技术领域
[0001] 本
发明涉及在单一的基板中包含多个单片的多片基板，进一步详细而言，涉及在单一的基板中使多个合格单片卡合而接合的多片基板的制造方法以及制造装置。
背景技术
[0002] 在布线基板中，具有单一的基板包含多个单片的多片基板。针对多片基板，谋求该多个单片由满足预先设定的规定的性能的合格单片构成。然而，完全排除产生包含不具有规定的性能的不良单片的多片基板是困难的。另外，即使包含一个不良单片而导致该基板中的其他合格单片废弃的情况不只是产生制造成本上的问题，在资源的有效利用上也成为问题。
[0003] 因此，在构成多片基板时将多个单片安装于
框架。由此，废弃不良单片，仅将合格单片安装于框架，由此能够提供有效利用资源并且全部单片均合格的多片基板。
[0004] 然而，在以往的方法中，在基板固定夹具上的框架上安装并固定合格单片，通过
胶带固定框架与合格单片，进一步通过
粘合剂将两者粘合而制造多片基板，其后，在使粘合剂
固化后，除去固定上述框架以及合格单片所使用的胶带，按照这样的顺序通过手工作业来进行。因此，作业效率低，从而存在难以提高生产率的问题。(参照〔
专利文献1〕)[0005] 另外，用于固定基板的夹具一般由于基板的大小、形状、孔
位置等在每种基板中不同，因此需要对每种基板制造用于基板固定的夹具。
[0006] 但是，存在为了制造用于固定基板的夹具需要大量的成本的问题。并且，有时制造用于固定适合于所要求的
精度的基板的夹具并不容易。另外，需要确保这样的夹具的保管的场所，因此也需要用于此的间接成本。
[0007] 另外，在〔专利文献6〕中，介绍了通过自动来自动修正框架与合格单片的位置关系而制造多片基板的发明，但框架与合格单片的固定是使用胶带通过手工作业进行因此非高效。另外，通过胶带将框架与合格单片部分地固定，因此进行框架与合格单片的对位，在粘贴胶带时、后续工序中，也存在框架与合格单片的位置相对偏离之类的问题。
[0008] 专利文献1：日本特开2000－252605号
[0009] 专利文献2：日本特开2002－43702号
[0010] 专利文献3：日本特开2002－289985号
[0011] 专利文献4：日本特开2003－69190号
[0012] 专利文献5：日本特开2011－23657号
[0013] 专利文献6：日本特表2005－537684号
发明内容
[0014] 因此，本发明解决上述问题点，目的在于提供一种能够高精度地自动地在框架卡合合格单片，并且其后能够高效地卡合框架与合格单片，由此能够高效地制造包含合格单片的多片基板的多片基板的制造方法以及装置。
[0015] 根据本件发明的一个特征，提供一种多片基板制造装置，其为在框架安装有多个单片的多片基板制造装置，该多片基板制造装置的特征在于，具备：作业台，其具有在
水平扩张的区域；直线
导轨，其以将该作业台的区域分开为第一作业区域和第二作业区域的方式沿第一方向延伸；单片贮藏柜，其被配置于上述第一作业区域内，保管并能供给多个合格单片；单片
输送机构，其被安装于该
直线导轨的上述第一作业区域侧，将被保管于上述单片贮藏柜的单片取出，沿着上述第一方向输送至规
定位置；固定
工作台，其在上述作业台之上，以能够在上述第一、第二作业区域移动的方式被配置，进行将上述框架和多个单片定位固定的作业；固定工作台输送机构，其对该固定工作台进行支承，使上述固定工作台沿着与上述第一方向
正交的第二方向在从上述第一作业区域至第二作业区域的范围上移动；以及点胶机，其在上述直线导轨的第二作业区域侧，沿着上述第一方向被能够移动地设置，并供给将处于上述固定工作台上的上述框架与上述单片粘合的粘合剂，
[0016] 上述单片输送装置将被保管于上述单片贮藏柜的单片取出并保持，将该单片和被配置在处于第一作业区域的固定工作台上的框架结合，使该固定工作台从第一作业区域移动至第二作业区域，使用上述点胶机，将粘合剂涂覆于上述单片和框架的结合部从而将两者的位置关系固定。
[0017] 在优选的方式中，具备：第一固定工作台、和使该第一固定工作台沿着上述第二方向在从上述第一作业区域至第二作业区域的范围上使上述第一固定工作台移动的第一固定工作台输送机构；以及与上述第一固定工作台邻接配置的第二固定工作台、和使该第二固定工作台沿着上述第二方向在从上述第一作业区域至第二作业区域的范围上使上述固定工作台移动的第二固定工作台输送机构，多片基板制造装置构成为：在上述第一作业区域进行在上述第一固定工作台上使框架与单片定位结合的作业时，在上述第二作业区域并行地进行在上述第二固定工作台上向框架与单片的结合部的粘合剂的涂覆，在第一作业区域进行在上述第二固定工作台上使框架与单片的定位结合的作业时，
