复机构15与供给用往复机构板15a构成一个载台，并利用第二往复机构16与供给用往复机构板16a构成一个载台。此外，在图1中仅图示了收容凹槽17、18的一部分。

[0038] 在基台11的搭载面11a上搭载有分别向检查用插口14a、供给用往复机构板15a、16a以及回收用往复机构板15b、16b输送电子部件T的机器人机构。而且，上述的往复机构
15、16与构成机器人机构的供给机器人20、搬运机器人30以及回收机器人40的动作相应地沿往复机构引导件15c、16c移动。

[0039] 供给机器人20是从供给用输送机C1上的器件托盘C1a向往复机构15、16上的供给用往复机构板15a、16a输送检查前的电子部件T的机器人，被配置于供给用输送机C1的Y方向。详细而言，供给机器人20具有：沿Y方向延伸的作为固定轴的供给侧固定引导件21；以能够沿Y方向往复移动的方式与供给侧固定引导件21连结的供给侧活动引导件22；以及以能够沿X方向往复移动的方式与供给侧活动引导件22连结的供给用机械手单元23。另外，供给用机械手单元23在其下端具有吸附电子部件T的吸附部，并以相对于搭载面11a能够下降以及上升的方式与供给侧活动引导件22连结。而且，通过供给侧活动引导件22以及供给用机械手单元23的移动，载置于器件托盘C1a的电子部件T被吸附于供给用机械手单元23的吸附部并被输送，进而载置于供给用往复机构板15a、16a。

[0040] 回收机器人40是从往复机构15、16上的回收用往复机构板15b、16b向回收用输送机C2~C4上的器件托盘C2a~C4a输送检查后的电子部件T的机器人，并配置于回收用输送机C2~C4的Y方向。详细而言，与上述的供给机器人20相同，回收机器人40具有：沿Y方向延伸的作为固定轴的回收侧固定引导件41；以能够沿Y方向往复移动的方式与回收侧固定引导件41连结的回收侧活动引导件42；以及以能够沿X方向往复移动的方式与回收侧活动引导件
42连结的回收用机械手单元43。另外，回收用机械手单元43在其下端具有吸附电子部件T的吸附部，并以相对于搭载面11a能够下降以及上升的方式与回收侧活动引导件42连结。而且，通过回收侧活动引导件42以及回收用机械手单元43的移动，载置于回收用往复机构板
15b、16b的电子部件T被吸附于回收用机械手单元43的吸附部进而被输送，从而载置于器件托盘C2a~C4a。

[0041] 输送机器人30具有设置于输送空间的大致中央的沿Y方向延伸的作为固定轴的输送引导件31和以能够沿Y方向往复移动的方式与输送引导件31连结的第一输送单元32以及第二输送单元33。其中，第一输送单元32在第一往复机构15上与测试头14上之间往复移动，第二输送单元33在第二往复机构16上与测试头14上之间往复移动。另外，第一输送单元32以及第二输送单元33分别在其下端具有吸附电子部件T的吸附部，并以相对于搭载面11a能够下降以及上升的方式与输送引导件31连结。

[0042] 而且，第一输送单元32将在第一往复机构15上的供给用往复机构板15a所载置的检查前的电子部件T吸附于吸附部进行输送，并通过规定的按压力将电子部件T嵌入测试头14的检查用插口14a。在检查用插口14a的底面凹陷设置有多个能够与电子部件T的雄端子嵌合的雌端子，通过将具有电子部件T的雄端子嵌入检查用插口14a的雌端子，能够利用测试器检查电子部件T的电气特性。测试器从输送器10接收检查开始的指令而开始检查电子部件T，并将该检查结果以及表示检查结束的信号输出至输送器10。这样若电子部件T的检查结束，则第一输送单元32将检查后的电子部件T从测试头14的检查用插口14a向第一往复机构15上的回收用往复机构板15b输送。

[0043] 相同地，第二输送单元33将载置于第二往复机构16上的供给用往复机构板16a的检查前的电子部件T吸附于吸附部进行输送，并通过规定的按压力将电子部件T嵌入测试头14的检查用插口14a。而且，若基于测试器的电子部件T的检查结束，则第二输送单元33将检查后的电子部件T从测试头14的检查用插口14a向第二往复机构16上的回收用往复机构板
16b输送。交替地进行基于上述的第一输送单元32以及第二输送单元33的、电子部件T向测试头14的输送，利用测试器依次检查电子部件T。

[0044] 此外，供给用机械手单元23、回收用机械手单元43、第一输送单元32以及第二输送单元33是同时吸附保持多个电子部件的装置，各自的吸附部构成为例如能够通过真空吸附吸附并把持电子部件T的末端执行器。

[0045] 此处，在本实施方式中，在第一往复机构15的周围配设有作为收容容器的收容箱50，该收容箱50具有在输送空间内被隔离且收容第一往复机构15与供给用往复机构板15a以及回收用往复机构板15b的腔室。相同地，在开口部13以及安装于开口部13的测试头14的周围配设有作为收容容器的检查箱51，该检查箱51具有在输送空间内被隔离且收容测试头
14以及检查用插口14a的腔室。并且，在第二往复机构16的周围配设有作为收容容器的收容箱52，该收容箱52具有在输送空间内被隔离且收容第二往复机构与供给用往复机构板16a以及回收用往复机构板16b的腔室。而且，分别在这些收容箱50、检查箱51以及收容箱52进行电子部件T的冷却。

