单晶炉中轴盖
阅读：224发布：2020-05-12
专利汇可以提供单晶炉中轴盖专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 单晶炉 中轴 盖，包括 接触 板以及设置在所述接触板上、下表面的 内圈 及提 拉环 ；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。所述接触板与所述内圈同轴设置。本发明单晶炉中轴盖使用中轴盖，在单晶炉热场清扫过程中 覆盖 在中轴管道之上，防止 氧 化物粉尘、颗粒堵塞管道。，下面是单晶炉中轴盖专利的具体信息内容。
单晶炉中轴盖
技术领域
[0001] 本发明涉及一种单晶炉工具，特别是一种单晶炉中轴盖。
背景技术
[0002] 单晶炉制取单晶晶棒过程中产生灰尘、颗粒，在炉体以及热场部件中附着，需要清理，清理过程中容易进入到炉体下部管道的波纹管中。容易导致波纹管损坏，以及影响单晶制取正常进行。
发明内容
[0004] 为解决上述技术问题，本发明单晶炉中轴盖，包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。所述接触板与所述内圈同轴设置。
[0006] 图1为本发明单晶炉中轴俯视视图；
[0007] 图2为本发明单晶炉中轴盖正视图
[0008] 图3为本发明单晶炉中轴盖使用示意图。
[0009] 本发明单晶炉中轴盖附图中附图标记说明：
[0010] 1-单晶炉 2-中轴盖 3-管道口
[0011] 4-中轴 5-接触板 6-内圈
[0012] 7-提拉环
具体实施方式
[0013] 下面结合附图对本发明单晶炉中轴盖作进一步详细说明。
[0014] 如图1～图3所示，本发明单晶炉中轴盖，包括：圆形接触板5以及设置在接触板5下表面的圆形内圈6，接触板5与内圈6同轴设置。在接触板5上表面上安装提拉环7。
接触板5的直径大于单晶炉1中轴4管道口3的内直径；内圈6的直径小于单晶炉1中轴
4管道口3的内直径。
接触板5的直径大于单晶炉1中轴4管道口3的内直径；内圈6的直径小于单晶炉1中轴
4管道口3的内直径。
[0015] 单晶炉1台制取单晶结束后，清扫炉台时，或者在其他情况需要清扫炉台时，下降中轴4至管道口3下部，中轴4下降至平齐管道口3之后，手拿提提拉环7，盖上中轴4盖2，使接触板5与管道口3后接触良好，进行正常清扫，包括单晶炉1炉内热场部件，热场部件以及炉内清扫结束后，手拿提拉环7，取出中轴4盖2。
[0016] 本发明单晶炉中轴盖使用中轴盖，在单晶炉热场清扫过程中覆盖在中轴管道之上，防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道。
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