[0018] 在第二作业区域并行地进行向上述第一框架与单片的结合部的粘合剂的涂覆。通过这样构成，能够更高效地制造多片基板。
[0019] 另外，根据其它方式，在一种在框架安装有多个单片的多片基板的制造方法中，使用上述的多片基板的制造装置，具备如下步骤，
[0020] 通过上述单片输送机构将被保管于上述单片贮藏柜的单片取出并保持，
[0021] 使该单片输送机构沿着上述直线导轨而沿第一方向移动从而将该单片与被配置在处于第一作业区域的固定工作台上的框架定位并结合，
[0022] 使该固定工作台从第一作业区域移动至第二作业区域，
[0023] 使用上述点胶机，将粘合剂供给上述单片与框架的结合部并将两者的位置关系固定。
[0024] 优选提供一种多片基板的制造方法，上述多片基板制造装置进一步具备：第一固定工作台、和使该第一固定工作台沿着上述第二方向在从上述第一作业区域至第二作业区域的范围上使上述第一固定工作台移动的第一固定工作台输送机构；以及与上述第一固定工作台邻接配置的第二固定工作台、和使该第二固定工作台沿着上述第二方向在从上述第一作业区域至第二作业区域的范围上使上述固定工作台移动的第二固定工作台输送机构，具备如下步骤，即、在上述第一作业区域进行在上述第一固定工作台上使框架与单片定位结合的作业时，在上述第二作业区域并行地进行在上述第二固定工作台上向框架与单片的结合部的粘合剂的涂覆，在第一作业区域进行在上述第二固定工作台上使框架与单片定位结合的作业时，在第二作业区域并行地进行向上述第一框架与单片的结合部的粘合剂的涂覆。
[0025] 根据本发明的进一步的其它的特征，其为一种在框架安装有多个单片的多片基板的制造方法，具备如下步骤，即、
[0026] 形成构成用于搭载规定的
电子部件的单一的基板的单片的步骤；
[0027] 拣选上述单片中具有满足规定的基准的好品质的合格单片与不满足该规定的基准的不良单片，仅选择合格单片的步骤；准备用于支承单片的框架，经由以在单片的侧面从该侧面突出的方式设置的桥接器使多个上述合格单片与单一的上述框架的用于收纳上述桥接器的凹部卡合的步骤；将上述框架与同该框架卡合的上述合格单片粘贴于粘接板的步骤；以及通过粘合剂将上述合格单片的桥接器与上述框架的凹部卡合的步骤。
[0028] 根据本发明，不使用用于支承多片基板的特别的夹具等，也能够容易、正确并且高效地使上述框架以及上述合格单片相互接合并固定。
[0029] 在优选的方式中，粘接板被金属板支承。
[0030] 另外，优选粘接板具有低温具有高粘着性，高温粘着性降低的特性。而且，在该情况下，将低温时与上述框架一体化的具有上述合格单片的多片基板粘贴于粘接板，高温时，从上述粘接板使上述多片基板分离。
[0031] 该情况下上述低温例如为10～30℃，上述高温为60℃左右。
[0032] 因此，本发明的多片基板的制造方法通过加热、冷却能够容易将合格的多片基板取下。
[0033] 在使多个上述合格单片与单一的上述框架的用于收纳上述桥接器的凹部卡合的步骤中，优选获得上述合格单片与上述框架的各自的位置信息，基于该位置信息控制两者的位置并使它们卡合。
[0034] 另外，获得上述合格单片与上述框架的各自的位置信息，能够以高精度将上述合格单片插入上述框架应该存在的位置。
[0035] 另外，优选进一步具备：使用拍摄用
照相机获得并保存粘贴于粘接板的上述框架以及上述多个合格单片的规定位置的位置信息的步骤。由此在其后的工序中在多片基板组装规定的电子部件中，能够提高组装的控制性的精度并且能够促进效率化。
[0036] 根据本件发明的其它的特征，提供一种多片基板的制造装置，其特征在于，具备：合格单片，其为构成用于搭载规定的电子部件的单一的基板的单片，且在上述单片的中具有满足规定的基准的好品质；框架，其用于对多个上述合格单片进行支承；
[0037] 桥接器，其被设置于上述单片的侧面，并以从该侧面突出的方式形成；
[0038] 凹部，其被设置于上述框架，以便在将上述框架与上述合格单片卡合时，与上述桥接器卡合；
[0039] 粘接板，其粘贴有将上述框架与多个上述合格单片卡合而一体化的上述框架和合格单片；以及
[0040] 点胶机，其在将上述框架与多个合格单片粘贴在上述粘接板上而定位后，供给用于将上述框架的凹部与上述合格单片的桥接器接合的粘合剂。
[0041] 进一步优选，设置有位置信息获得单元，其获得框架的规定位置以及被支承于该框架的上述合格单片的规定部位的位置信息。
[0042] 在该情况下，上述位置信息获得单元通过拍摄用照相机对上述框架以及被支承于该框架的上述合格单片进行拍摄，对由此得到的图像进行分析，从而获得上述位置信息。