[0046] 冷却单元的构成

[0047] 参照图2对进行电子部件T的冷却的冷却单元的构成进行说明。其中，在部件检查装置搭载有对收容于供给用往复机构板15a、16a的收容凹槽17、18的各槽的电子部件T进行冷却的冷却单元、对收容于测试头14的检查用插口14a的电子部件T进行冷却的冷却单元，但在本实施方式中，使用对收容于供给用往复机构板15a的收容凹槽17的电子部件T进行冷却的冷却单元进行说明。

[0048] 如图2所示，一个冷却单元对形成于供给用往复机构板15a的多个收容凹槽17中的作为第一支承部的收容凹槽17A、作为第二支承部的收容凹槽17B、17C、17D以及收容于这些四个收容凹槽的电子部件T进行冷却。冷却单元冷却为使各收容凹槽17A~17D的温度作为目标温度的例如－45℃。

[0049] 在冷却单元中，在构成制冷剂供给部的贮罐55贮存有作为制冷剂的氮气处于液相状态的液态氮。在贮罐55中经由共用通路径56连接有构成制冷剂供给部的第一连结路径57与第二连结路径58。上述的第一连结路径57以及第二连结路径58为流路截面积大致相等的连续的配管，第一连结路径57与热交换器60的第一气化室61连接，第二连结路径58与热交换器60的第二气化室62连接。在第一连结路径57配设有供给阀63（以下，简称阀63。），该阀63通过开闭第一连结路径57来控制液态氮向第一气化室61的供给量。另外，在第二连结路径58配设有供给阀64，该供给阀64通过开闭第二连结路径58来控制液态氮向第二气化室62的供给量。

[0050] 热交换器60是所谓的板式热交换器，是能够在沿第一气化室61流动的流体与沿第二气化室62流动的流体之间进行热交换的热交换器。在热交换器60连接有第一连结路径57以及第二连结路径58，以使得该热交换器60中的流体的流动成为并行流。第一气化室61以及第二气化室62形成为比第一连结路径57以及第二连结路径58的流路截面积大的流路截面积。流入了第一气化室61以及第二气化室62的液态氮在温度比液态氮的沸点更高的气化容器内部气化膨胀，成为比作为目标温度的控制装置的设定温度更低的温度的氮气。而且，将在第一气化室61成为氮气的制冷剂供给至冷却单元的第一供给路径66A，并将在第二气化室62成为氮气的制冷剂供给至其他的冷却单元的第一供给路径。

[0051] 第一供给路径66A以通过收容凹槽17A的正下方的方式与形成于第一往复机构15的第一冷却路径67A连接。另外，在第一供给路径66A并排地连接有三个在该第一供给路径66A的分支部DP分支的第二供给路径66B、66C、66D。这些第二供给路径66B~66D以通过收容凹槽17B~17D的正下方的方式分别与形成于第一往复机构15的第二冷却路径67B、67C、67D连接。即，这些第一冷却路径67A与第二冷却路径67B~67D相互并排地连接。

[0052] 另外，在第一往复机构15的内部，在各收容凹槽17A~17D的各槽的正下方具备加热器69A、69B、69C、69D（以下，简称加热器。）。加热器69A~69D分别对各收容凹槽17A~17D进行加热。另外，在各收容凹槽17A~17D具备检测该收容凹槽17A~17D的温度的温度传感器70A、70B、70C、70D。而且，通过由在各冷却路径67A~67D流通的氮气所进行的冷却与由加热器69A～69D所进行的加热的配合作用，将各收容凹槽17A~17D控制成目标温度。

[0053] 另一方面，在第一冷却路径67A的排出口68A连接有第一排出路径71A。第一排出路径71A与收容箱50连接，并将从第一冷却路径67A排出的氮气导入收容箱50。另外，在第二冷却路径67B~67D的排出口68B、68C、68D分别连接有具有与第一排出路径71A相等的流路截面积的第二排出路径71B、71C、71D。第二排出路径71B~71D在其与第一排出路径71A的合流部JP与该第一排出路径71A连接，并将从第二冷却路径67B~67D排出的氮气向第一排出路径71A排出。即，向收容箱50导入从各冷却路径67A~67D排出的氮气。

[0054] 在第一排出路径71A配设有第一节流阀73A，该第一节流阀73A比合流部JP更靠上游侧，并通过改变上述第一排出路径71A的流路截面积来缩小第一冷却路径67A中的氮气的流量。相同地，在第二排出路径71B~71D的各路径也分别配设有第二节流阀73B、73C、73D，这些第二节流阀73B、73C、73D比合流部JP更靠上游侧，并通过改变该第二排出路径71B~71D的流路截面积来缩小第二供给路66B~66D中的氮气的流量。

