一种高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理工艺及设备
专利汇可以提供一种高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理工艺及设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种高延低峰值超薄 铜 箔的光面微蚀处理工艺及设备，包括微蚀、 水 洗和干燥三个步骤，微蚀是将载体超薄铜箔浸入微蚀槽中进行表面 电沉积 微蚀，微蚀槽的左侧和干燥槽的右侧均设有侧 支架 ，两个侧支架之间跨设安装有 横杆 ，横杆上安装有横向驱动机构，横向驱动机构的下侧安装有伸缩装置，伸缩装置的下端安装有能够对载体超博铜箔进行夹取的电动夹具。本发明提高了微蚀效果，增进了超薄铜箔的 稳定性 ，生产过程更为绿色环保。，下面是一种高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理工艺及设备专利的具体信息内容。
1.一种高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理工艺，其特征在于，包括微蚀、水洗和干燥三个步骤，所述的微蚀是将载体超薄铜箔（6）浸入微蚀槽（8）中进行表面电沉积微蚀，微蚀槽（8）中是温度为50℃，电流密度为0.8A/dm2的复合电镀液，所述的复合电镀液是由锌、铝、锡三种金属离子与氢氧化钠、柠檬酸钠、盐酸多巴胺复配而成，温度为50-60℃，电流密度为
0.8-1.2A/dm2，溶液中各组成的浓度为：锌离子12g/L、铝离子6g/L、锡6g/L，氢氧化钠25g/L，柠檬酸钠4g/L，盐酸多巴胺3g/L。
2.一种高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理设备，包括微蚀槽（8）、水洗槽（11）和干燥槽（16），其特征在于，所述微蚀槽（8）的左侧和干燥槽（16）的右侧均设有侧支架（1），两个侧支架（1）之间跨设安装有横杆（2），所述横杆（2）上安装有横向驱动机构（3），横向驱动机构（3）由其内的伺服电机驱动沿着横杆（2）移动，所述横向驱动机构（3）的下侧安装有伸缩装置（4），伸缩装置（4）的下端安装有能够对载体超博铜箔（6）进行夹取的电动夹具（5），所述微蚀槽（8）的内底部安装有加热器（9），微蚀槽（8）内盛放有复合电镀液，微蚀槽（8）的内侧壁上还分别设有温度探测器（7）和电流密度探测器（10），所述水洗槽（11）的内侧设有水洗环管（13），水洗环管（13）的外侧与水洗槽（11）内壁固定连接，水洗环管（13）的内侧安装有若干喷水头（15），所述水洗环管（13）的下侧还设有清水管（12），清水管（12）从水洗槽（11）的底部伸出，所述干燥槽（16）的内侧设有干燥环管（18），干燥环管（18）的外侧与干燥槽（16）内壁固定连接，干燥环管（18）的内侧安装有若干喷气头（19），所述干燥环管（18）的下侧还设有热风管（17），热风管（17）从干燥槽（16）的底部伸出。
3.根据权利要求2所述的高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理设备，其特征在于，所述微蚀槽（8）、水洗槽（11）和干燥槽（16）均为上开口结构，微蚀槽（8）、水洗槽（11）和干燥槽（16）依次排布设置，且微蚀槽（8）和水洗槽（11）之间固定连接，水洗槽（11）和干燥槽（16）之间固定连接。
4.根据权利要求3所述的高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理设备，其特征在于，所述水洗槽（11）的底部还设有带阀门的排水管（14）。
一种高延低峰值超薄铜箔的光面微蚀处理工艺及设备
技术领域
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发明内容
具体实施方式
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