[0043] 另外，优选设置有对将粘贴在粘接板上的多片基板进行支承的上述金属板固定的固定工作台、以及对该固定工作台的位置进行控制的位置控制机构。
[0044] 另外，在优选的方式中，具备把持并输送上述合格单片的臂、和使该臂移动而控制位置的臂移动机构。该情况下，上述固定工作台的上述位置控制机构优选具有对旋转位置进行控制的机构。
[0045] 另外，对臂以及上述固定工作台的位置进行控制而使上述合格单片与上述框架卡合。
[0046] 供给粘合剂的上述点胶机进一步具备对其位置进行控制的控制机构，通过进行位置控制在将上述合格单片与上述框架卡合后对上述合格单片的桥接器与上述框架的凹部的接合部供给粘合剂。
[0047] 因此，本发明中能够使上述合格单片与上述框架相对进行平面移动(XY移动)而自由地定位，从而作业效率高。
[0048] 另外，本发明的多片基板的制造装置的特征在于，上述固定工作台具备
旋转机构。
[0049] 因此，本发明的多片基板的制造装置在上述合格单片与上述框架的
角度相对偏离的情况下，通过使上述固定工作台旋转，也能够使上述合格单片与上述框架的角度相对一致而以高精度将上述合格单片插入上述框架。
[0050] 另外，本发明的多片基板的制造装置将上述框架以及上述合格单片粘贴于上述
粘度特性因
温度而变化的粘接板。
[0051] 在本发明的多片基板的制造装置中，通过对粘接板进行加热、冷却能够将合格的多片基板容易地取下。该情况下，若通过金属板对粘接板进行支承，则能够提高
温度控制的精度以及效率。
[0052] 另外，在本发明的多片基板的制造装置中，能够用拍摄用照相机从上方拍摄上述框架而获得位置信息，用拍摄用照相机从下方拍摄通过臂从上方把持的上述合格单片而获得位置信息。这样，能够进行上述框架与上述合格单片的对位。
[0053] 因此，根据本发明，获得上述合格单片与上述框架的各自的位置信息，从而能够以高精度将上述合格单片插入上述框架应该存在的位置。
[0054] 另外，根据本发明，使用点胶机自动地将粘合剂涂覆于上述合格单片与上述框架的接合部。
[0055] 另外，根据本发明，上述点胶机与上述固定工作台能够相对地进行平面移动(XY移动)，能够在所希望的位置以高精度涂覆粘合剂。
[0056] 如以上那样，根据本发明的多片基板的制造方法以及装置，能够以高精度高效地制造合格的多片基板。
附图说明
[0057] 图1是表示本发明的一
实施例所涉及的多片基板的制造装置的一部分的立体图。
[0058] 图2是表示从其它的角度观察图1的本发明的一实施例所涉及的多片基板的制造装置的一部分的立体图。
[0059] 图3是图1的局部放大图。
[0060] 图4是图2的局部放大图。
[0061] 图5是图1的图3多片基板的制造装置的固定工作台的附近的局部放大图。
[0062] 图6是合格单片的俯视图。
[0063] 图7是框架的俯视图。
[0064] 图8是表示在框架插入了合格单片的状态的俯视图。
[0065] 图9是本发明的一实施方式的多片基板的制造方法的
流程图。
[0066] 图10是简要地示出将框架粘贴于金属板的状态的立体图。
[0067] 图11是表示在固定工作台粘贴了框架的金属板的立体图。
[0068] 图12是简要地示出在
吸附状态下通过拍摄用照相机拍摄并获得单片的位置信息的状态的立体图。
[0069] 图13是表示单片的位置控制的状态的说明图。
[0070] 图14是表示通过单片输送机构使单片与框架结合的状况的说明图。
[0071] 图15是表示用于通过点胶机涂覆粘合剂的准备状态的说明图。
[0072] 图16是表示在合格单片的桥接器和与其卡合的框架的凹部的接合部分涂覆粘合剂的状况的局部放大图。
[0073] 图17是用于对两个穿梭件的工作状态进行说明的概略图。
[0074] 图18是表示在框架的一个卡合空间固定合格单片，在另一个卡合空间成为空的状态的多片基板的半成品的俯视图。
[0075] 图19是装入图18的多片基板的半成品的空的状态的卡合空间的合格单片的俯视图。
[0076] 图20是表示合格单片被装入图18的多片基板的半成品的卡合空间的状态的俯视图。
[0077] 图21是表示合格单片被装入并固定于图18的多片基板的半成品的卡合空间的状态的俯视图。
具体实施方式
[0078] 以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在用于对实施方式进行说明的全部图中，作为原则对相同部件标注相同的附图标记，省略重复的说明。
[0079] 对本件发明的代表的实施方式进行说明。图1以及图2示出用于制造将多个单片安装于框架的多片基板6的多片制造装置的整体立体图。用于制造该多片基板6的多片基板制造装置40具备具有在水平X方向以及Y方向扩张的区域的作业台41。