[0055] 另外，在第一排出路径71A配设有第一止回阀74A，该第一止回阀74A在第一节流阀73A与合流部JP之间，抑制在上述第一排出路径71A逆流的气体流入第一冷却路径67A。相同地，在第二排出路径71B~71D的各路径也分别配设有第二止回阀74B、74C、74D，这些第二止回阀74B、74C、74D在合流部JP与第二节流阀73B~73D之间，抑制在上述第二排出路径71B~
71D逆流的气体流入第二冷却路径67B~67D。

[0056] 另外，在第一排出路径71A配设有作为升温部的热交换器75，该热交换器75比合流部JP更靠下游侧，并将在上述第一排出路径71A流通的氮气升温至常温。热交换器75是所谓的板式热交换器，在第一排出路径71A流通的氮气流入低温流体室76，干燥空气供给源77生成的干燥空气流入高温流体室78。这些氮气以及干燥空气在热交换器75内以形成并行流的方式流通。干燥空气供给源77由压缩机、干燥机等构成，来自上述干燥空气供给源77的干燥空气被阀79控制向热交换器75的供给量，并且被空气加热器80升温至比常温更高的温度。而且，氮气以及干燥空气通过热交换器75中的热交换而在相互置换为常温后，导入收容箱
50。另外，在第一排出路径71A配设有第三止回阀81，该第三止回阀81比热交换器75更靠下游侧，并抑制在上述第一排出路径71A逆流的气体流入低温流体室76。

[0057] 输送器以及部件检查装置的电气构成

[0058] 接下来，参照图3以输送器10的电气构成为中心对输送器以及部件检查装置的电气构成进行说明。构成上述输送器10所具备的控制部的控制装置85以具有中央处理装置（CPU）、非易失性存储器（ROM）以及挥发性存储器（RAM）的微型计算机为中心构成。控制装置85基于储存于上述ROM以及RAM的各种数据以及程序，总括地进行以上述的供给机器人20、输送机器人30、回收机器人40之类的机器人机构的动作为主的与输送器10相关的各种控制。另外，在控制装置85电连接有测试器90，并在其与测试器90之间进行表示电子部件T的检查的开始、结束的信号的输入输出。此外，此处，对于与基于控制装置85的控制中的、冷却供给用往复机构板15a的收容凹槽17A~17D的冷却单元相关的控制的方式进行说明。

[0059] 如图3所示，在控制装置85电连接有冷却单元驱动部86，该冷却单元驱动部86具有：阀驱动部86a、节流阀驱动部86b、加热器驱动部86c。

[0060] 阀驱动部86a基于从控制装置85输入的目标温度与从温度传感器70A输入的温度的偏差，设定阀63的开闭时间，并且，将表示该开闭时间的信号输出至阀63，以使得将四个收容凹槽17A~17D的温度冷却至目标温度后将足够量的氮气供给至第一供给路径66A。另外阀驱动部86a在温度传感器70A的检测值低于作为比目标温度低的温度的低温侧允许温度Tmin的情况下，向阀63输出表示将阀63维持在闭状态的信号。阀63通过进行与被输入的信号对应的开闭来调整第一供给路径66A中的制冷剂的流量。

[0061] 节流阀驱动部86b对上述第一节流阀73A输出缩小第一排出路径71A的流路截面积的开度信号。该开度信号是表示基于从控制装置85输入的目标温度而预先确定好的开度的信号。另外，节流阀驱动部86b基于上述第一节流阀73A的开度信号，向各第二节流阀73B~73D输出各第二排出路径71B~71D中的流路截面积比第一排出路径71A大的开度信号。此外，本实施方式的节流阀驱动部86b也能够向各第二节流阀73B~73D输出表示最大开度的开度信号。

[0062] 加热器驱动部86c基于从控制装置85输入的目标温度与从各温度传感器70A~70D输入的温度，为了使各收容凹槽17A~17D的温度成为目标温度，对各加热器69A~69D生成驱动电流，并且，向各加热器69A~69D输出该驱动电流，从而驱动各加热器69A~69D。

[0063] 此处，第一冷却路径67A中的氮气的流量与第二冷却路径67B~67D中的氮气的流量相比，通过第一节流阀73A被缩小。因此，例如在温度传感器70A、70B的检测值均为目标温度的情况下，即使向加热器69A、69B输出相同大小的驱动电力，虽然收容凹槽17A的温度被维持在目标温度，收容凹槽17B的温度也比目标温度降低。因此，本实施方式的加热器驱动部86c基于从控制装置85输入的目标温度与从各温度传感器70B~70D输入的温度的偏差，也能够向加热器69B~69D输出比相同偏差中的加热器69A的驱动电力大的驱动电力。

[0064] 另外，加热器驱动部86c在温度传感器的检测值高于作为比目标温度高的温度的高温侧允许温度Tmax的情况下，为了优先冷却收容凹槽，而将与该温度传感器对应的加热器置于停止状态。

[0065] 此外，与冷却单元驱动部86相同，对于与供给用往复机构板15a的其他的收容凹槽17、供给用往复机构板16a的收容凹槽18、测试头14的检查用插口14a对应的冷却单元，也在每一个冷却单元设置冷却单元驱动部。即，控制装置85以使各冷却单元相互独立的方式进行控制。

