一种尾气处理装置
阅读：325发布：2023-01-09
专利汇可以提供一种尾气处理装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型提供一种尾气处理装置，包括洗涤塔及排气装置，其中，洗涤塔通过连接管道与排气装置连接，连接管道包括第一连接管道和第二连接管道，在第一连接管道和第二连接管道之间设置一 增压 器 。采用本实用新型的尾气处理装置，结构简单，制造成本低廉，排除了尾气在因管道摩擦或排放到大气时遇雷雨天气可能产生的爆炸隐患，并且本装置的结构能产生较大的压损，保障了洗涤设备前端的压 力 及所需 风 量。，下面是一种尾气处理装置专利的具体信息内容。
一种尾气处理装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种尾气处理装置，尤其涉及一种金属有机化合物化学气相沉淀(MOCVD)的尾气处理装置。
背景技术
[0002] MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)即金属有机化合物化学气相沉淀，是生产高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。MOCVD设备排放的尾气中含有纯的H2，NH3和N2，NH3臭味很重会污染环境，H2是易燃易爆气体，目前常见的技术是经过洗涤塔洗涤后排放，洗涤塔对H2没有效果，处理后的尾气经管道摩擦或在排放到大气时遇雷雨天气都存在安全隐患，可能发生爆炸。由此可见，怎样更好的处理尾气，消除安全隐患，并且不造成环境污染，是一项亟待解决的问题。发明内容
[0003] 针对现有技术中，MOCVD尾气处理不完全的问题，本实用新型提供一种尾气处理装置。
[0004] 根据本实用新型，提供一种尾气处理装置，包括洗涤塔及排气装置，其中，洗涤塔通过连接管道与排气装置连接，连接管道包括第一连接管道和第二连接管道，在第一连接管道和第二连接管道之间设置一增压器。
[0007] 优选地，尾气处理装置的洗涤塔上具有一抽风管道。
[0009] 读者在参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式之后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，
[0010] 图1示出了依据本实用新型，尾气处理装置的结构示意图。
具体实施方式
[0011] 下面参照附图，对本实用新型的实施方式作进一步的详细描述。
[0012] 图1示出了依据本实用新型，尾气处理装置的结构示意图。参照图1，尾气处理装置包括洗涤塔20及排气装置40，洗涤塔20的一端与抽风管道10连接，另一端连接连接管道30，洗涤塔20通过连接管道30与排气装置40连接，连接管道30包括第一连接管道31和第二连接管道32，在第一连接管道31和第二连接管道32之间设置一增压器50。增压器50平行设置在洗涤塔20的下方，嵌入在连接管道30上，当增压器50风速不变时，通过调整螺杆(未绘示)与增压器50的固定位置来调整增压器与连接管道30的流通送风截面积。
排气装置40具有两抽风机41，分别与第一连接管道31和第二连接管道32对接，烟囱42设置在两抽风机41之间。抽风管道10连接室内机台，尾气经抽风管道10进入洗涤塔20，经洗涤塔20洗涤NH3和N2后的气体进入连接管道30，增压器50补充大气，与洗涤塔20出口的气体瞬间混合，稀释至少100倍，使其中的易燃易爆气体的浓度降到爆炸点以下，排除了安全隐患，并且低于环保要求，经稀释后的气体通过两抽风机41由烟囱42排出机体外。
排气装置40具有两抽风机41，分别与第一连接管道31和第二连接管道32对接，烟囱42设置在两抽风机41之间。抽风管道10连接室内机台，尾气经抽风管道10进入洗涤塔20，经洗涤塔20洗涤NH3和N2后的气体进入连接管道30，增压器50补充大气，与洗涤塔20出口的气体瞬间混合，稀释至少100倍，使其中的易燃易爆气体的浓度降到爆炸点以下，排除了安全隐患，并且低于环保要求，经稀释后的气体通过两抽风机41由烟囱42排出机体外。
[0013] 因此，藉由本实用新型的尾气处理装置，结构简单，制造成本低廉，排除了尾气在管道摩擦或排放到大气时遇雷雨天气可能产生的爆炸隐患，并且本装置的结构能够产生较大的压损，保障了洗涤设备前端的压力及所需风量。
[0014] 上文中，参照附图描述了本实用新型的具体实施方式。但是，在本领域中的普通技术人员能够理解，不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以对本实用新型的具体实施方式作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书限定的范围内。
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