[0080] 另外，多片基板制造装置40以将作业台的区域分开为两个区域，即第一作业区域42和第二作业区域43的方式具有沿第一方向即X方向延伸的直线导轨13a。
[0081] 在第一作业区域42内配置有以能够供给的方式保管多个单片1的单片贮藏柜20。
[0082] 参照图3～图5示出多片基板制造装置40的局部放大图。
[0083] 图6示出本发明的实施例所涉及的单片1的俯视图。单片1是实施规定的布线而由基板构成，其后构成装入规定的电子部件的基板的部件。在本例中，多片基板6所包含的多个单片1为了正确地进行其后的电子部件的组装作业而必须正确地掌握位置信息。本发明的单片是指满足作为规定的制品的性能基准的所谓的合格单片。本例的单片1呈矩形形状，在单片1的各自的四个角部预先设定的位置标注有基准标记101a、101b、101c以及101d。基准标记获得单片1的位置信息，并为了正确地进行其位置控制而使用。并且，在单片1以用于框架2的卡合的四个从周围的侧面向外侧突出的方式设置。桥接器是具有其前端扩大的突起103a、103b、103c以及103d的构造。
[0084] 另外，图7示出本发明的一实施例所涉及的框架2的俯视图。本发明所涉及的多片基板6包括实施了规定的布线的多个单片，并装入有其后的工序中所设计的规定的
电路部件等电子部件。框架2是具有用于使多个单片1在多片基板6上定位固定的功能的构成部件。图7所示的框架2具备能够装入图6所示的两个单片1的两个空间2a以及2b。
[0085] 在本例的框架2标注分别在四个角部预先设定的基准标记100a、100b、100c以及100d。并且，在框架2分别与其内侧侧面的上述单片1的桥接器对应的位置设置有凹部104a、104b、104c以及104d，在与单片1卡合的情况下，通过使四个桥接器102a、102b、102c以及102d分别与该凹部104a、104b、104c以及104d卡合而结合。框架2的基准标记100a、
100b、100c以及100d获得框架2的位置信息，并为了正确地进行其位置控制而使用。另外，在与单片1卡合而制造多片基板6的制造的位置控制时也使用。
[0086] 图8中，将两个单片1插入框架2的空间2a以及2b，使单片1的四个桥接器102a、102b、102c以及102d分别与框架2的对应的凹部104a、104b、104c以及104d卡合由此使单片1与框架2结合而制造的多片基板6的一个例子以俯视图的形式被示出。
[0087] 在制造多片基板6的制造装置40的单片贮藏柜20安装有多个引导轴3，使单片1与引导轴3抵接并定位由此设置于规定的位置，从而进行用于多片基板6的制造作业的供给的准备。本件发明的结构中通过这样，能够将单片1配置于几乎一定的位置而设置为用于多片基板6的制造的供给用。
[0088] 另外，多片基板制造装置40具备单片输送机构21，该单片输送机构21被安装于上述直线导轨13a的上述第一作业区域42侧，并将在层叠于单片贮藏柜20的状态下被保管的单片1取出，沿着第一方向(X方向)输送至规定位置，并具备直线导轨13a、驱动
马达14a以及滚珠
丝杠15a。
[0089] 单片输送机构21利用
负压从上述单片贮藏柜20将单片1吸上来，由此将单片1从单片贮藏柜20取出而朝向固定工作台10a、10b输送。
[0090] 本例的固定工作台10a、10b在作业台41的区域中关于X方向，位于与上述的单片贮藏柜20相反的一侧，是具有用于基于规定的位置信息使多个单片1与框架2结合从而制造多片基板6的平面的工作台。
[0091] 上述单片输送机构21由直线导轨13a、驱动马达14a以及滚珠丝杠15a等构成，并构成为在单片贮藏柜20与固定工作台10a、10b之间的X方向进行直线往复运动。另外，为了从单片贮藏柜20将单片1拿起取出，具备能够向堆积单片1的贮藏柜方向(上下方向即Z方向)移动的移动机构以及单片1的固定机构。单片输送机构21将单片1通过负压吸上来固定后进行输送。本实施例中采用
真空吸附方式，但不限定于真空吸附方式。
[0092] 在该情况下，单片输送机构21具备单片拍摄部22，该单片拍摄部22具备为了读取单片1的位置信息而拍摄的拍摄用照相机12b。
[0093] 在用于拍摄单片1的单片拍摄部22为了获得单片1的位置信息而搭载有上述拍摄用照相机12b，从下方拍摄单片1的图像。另外，该单片拍摄部22根据需要为了适合于拍摄部而能够沿X方向以及Y方向移动。即通过以能够沿相互正交的方向移动的方式由两组的直线导轨13b(X方向移动)、驱动马达14b(X方向移动)以及滚珠丝杠15b(X方向移动)、15c(Y方向移动)等构成的移动机构，拍摄用照相机12b能够在可动范围内自由移动。