[0066] 作用

[0067] 接下来，对本实施方式的输送器以及部件检查装置的作用进行叙述。

[0068] 在本实施方式的输送器以及部件检查装置中，对于冷却单元而言，从贮罐55供给至第一连结路径57的液态氮马上流入热交换器60的第一气化室61。流入到第一气化室61的液态氮在温度比液态氮的沸点更高的气化容器内部进行气化膨胀而向氮气转变。而且，该氮气流入第一供给路径66A。

[0069] 流入到第一供给路径66A的氮气在分支部DP被分流至该第一供给路径66A与第二供给路66B~66D。此时，在第一冷却路径67A中，通过控制基于目标温度的第一节流阀73A的开度，氮气的流量被缩小。另一方面，在第二冷却路径67B~67D的各路径中，始终将第二节流阀73B~73D控制在比第一节流阀73A的开度更大的开度，从而与第一冷却路径67A相比，各第二冷却路径67B~67D中的氮气的流量未被缩小。因此，各第二冷却路径67B~67D中的氮气的流量比第一冷却路径67A中的氮气的流量大。由此，收容凹槽17B~17D与收容凹槽17A相比相对于目标温度被过度地冷却。

[0070] 而且，对于收容凹槽17A而言，控制装置85对阀63的开闭状态与输出至加热器69A的驱动电力进行控制以使得从温度传感器70A输入的温度成为目标温度。另外，对于各收容凹槽17B~17D而言，控制装置85对输出至各加热器69B~69D的驱动电力进行控制以使得从各温度传感器70B~70D输入的温度成为目标温度。即，控制装置85向加热器69B~69D输出比加热器69A更大的驱动电力。由此，将各收容凹槽17A~17D控制在目标温度，从而将收容于上述收容凹槽17A~17D的电子部件T控制在目标温度。

[0071] 即，如图4所示，收容凹槽17B~17D在比对于收容凹槽17A的冷却输出91更高的冷却输出92下成为被冷却的状态，并且在比对于收容凹槽17A的加热输出93更高的加热输出94下成为被加热的状态。因此，例如，在温度传感器70A、70B的检测值为相同的值，并且为比高温侧允许温度Tmax更高的值的情况下，由于对于收容凹槽17B的冷却输出92比对于收容凹槽17A的冷却输出91更高，所以收容凹槽17B比收容凹槽17A更早地到达目标温度Tt。即，能够使收容凹槽17B~17D的对于冷却的响应性比收容凹槽17A高。

[0072] 另外，例如，在温度传感器70A、70B的检测值为相同的值，并且为比低温侧允许温度Tmin更低的值的情况下，由于对于收容凹槽17B的加热输出94比对于收容凹槽17A的加热输出93高，所以以收容凹槽17B比收容凹槽17A更早地到达目标温度Tt。即，能够使收容凹槽17B~17D的对于加热的响应性比收容凹槽17A高。

[0073] 从各冷却路径67A~67D排出的氮气通过第一排出路径71A流入热交换器75的低温流体室76。在该热交换器75的高温流体室78流入有干燥空气，该干燥空气被空气加热器80升温至比常温更高的温度。而且，氮气在通过与热交换器75中的干燥空气热交换而升温至常温水平后，被导入收容箱50。另外，干燥空气在通过与氮气热交换而降温至常温水平后，被导入收容箱50。

[0074] 上述氮气是使液态氮气化得到的气体且含水量接近零，并且若上述干燥空气与输送器的周边的空气相比含水量也较少。因此，通过将这些氮气以及干燥空气导入收容箱50，而使收容箱50内被含水量较少的气体充满。即，能够抑制在收容箱50中产生结露。其结果是，能够抑制供给用往复机构板15a以及收容于该供给用往复机构板15a的电子部件T产生结露而导致电子部件T故障。

[0075] 另外，向该收容箱50导入氮气与干燥空气是指：充满上述收容箱50的气体的含水量非零。因此，若从各冷却路径排出的氮气未被升温而导入收容箱50，则担心收容箱50内的温度在这时为露点以下。在本实施方式中，由于将被热交换器75升温至常温水平的氮气导入收容箱50，所以收容箱50内的温度在这时很难成为露点以下。其结果是，即使回收用往复机构板15b的温度处于比供给用往复机构板15a更高的状态，也能够抑制收容于回收用往复机构板15b以及该回收用往复机构板15b的电子部件T产生结露而导致电子部件T故障。

[0076] 而且，将对各收容凹槽17A~17D进行冷却的氮气与将该氮气升温至常温水平的干燥空气作为收容箱50中的结露对策用的气体来使用。因此，与另外准备结露对策用的气体的情况相比，能够简化冷却单元的构成，并且，能够减少使用的气体的量。

