一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置
阅读：1016发布：2020-12-29
专利汇可以提供一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种用于多弧离子 镀 设备弧源 磁场 控制的装置，涉及一种离子镀设备的辅助装置，其特征在于，所述装置包括炉体（1）、靶座（2）、弧源磁场控制的元件（3）；炉体（1）的下部设有靶座（2），靶座（2）上对称的设有两个通管，两个通管中间设有外部为六棱柱形状柱体，该柱体为弧源磁场控制的元件（3），柱体内部为带有内 螺纹 的通孔，该六棱柱形状柱体与炉体采用 螺纹连接 ，连接端带有 外螺纹 。该装置将原有的直圆柱形弧源磁场控制的元件制成成六棱柱形状弧源磁场控制的元件，用六边形 扳手 对 阴极 弧源磁场控制元件进行拆卸，更为方便、快捷、可靠，六棱柱形状可以方便进行拆卸。，下面是一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置专利的具体信息内容。
一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种离子镀设备的辅助装置，特别是涉及一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置。
背景技术
[0002] 目前，多弧离子镀设备通常采用直圆柱形状的阴极弧源磁场控制元件，在使用不同的合金靶材作为阴极弧源时，经常需要对阴极弧源进行调弧操作，调弧过程中有时需要拆卸阴极弧源磁场控制元件，目前拆卸工具均采用特制扳手，这种扳手一般采用铸铁材料，尖部容易脆断，且无法修复，也会对其两侧的冷却水管接头造成影响。发明内容
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，该装置将原有的直圆柱形弧源磁场控制的元件制成成六棱柱形状弧源磁场控制的元件，用六边形扳手对阴极弧源磁场控制元件进行拆卸，更为方便、快捷、可靠。
[0004] 本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：
[0005] 一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，所述装置包括炉体、靶座、弧源磁场控制的元件；炉体的下部设有靶座，靶座上对称的设有两个通管，两个通管中间设有外部为六棱柱形状柱体，该柱体为弧源磁场控制的元件，柱体内部为带有内螺纹的通孔，该六棱柱形状柱体与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。
[0006] 本实用新型的优点与效果是：
[0007] 1.本实用新型一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的装置，通过该装置用于弧源磁场控制的元件可以方便进行调弧操作。
[0008] 2.本实用新型装置内部为带有内螺纹的通孔，用于放置磁体和调整磁体位置，该元件与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。该用于弧源磁场控制的元件易于加工，外观为六棱柱形状，便于拆卸和安装。附图说明
[0009] 图1用于弧源磁场控制的元件俯视图；
[0010] 图2用于弧源磁场控制的元件主视图。
具体实施方式
[0011] 下面结合实施例对本实用新型进行详细说明。
[0012] 本实用新型一种用于多弧离子镀设备弧源磁场控制的用于放置磁体和调整磁体位置装置，该弧源磁场控制的装置外部为六棱柱形状，内部为带有内螺纹的通孔，用于放置磁体和调整磁体位置，该元件与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。实施例
[0013] 附图中的部件标号为：1为炉体，2为靶座，3为用于弧源磁场控制的元件。
[0014] 见图1和图2，装置炉体1的下部设有靶座2，靶座2上对称的设有两个通管，两个通管中间设有外部为六棱柱形状柱体，该柱体为弧源磁场控制的元件3，柱体内部为带有内螺纹的通孔，该六棱柱形状柱体与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。弧源磁场控制的元件内部为带有内螺纹的通孔，用于放置磁体和调整磁体位置，该元件与炉体采用螺纹连接，连接端带有外螺纹。该用于弧源磁场控制的元件易于加工，外观为六棱柱形状，便于拆卸和安装。
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