[0094] 另外，在本实施例所涉及的单片输送机构21为了拍摄框架2而搭载有拍摄用照相机12a，能够与单片输送机构21一体移动，从上方拍摄处于固定工作台10a、10b上的单片1以及框架2的图像，从而能够正确获得其位置信息。
[0095] 在固定工作台10a、10b形成有多个孔(未图示)，使真空
泵(未图示)与上述固定工作台10a、10b连结，由此能够在上表面吸附固定金属板4。另外，固定工作台10a、10b具备旋转移动机构，在单片1与框架2的角度相对偏离的情况下，在载置了框架2的状态下使固定工作台10仅以规定量旋转，从而能够修正单片1与框架2的角度的偏离。
[0096] 固定工作台输送机构23a、23b由直线导轨13d、13e、驱动马达14d、14e以及滚珠丝杠15d、15e等构成，能够进行单片设置位置与框架粘合剂涂覆位置之间的直线往复运动。此外，固定工作台输送机构23的移动方向以成为与单片输送机构21的移动方向正交的位置关系的方式构成。
[0097] 另外，多片基板制造装置40具备点胶机11，该点胶机11在单片输送机构21的直线导轨13a的第二作业区域侧，以能够沿着上述第一方向(X方向)移动的方式被设置，并为了在框架2与单片1之间将两者粘合而供给粘合剂44。
[0098] 点胶机11被配置在固定工作台10a、10b上，并以在以规定的位置关系定位的框架2与单片1之间的结合部固定两者的位置关系的方式涂覆粘合剂44。
[0099] 由用于供给粘合剂44的点胶机11、直线导轨13f、驱动马达14g以及滚珠丝杠(未图示)等构成，点胶机11能够沿上下方向移动。另外，在点胶机11且在支承机构搭载有拍摄用照相机12c，能够以能够获得单片1以及框架2的位置信息的方式从上方拍摄其图像。并且，通过使由其它的直线导轨13g、驱动马达14f以及滚珠丝杠15f等构成的单片1直线移动的机构，能够使单片1以朝与固定工作台输送机构23的移动方向正交的方式移动。
[0100] 另外，如上述那样多片基板制造装置40在作业台41上以能够移动的方式被配置于第一与第二作业区域42、43之间，并具备进行将框架2与多个单片1进行定位固定的作业的一对固定工作台10a、10b。而且，对固定工作台10a、10b进行支承，并设置有使上述固定工作台10a、10b沿着与上述第一方向正交的第二方向即Y方向从上述第一作业区域42涵盖第二作业区域43移动的、一对固定工作台输送机构23a、23b。固定工作台输送机构23a具有直线导轨13d、驱动马达14d以及滚珠丝杠15d，固定工作台输送机构23b具有直线导轨13e、驱动马达14e以及滚珠丝杠15e。一对固定工作台10a、10b、固定工作台输送机构23a以及23b被并列地设置，以使固定工作台10a、10b分别沿第二方向(Y方向)移动的方式平行地延伸。在本例中，将固定工作台10a与固定工作台输送机构23a称为第一穿梭件，将固定工作台10b与固定工作台输送机构23b称为第二穿梭件。在本例中，构成为在第一穿梭件与第二穿梭件的作业是大致相同的内容，但其作业的时机不同，交替进行动作。
[0101] 如上述那样在本实施方式的多片基板制造装置40中，满足规定的性能基准的单片1如上述那样在层叠状态下被保管于单片贮藏柜20。
[0102] 接下来参照图9的流程图，对本发明的装置的动作进行说明。
[0103] 在本发明的多片基板6的制造作业中，首先准备多个预先粘贴了粘接板30的金属板4。该作业需要在使多片基板制造装置40工作前进行。
[0104] 而且，首先，以上述顺序，准备预先粘贴了粘接板30的金属板4，在该粘接板30上，如图10所示安装框架2。该作业由手工作业进行。
[0105] 另外，如图11所示，将安装了框架2的金属板4设置在固定工作台10上。(S1)此外，金属板10在后面的工序中通过拍摄用照相机12a高效地进行正确读取框架2的位置的作业，因此优选配置为金属板上的框架2的位置成为相同的位置关系。在将具有粘贴了框架2的粘接板30的金属板4配置在上述固定工作台10上后，使连结于上述固定工作台10的
真空泵工作，从粘接板30的背面使负压作用而将金属板4吸附固定于固定工作台10。
[0106] 在该情况下，上述粘接板30具有能够通过温度变化来反复粘着与非粘着的温敏性。在本件发明中，粘接板的温敏性是指在低温时具有高粘着性，在高温时粘着性降低。温敏性的粘接板30能够使用新田株式会社制的Intelimer胶带等。在上述粘接板30粘贴框架时的温度是通常的室温，优选为10℃～30℃。通过使用温敏性粘接板30，能够在后面工序中使粘合剂44固化之后的温度比较高的状态下容易地将多片基板6从粘接板30剥离。在上述新田株式会社制的Intelimer胶带的情况下，在60℃以上的温度时粘着率降低90％以上。