[0077] 另一方面，在第一排出路径71A配设有第一止回阀74A，该第一止回阀74A比合流部JP更靠上游侧，在各第二排出路径71B~71D也配设有第二止回阀74B~74D，该第二止回阀74B~74D比合流部JP更靠上游侧。因此，能够抑制下述情况发生：例如从第二冷却路径67B排出的氮气在第一排出路径71A逆流而流入第一冷却路径67A；例如从第二冷却路径67B排出的氮气在第二排出路径71C逆流而流入第二冷却路径67C。其结果是，由于抑制温度上升的氮气通过各第二冷却路径67B~67D流入第一冷却路径67A，所以能够高效地进行由供给至第一冷却路径67A的氮气对收容凹槽17A进行的冷却。另外，由于也抑制通过了其他的冷却路径的氮气的流入各第二冷却路径67B~67D，所以各收容凹槽17B~17D能够维持在与目标温度相比被过度地冷却的状态，并且，能够高效地进行对各收容凹槽17B~17D的冷却。

[0078] 另外，在第一排出路径71A配设有第三止回阀81，该第三止回阀81比热交换器75更靠下游侧。因此，在将阀63控制在关闭状态的期间，能够抑制含水量比氮气多的气体从收容箱50通过第一排出路径71A流入热交换器75、第一冷却路径67A、第二冷却路径67B~67D、热交换器60。并且，通过第一止回阀74A、第二止回阀74B~74D也能够抑制上述气体流入第一冷却路径67A、第二冷却路径67B~67D、热交换器60。其结果是，能够在将阀63再次控制在打开状态后，抑制在热交换器75、各冷却路径67A~67D、热交换器60等、制冷剂的流通路径产生结露。

[0079] 如以上说明的那样，根据本实施方式的输送器以及部件检查装置，能够得到以下列举的效果。

[0080] （1）在将四个收容凹槽17A~17D形成为目标温度后，从第一供给路径66A向第一冷却路径67A供给氮气，并从与第一供给路径66A分支的第二供给路66B~66D向各第二冷却路径67B~67D供给氮气。另外，通过第一节流阀73A使第一冷却路径67A中的氮气的流量苏醒哦iao，使得各第二冷却路径67B~67D中的氮气的流量比第一冷却路径67A大。而且，对于收容凹槽17A而言，对阀63的开闭以及加热器69A的输出进行控制，使得温度传感器70A的检测值成为目标温度，对于各收容凹槽17B~17D而言，仅控制各加热器69B~69D的输出，使得各温度传感器70B~70D的检测值成为目标温度。因此，能够实现对收容凹槽17A~17D进行冷却的冷却回路的简化，并且，还能够在将收容凹槽17A~17D控制在目标温度后减少对控制装置85的负荷。

[0081] （2）另外，由于通过第一节流阀73A缩小第一冷却路径67A中的氮气的流量，所以即使在例如第一冷却路径67A的流路截面积比第二冷却路径67B~67D的流路截面积大的情况下，也能够使第一冷却路径67A中的氮气的流量比第二冷却路径67B~67D中的氮气的流量小。因此，与不具有第一节流阀73A的构成相比，能够提高第一冷却路径67A以及第二冷却路径67B~67D的形状、大小所涉及的自由度。

[0082] （3）另外，由于对于收容凹槽17B~17D的冷却输出比收容凹槽17A高，所以能够使上述收容凹槽17B~17D的对于冷却的响应性比收容凹槽17A高。

[0083] （4）另外，由于对于收容凹槽17B~17D的加热输出比收容凹槽17A高，所以能够使上述收容凹槽17B~17D的对于加热的响应性比收容凹槽17A高。

[0084] （5）由于将各收容凹槽17A~17D的冷却所使用的氮气导入收容箱50，所以能够减少充满收容箱50的气体的含水量。其结果是，能够抑制在收容箱50内产生结露。

[0085] （6）由于在第一排出路径71A配设有第一止回阀74A，该第一止回阀74A比与第二排出路径71B~71D的合流部JP更靠上游侧，所以能够高效地进行由供给至第一冷却路径67A的氮气对收容凹槽17A进行的冷却。

[0086] （7）由于在第二排出路径71B~71D分别配设有第二止回阀74B~74D，这些第二止回阀74B~74D比与第一排出路径71A的合流部JP更靠上游侧，所以能够高效地进行由供给至各第二冷却路径67B~67D的氮气对收容凹槽17B~17D进行的冷却。

[0087] （8）由于第一止回阀74A、第二止回阀74B~74D抑制来自各供给路的除了氮气以外的气体从收容箱50流入各冷却路径，所以能够抑制在各冷却路径产生结露。

[0088] （9）由于在第一排出路径71A连接有第二排出路径71B~71D，所以能够实现冷却回路的简化。

[0089] （10）在第一排出路径71A配设有热交换器75，该热交换器75将从第一冷却路径67A以及第二冷却路径67B~67D排出的氮气升温至常温水平。其结果是，由于抑制收容箱50内的温度成为露点以下，所以能够抑制在收容箱50内产生结露。

[0090] （11）将对各收容凹槽17A~17D进行冷却的氮气与将上述氮气升温至常温水平的干燥空气作为收容箱50中的结露对策用的气体来使用。因此，能够削减在抑制在收容箱50产生结露方面所使用的气体的量。

[0091] （12）由于在热交换器75的下游侧配设有第三止回阀81，所以能够抑制在热交换器60、第一冷却路径67A、第二冷却路径67B~67D、热交换器75产生结露。