[0107] 接下来，将在单片1内满足规定的制品基准的单片1设置于单片贮藏柜20。(S2)[0108] 另外，使单片输送机构21朝向贮藏柜20移动。而且，使基于来自输送机构21的负压的吸引
力作用于单片1的表面的吸附臂向下方移动，对单片1进行检测，通过吸附垫5从上方吸附单片1，将单片1从贮藏柜20取出。吸附单片1后，单片输送机构21向上方移动，向进行单片1的
图像处理的位置移动。
[0109] 接下来，在有关贮藏柜20与固定工作台10之间的X方向的规定的位置中通过图像处理收集单片1的位置信息。(S3)在该情况下，如图12所示通过拍摄用照相机12b从下方拍摄通过单片输送机构21吸附的单片1的预先设定的多个基准标记101a、101b、101c、101d。各个上述基准标记101a、101b、101c、101d的中心位置被存储于控制部，通过对已设定的基准标记10的X方向以及Y方向的各自的位置进行比较来计算并存储单片1的位置以及旋转角度。
[0110] 接下来，单片输送机构21移动至固定工作台10上，通过被搭载于单片输送机构21的拍摄用照相机12a从上方拍摄固定工作台10上的框架2的预先设定的多个基准标记
100a、100b、100c、100d。与单片同样，通过对已设定的基准标记100的X方向以及Y方向的各个位置进行比较来根据框架2的位置以及根据需要如图13所示对固定工作台10进行旋转控制和/或平行移动控制，对旋转角度和/或移动量进行计算而存储于控制部。(S4)。根据单片1与框架2的各自的移动量和旋转量，X方向的移动使单片输送机构21工作，Y方向的移动使固定工作台输送机构23工作，旋转角度使固定工作台10的旋转机构工作，从而高精度地进行单片1与框架2的对位。对位结束后，如图14所示，使由吸附垫5吸附的单片1向下方移动至固定工作台10的高度，被安装于固定工作台10的粘接板30后，进一步将单片1按压于粘接板30牢靠地固定于粘接板30。在这种情况下，两个单片1分别被收纳于框架2的卡合空间2a以及2b。而且，在该情况下，使单片1的四个桥接器102a、102b、102c以及102d分别与框架2的对应的凹部104a、104b、104c以及104d卡合，成为图8所示的那样的状态而将单片1与框架2结合。(S5)然后，通过将单片1或单片输送机构21的吸附垫5的负压解除，使吸附垫5从单片1离开而向上方避让。并且，通过对基于利用被搭载于单片输送机构21的拍摄用照相机12a得到的位置信息而设定的位置(例如单片1与框架
2的结合部)的单片1与框架2进行拍摄，拍摄出两者的偏离量，确认纳入规定值内(例如
50μm以内)。(S6)在为规定值内的情况下进入下一个工序，若未纳入规定值内，则该多片基板6作为不合格而被排除。
[0111] 接下来，通过固定工作台输送机构23使固定工作台10沿Y方向移动而在直线导轨13下通过从第一作业区域42向用于涂覆第二作业区域43的粘合剂44的涂覆位置移动。
[0112] 接下来，通过粘合剂涂覆部的拍摄用照相机12c在点胶机11的附近从上方拍摄在框架2或单片1中预先设定的多个基准标记100、101。上述基准标记100、101各自的中心位置被存储于控制部，对已设定的基准标记100、101的X方向以及Y方向的各自的位置进行比较，从而将基于点胶机11的涂覆的路径的移动计算并存储。(S7)
[0113] 接下来，如图15所示，使点胶机11下降至涂覆位置(多片基板6的表面附近)。并且，以涂覆预先准备的粘合剂44的位置信息等为
基础对涂覆路径进行计算，对涂覆部的移动机构、固定工作台输送机构23以及点胶机11的排出进行控制，一边以在已决定的位置，即、图16所示单片1的四个桥接器102a、102b、102c以及102d的突出部103a、103b、103c以及103d的侧部的顶面与框架2的分别与它们对应的凹部104a、104b、104c以及104d的侧部的内面之间涂覆粘合剂44的方式使点胶机11相对移动一边进行填充。(S8)
[0114] 本
申请中所说的点胶机具备针组件、电磁
阀、喷射体等，能够以非
接触状态使粘合剂高速向对象物排出，并且，粘合剂的供给量也能够被控制。
[0115] 该粘合剂44涂覆用的点胶机11能够使
用例如Nordson社制的DJ－9500等，粘合剂44能够使用环
氧树脂等。
[0116] 若涂覆结束则通过固定工作台输送机构23将固定工作台10移动至排出位置。通过切断被连结于固定工作台10的真空泵的工作，从上述固定工作台10将上述金属板4的吸附固定解除。
[0117] 载置有通过粘接板30被固定于金属板4的、涂覆了粘合剂44的多片基板6的金属板4通过干燥炉等进行热固化。将已热固化的多片基板6从金属板4剥离后，进行最终的外观检查。(S9)此外，通过使用温敏性的粘接板能够在温度比较高的状态(60℃前后)下容易地从粘接板30将多片基板6剥离，并且能够将在从粘接板30剥离时产生的多片基板6的挠曲抑制为最小限。
[0118] 对于在一个固定工作台10上配置有框架2的情况下作业顺序而言，在上述单片输送机构21将保管于上述单片贮藏柜20的单片1取出并保持的状态下，沿着直线导轨13a沿X方向移动，如上述那样获得该单片1的规定的位置信息，之后移动至处于第一作业区域42的固定工作台10上。然后，进行单片1的位置的调整并且与配置在固定工作台10上的框架2结合。而且，使该固定工作台10从第一作业区域42向第二作业区域43移动，利用上述点胶机11，将粘合剂44涂覆于上述单片1的结合部即各个桥接器102a、102b、102c以及102d与各自的框架2的对应凹部104a、104b、104c以及104d之间从而将两者的位置关系固定。
[0119] 作为本件发明的特征，图17中通过俯视图简要地示出，具备一对固定工作台10a以及10b以及使它们从第一作业区域42向第二作业区域43沿其Y方向移动的输送机构23a以及23b，由此能够同时进行本发明中单片1与框架2的结合动作、以及两者朝结合部的粘合剂44的涂覆作业。
[0120] 即，在第一步骤中，在由固定工作台10a和固定工作台输送机构23a构成的第一穿梭件中，在进行单片1与框架2的结合作业期间，由固定工作台10b和固定工作台输送机构23b构成的第二穿梭件成为待机状态。
[0121] 在第二步骤中，若第一穿梭件的固定工作台10a移动至第二作业区域43而开始粘合剂44的涂覆工序，则第二穿梭件的固定工作台10b在第一作业区域42开始单片1与框架2的结合作业。
[0122] 在第三步骤中，对于第一穿梭件而言，涂覆作业结束，多片基板6与金属板4从固定工作台10a被取下，粘贴在新的粘接板30上而将具备框架2的金属板4配置在固定工作台10a上，为了再次进行单片1与框架2的结合作业而从第二作业区域43返回至第一作业区域42。另一方面，对于第二穿梭件的固定工作台10b而言，结合作业结束，为了进行涂覆作业而移动至第二作业区域。
[0123] 而且，在第四步骤中，第一穿梭件进行结合作业，第二穿梭件进行涂覆作业。
[0124] 在第五步骤中，与第二步骤相反，对于第二穿梭件而言，涂覆作业结束，多片基板6与金属板4从固定工作台10b被取下，粘贴在新的粘接板30上而具备框架2的金属板4被配置在固定工作台10b上，为了再次进行单片1与框架2的结合作业而从第二作业区域43返回至第一作业区域42。另一方面，对于第一穿梭件的固定工作台10b而言，结合作业结束，为了涂覆作业而移动至第二作业区域。
[0125] 这样，在第一穿梭件与第二穿梭件之间使固定工作台10a、10b交替位于第一作业区域42以及第二作业区域43，以使单片1与框架2的基于单片输送机构21的结合作业和基于点胶机11的涂覆作业平行进行的方式动作，由此能够显著地提高多片基板制造的作业效率，从而能够改善多片基板的生产率。
[0126] 参照图18～图21对本件发明的其他实施例进行说明。
[0127] 本例的情况涉及，在暂时制成包括两片单片的多片基板后，根据检查的结果，一个单片满足规定的性能基准，但另一个单片不满足性能基准的状况下的多片基板的制造。
[0128] 此时，如图18所示，成为在框架2的两个空间2a以及2b中的一个空间2a固定了合格单片1a的状态，判明被固定于另一个空间2b的单片为不合格单片，由此成为从框架取下的状态。即，空间2b成为空出的状态。但是，在其后的工序中，可知若将仅搭载了一个合格单片1a的框架作为对象，则电子制品制造的作业效率降低。另一方面，若将具有合格单片1a的框架废弃，则使合格单片浪费。
[0129] 在本发明的多片基板的制造装置中，在仅构成多片基板的一个单片为合格单片的情况下也能够有效地发挥功能，能够制造具备两个合格单片的多片基板。
[0130] 在这种情况下，首先，作为第一步骤在由固定工作台10a和固定工作台输送机构23a构成的第一穿梭件中将单片1a与框架2的空间2a已经结合的状态的多片基板的半成品提供并定位在固定工作台10a上，获得其位置信息。即，通过对已设定的框架2的基准标记100的X方向以及Y方向的各自的位置进行比较来确定框架2的位置。另外，根据需要如图13所示对固定工作台10进行旋转控制和/或平行移动控制，对旋转角度和/或移动量进行计算并存储于控制部。