[0092] （13）将热交换器75在第一排出路径71A中配设于比第二排出路径71B～71D所连接的合流部JP靠下游侧的位置。因此，与将这样的热交换器75配设于各排出路径71A~71D的情况相比，能够减少热交换器75的设置台数。

[0093] （14）氮气与干燥空气在热交换器75中成为并行流。因此，与以这些氮气与干燥空气在热交换器75中成为对流的方式流通的情况相比，还能够缩小通过热交换器75之后的氮气与干燥空气的温度差。其结果是，能够使导入有这些氮气和干燥空气的收容箱50中的温度分布均匀化。

[0094] 此外，上述的实施方式还能够通过以下这样地适当地变更进行实施。

[0095] ·只要控制装置85以各第二冷却路径67B~67D中的制冷剂的流量比第一冷却路径67A多的方式控制第一节流阀73A的开度以及各第二节流阀73B~73D的开度即可。

[0096] 例如，在第二冷却路径67B~67D之间在制冷剂的流量存在偏差时，控制装置85能够基于例如温度传感器70B~70D的检测值与加热器69B~69D的驱动电力的大小对该偏差进行检测并分别控制各第二节流阀73B~73D的开度。其结果是，能够使各第二冷却路径67B~67D中的制冷剂的流量均匀化。

[0097] 另外，能够维持各第二冷却路径67B~67D中的制冷剂的流量比第一冷却路径67A中的制冷剂的流量多的状态，并且例如能够使第二冷却路径67B中的制冷剂的流量比其他的第二冷却路径67C、67D多。其结果是，能够将对于收容凹槽17B的目标温度设定在比收容凹槽17A以及收容凹槽17C、17D更低的温度。即，在比收容凹槽17A的目标温度更低的温度范围内，能够提高关于各收容凹槽17B~17D的目标温度的自由度。

[0098] ·也可以预先调整第一节流阀73A的开度以及各第二节流阀73B~73D的开度，使得各第二冷却路径67B~67D中的制冷剂的流量比第一冷却路径67A多。根据这样的构成，由于能够省略控制装置85的节流阀驱动部86b，所以还能够减少对控制装置85的负荷。

[0099] ·也可以是省略了各第二节流阀73B~73D的构成。若为这样的构成，则能够进一步实现冷却回路的简化以及对控制装置85的负荷的减少。

[0100] ·也可以是省略了使从各冷却路径67A~67D排出的氮气升温的热交换器75的构成。此时，虽然收容箱50内的温度降低，但由于将含水量接近零的氮气导入收容箱50，所以能够抑制在收容箱50内产生结露。

[0101] ·另外，也可以将热交换器75分别配设于排出路径71A~71D的各路径中的、第一排出路径71A与第二排出路径71B~71D的合流部JP的上游侧。

[0102] ·从各冷却路径67A~67D排出的制冷剂不限定于热交换器75，例如也可以通过空气加热器等而直接升温。

[0103] ·也可以将各排出路径71A~71D与收容箱50单独地连接。在该情况下，也可以在各排出路径71A~71D分别配设有热交换器75、第三止回阀81。

[0104] ·也可以是在第一排出路径71A省略了第三止回阀81的构成。即便是这样的构成，由于在第一排出路径71A有配设第一止回阀74A，在各第二排出路径71B~71D配设有第二止回阀74B~74D，所以也能够抑制在各排出路径71A~71D逆流的空气流入各冷却路径67A~67D、热交换器60。

[0105] ·也可以是省略了第一排出路径71A中的第一止回阀74A的构成，也可以是至少省略了各第二排出路径71B~71D中的第二止回阀74B~74D中的一个的构成。即，也可以是将各冷却路径67A~67D的至少一个与收容箱50始终连通的构成。

[0106] ·从各冷却路径67A~67D排出的氮气不限定于收容箱50，也可以排出至盖部件12的内部，也可以排出至大气中。

[0107] ·虽然第一冷却路径67A、第二冷却路径67B~67D形成于第一往复机构15，但是例如，也可以第一冷却路径67A以及第二冷却路径67B形成于第一往复机构15，第二冷却路径67C、67D形成于第二往复机构16。此时，优选将从第二冷却路径67C、67D排出的氮气导入收容箱52。

[0108] 另外，第一冷却路径67A以及第二冷却路径67B也可以形成于第一往复机构15，第二冷却路径67C、67D也可以形成于测试头14。此时，优选将从第二冷却路径67C、67D排出的氮气导入检查箱51。

[0109] ·控制装置85也可以在将各收容凹槽17A~17D从常温冷却至目标温度时，将各节流阀73A~73D的开度控制在最大开度直至温度传感器70A的检测值到达目标温度，在温度传感器70A的检测值到达目标温度之后缩小第一节流阀73A的开度。根据这样的构成，能够缩短各收容凹槽17A~17D从常温到到达目标温度的时间。

[0110] ·控制装置85作为控制第一冷却路径67A中的制冷剂的流量的方式，也可以以基于目标温度的规定的开闭时间对阀63进行控制，并且基于温度传感器70A的检测值控制第一节流阀73A的开度。

[0111] ·也可以将第一节流阀73A配设于第一供给路径66A中的分支部DP的下游侧。

[0112] ·另外，也可以与第二供给路66B~66D的流路截面积相比，局部或者整体缩小第一供给路径66A的流路截面积，由此使第一冷却路径67A中的制冷剂的流量与第二冷却路径67B~67D相比变小。另外，对于第一排出路径71A中的合流部JP的上游侧的部位与第二排出路径71B~71D而言也相同。

[0113] ·从第一供给路径分支的第二供给路不限定于三个，可以为一个，也可以为四个以上。此外，此时，优选从制冷剂供给部供给足够使全部的收容凹槽冷却至比目标温度更低的温度的制冷剂。

[0114] ·也可以是贮罐55被设置于输送器10的外部的构成。在该情况下，例如，设置于输送器10的共用通路56，且连接通往贮罐55的配管的连接部构成制冷剂供给部的一部分。

[0115] ·对各收容凹槽进行冷却的制冷剂不限定于氮，也可以为氧、氦，例如也可以是使用氮气等冷却至比目标温度更低的温度的干燥空气。

[0116] ·在上述实施方式中，加热器69B~69D被比加热器69A的驱动电力的大的驱动电力驱动。并不限定于此，例如，加热器69B~69D也可以在温度传感器70B~70D的检测值比低温侧允许温度Tmin低的范围内，被与加热器69A的驱动电力相同大小的驱动电力驱动，也可以被比加热器69A的驱动电力小的驱动电力驱动。

[0117] ·也可以是第一冷却路径67A中的制冷剂的流量比第二冷却路径67B~67D中的制冷剂的流量少的构成。根据这样的构成，与收容凹槽17B~17D相比，能够提高收容凹槽17A对于冷却的响应性以及对于加热的响应性。

[0118] ·冷却单元也可以是各冷却路径67A~67D中的制冷剂的流量大致相等的构成。此处，能够基于目标温度与温度传感器70A的检测值，向第一供给路径66A供给足够将四个收容凹槽17A~17D的温度冷却至目标温度的量的氮气。因此，在上述构成的冷却单元中，通过制冷剂进行的冷却与加热器进行的加热的配合作用，将收容凹槽控制在目标温度。即，控制装置85通过根据温度传感器70A的检测值控制供给阀63与加热器69A，并且根据温度传感器70B~70D的检测值仅控制加热器69B~69D的输出，而将各收容凹槽17A~17D控制在目标温度。
根据这样的构成，能够省略各节流阀73A~73D，以及省略节流阀驱动部86b。因此，能够实现进一步简化冷却回路，以及减少对控制装置85的负荷。

[0119] 此外，例如，在温度传感器70B的检测值为比目标温度Tt高的温度Ta的情况下，优选第二冷却路径67B中的制冷剂的流量比适于将收容凹槽17B维持在目标温度Tt的流量多。另外，在温度传感器70B的检测值为比目标温度Tt低的温度Tb的情况下，优选第二冷却路径
67B中的制冷剂的流量比适于将收容凹槽17B维持在目标温度Tt的流量少。

[0120] 然而，在上述构成的冷却单元中，在温度传感器70A的检测值为目标温度Tt的情况下，向收容凹槽17A的第一冷却路径67A供给有适于将上述收容凹槽17A的温度维持在目标温度Tt的流量的制冷剂。而且，无论温度传感器70B的检测值为何值，还向第二冷却路径67B供给适于将上述收容凹槽17B维持在目标温度Tt的流量的制冷剂。

[0121] 因此，在温度传感器70A的检测值为目标温度Tt，并且温度传感器70B的检测值为比目标温度Tt更高的温度Ta的情况下，若加热器69B的驱动电力成为与温度传感器70A的检测值为温度Ta时的加热器69A的驱动电力相同的大小，则导致收容凹槽17B的对于冷却的响应性降低。另外，在温度传感器70A的检测值为目标温度Tt，并且温度传感器70B的检测值为比目标温度Tt更低的温度Tb的情况下，若加热器69B的驱动电力成为与温度传感器70A的检测值为温度Ta时的加热器69A的驱动电力相同的大小，则导致收容凹槽17B的对于加热的响应性降低。

[0122] 根据以上所述，在上述构成的冷却单元中优选控制装置85能够基于例如温度传感器70A的检测值与温度传感器70B~70D的检测值的偏差，而将规定温度中的加热器69B~69D的驱动电力控制在与上述规定温度中的加热器69A的驱动电力不同的大小。

[0123] 另外，如图5（a）所示，在上述构成的冷却单元中，也可以相对于目标温度Tt，调整作为输出有冷却输出96与加热输出97的双方的范围的重叠量W。

[0124] 即，如图5（b）所示，通过增大相对于目标温度Tt的重叠量W，使得在将收容凹槽控制在目标温度方面所需要的冷却输出96以及加热输出97变大。因此，例如在维持在目标温度的收容凹槽的温度上升后，由于能够在较高的冷却输出下对上述收容凹槽进行冷却，所以能够提高收容凹槽的对于冷却的响应性。另外，例如在维持在目标温度的收容凹槽的温度降低后，由于能够在较高的加热输出下对上述收容凹槽进行加热，所以能够提高各收容凹槽的对于加热的响应性。根据以上所述，通过增大重叠量W，能够提高收容凹槽的对于冷却的响应性，以及对于加热的响应性，并且，能够提高将收容凹槽的温度控制在目标温度时的精度。