[0131] 另一方面，针对应该与框架2的空的状态的空间2b卡合的单片1b，单片输送机构21朝向单片贮藏柜20移动。然后，使由来自输送机构21的负压产生的吸引力作用于单片
1b的表面的吸附臂向下方移动，对单片1b进行检测，通过吸附垫5从上方吸附单片1b，将单片1从贮藏柜20取出。吸附单片1b后，单片输送机构21向上方移动，移动至进行单片
1的图像处理的位置。而且，如图12所示，通过拍摄用照相机12b从下方拍摄由单片输送机构21吸附的单片1b的多个基准标记101a、101b、101c、101d。由此，上述基准标记101a、
101b、101c、101d的各自的中心位置被存储于控制部，通过对已设定的基准标记10的X方向以及Y方向的各自的位置进行比较来对单片1b的位置以及旋转角度进行计算并存储。接下来，基于框架2与单片1b两者的位置信息，根据单片1b与框架2分别相对于框架2的卡合空间2b的移动量与旋转量，X方向的移动使单片输送机构21工作，Y方向的移动使固定工作台输送机构23工作，旋转角度使固定工作台10a的旋转机构工作，由此高精度地进行单片1b与框架2的卡合空间2b的对位。对位结束后，如图14所示，使由吸附垫5吸附的单片1b向下方移动至固定工作台10a的高度，被安装于固定工作台10a的粘接板30之后，进一步将单片1b按压于粘接板30并在粘接板30牢靠地固定。在这种情况下，单片1b被收纳于框架2的卡合空间2b。而且，在该情况下，将单片1b的四个桥接器102a、102b、102c以及102d分别与框架2的卡合空间2b的对应的凹部104a、104b、104c以及104d卡合，单片1b被精密地收纳于框架2的卡合空间2b。
[0132] 在第一步骤中，在由固定工作台10a和固定工作台输送机构23a构成的第一穿梭件中进行单片1b与框架2的空出的空间2b的结合作业期间，由固定工作台10b和固定工作台输送机构23b构成的第二穿梭件同样将一个合格单片1a与框架2的卡合空间2a卡合，在将具有框架2的空出的卡合空间2b的多片基板的半成品搭载于固定工作台10b上的状态下成为待机状态。
[0133] 在第二步骤中，在第一穿梭件上，上述第一步骤中，固定工作台10a从第一作业区域42移动至第二作业区域43，该固定工作台10a搭载了成为在上述框架2的空间2b卡合有合格单片1b的状态的多片基板的半成品。而且，在第二作业区域中，开始基于点胶机11的粘合剂44的涂覆工序。与此平行地，第二穿梭件的固定工作台10b在第一作业区域42中，使单片1b与框架2的空出的卡合空间2b卡合，开始与框架2结合的结合作业。
[0134] 在第三步骤中，第一穿梭件中粘合剂44的涂覆作业结束，多片基板6与金属板4从固定工作台10a被取下，将新的多片基板的半成品配置在固定工作台10a上，为了再次进行单片1与框架2的结合作业，从第二作业区域43返回至第一作业区域42。另一方面，第二穿梭件的固定工作台10b在上述结合作业结束，为了进行涂覆作业而移动至第二作业区域。
[0135] 而且，在第四步骤中，第一穿梭件进行结合作业，第二穿梭件进行涂覆作业。
[0136] 在第五步骤中，与第二步骤相反，对于第二穿梭件而言，涂覆作业结束，将具有双方的卡合空间2a以及2b由单片1a以及1b而固定的框架2的作为完成品的多片基板6和金属板4从固定工作台10b取下，仅卡合空间2a通过单片1a被固定，将卡合空间2b成为空的状态的多片基板的半成品配置在固定工作台10b上，为了进行用于使单片1b与框架2的空出的卡合空间2b结合的结合作业而返回第一作业区域42。另一方面，第一穿梭件的固定工作台10a在结合作业结束，为了涂覆作业而移动至第二作业区域43。
[0137] 本例的多片基板的制造工序中，在装入多片基板的单片的一个不合格的情况下也能够有效地将新的合格单片装入框架2的空出的卡合空间，从而能够高效地进行多片基板制造作业，并且能够实现作为多片基板的构成部件的框架以及单片的有效活用。
[0138] 工业上的可利用性
[0139] 如上述说明那样，本件发明能够高效地进行多片基板的制造，因此具有工业上的可利用性。
[0140] 附图标记的说明
[0141] 1...合格单片；2...框架；3...引导轴；4...金属板；5...吸附垫；10a、10b...固定工作台；11...点胶机；12a、12b、12c...拍摄用照相机；13a、13b、13d、
13e、13f、13g...直 线 导 轨；14a、14b、14d、14e、14f、14g... 驱 动 马 达；15a、15b、15c、
15d、15e...滚珠丝杠；100a、100b、100c、100d...基准标记(框架)；101a、101b、101c、
101d...基准标记(合格单片)；102...桥接器；103...突起部。