[0125] 另一方面，如图5（c）所示，也可以将相对于目标温度Tt的重叠量W设定为零。另外，如图5（d）所示，也可以将相对于目标温度Tt的重叠量W设定为负值，即设定出均未输出有冷却输出96与加热输出97的不工作区域。根据这样的构成，不仅能够在将收容凹槽的温度控制在目标温度，还能够抑制制冷剂的消耗量以及加热器的消耗电力量。

[0126] ·在上述实施方式中，利用安装于贯通基台11的开口部13的测试头14与测试头14上表面的检查用插口14a构成载台。除此之外，如图6所示，也可以将具备供氮气流动的冷却路径100、加热器101以及收容检查用插口14a的收容部102的台座103设置于基台11，并将该台座103设为载台。在该情况下，台座103成为支承部，并通过将检查用插口14a收容于台座103的收容部102而搭载于输送器10。而且，通过冷却台座103，来冷却收容于检查用插口14a的电子部件。

[0127] 由于构成部件检查装置的输送器与测试器为分体的装置，所以在将测试头14以及检查用插口14a设为载台的情况下，与输送器侧的构成不同，需要预先使测试器的测试头14具有供氮气流动的流路、加热器。该点，根据上述的构成，能够对收容于检查用插口14a的电子部件T进行冷却，而不需要具备内部流路、加热器的测试头14。

[0128] 此外，温度传感器只要是能够检测检查用插口14a的温度即可，可以搭载于台座103，也可以搭载于检查用插口14a。另外，虽在图6所记载的台座103形成有一个收容部102，但形成于台座103的收容部102的个数为也可以两个以上。另外，也可以设为在台座103的收容部102收容有测试头14以及检查用插口14a的构成。总之，作为支承电子部件的支承部，只要是隔着传导热的部件与电子部件间接地接触的部件其本身被冷却的方式即可。此外，在台座103形成有多个收容部102的情况下，优选在台座103形成有与各收容部102单独地对应的冷却路径100。

[0129] ·另外，支承部只要是在基台11的搭载面11a上，或者在被盖部件12覆盖的输送空间内的基台11的上方支承电子部件T的部分的话能够任意地设定。例如，也可以将供给用往复机构板15a与回收用往复机构板15b设为分别不同的载台，与此相对分别设置冷却单元进行冷却。另外，也可以在输送机器人30中的第一输送单元32以及第二输送单元33的下端的吸附部设置载台，也可以分别在第一输送单元32以及第二输送单元33的下端部设置冷却单元。总之，只要是支承电子部件T的部分的话，即可将该处设为支承部而设置冷却单元。此外，当在各冷却单元之间输送电子部件T时，只要是打开关闭收容容器的一部分进行电子部件T的移送即可。

[0130] 符号说明：

[0131] T…电子部件；C1…供给用输送机；C2、C3、C4…回收用输送机；DP…分支部；JP…合流部；C1a、C2a、C3a、C4a…器件托盘；10…输送器；11…基台；11a…搭载面；12…盖部件；13…开口部；14…测试头；14a…检查用插口；15…第一往复机构；15a…供给用往复机构板；
15b…回收用往复机构板；15c…往复机构引导件；16…第二往复机构；16a…供给用往复机构板；16b…回收用往复机构板；16c…往复机构引导件；17、17A、17B、17C、17D、18…收容凹槽；20…供给机器人；21…供给侧固定引导件；22…供给侧活动引导件；23…供给用机械手单元；30…输送机器人；31…输送引导件；32…第一输送单元；33…第二输送单元；40…回收机器人；41…回收侧固定引导件；42…回收侧活动引导件；43…回收用机械手单元；50…收容箱；51…检查箱；52…收容箱；55…贮罐；56…共用通路；57…第一连结路径；58…第二连结路径；60…热交换器；61…第一气化室；62…第二气化室；63、64…供给阀；66A…第一供给路径；66B、66C、66D…第二供给路径；67A…第一冷却路径；67B、67C、67D…第二冷却路径；
68A、68B、68C、68D…排出口；69A、69B、69C、69D…加热器；70A、70B、70C、70D…温度传感器；
71A…第一排出路径；71B、71C、71D…第二排出路径；73A…第一节流阀；73B、73C、73D…第二节流阀；74A…第一止回阀；74B、74C、74D…第二止回阀；75…热交换器；76…低温流体室；
77…干燥空气供给源；78…高温流体室；79…阀；80…空气加热器；81…第三止回阀；85…控制装置；86…冷却单元驱动部；86a…阀驱动部；86b…节流阀驱动部；86c…加热器驱动部；
90…测试器；100…冷却路径；101…加热器；102…收容部；103…台座。

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输送器以及部件检查装置

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