专利汇可以提供一种低磨损的自感知复合微结构制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及精密加工技术和 薄膜 传感器 领域,具体涉及一种低磨损的自 感知 复合微结构制备方法。首先在结构部件(1)表面加工槽状结构(2),在槽状结构底部制备薄膜传感器(3),形成复合微结构单元;复合微结构单元以单独或阵列排列方式制备到结构部件(1)表面,形成减摩抗磨的自感知复合微结构。本发明的一种低磨损的自感知复合微结构制备方法,可以直接制备到结构部件表面,实现自身工作状态的实时监测,同时能够改善目前薄膜传感器工程化应用不耐磨的问题,使结构部件具备工作状态自感知能 力 ,达到小型化、轻量化、智能化、集成化的目的,并提高工程化应用 水 平,所述减摩抗磨性能为 摩擦系数 和磨损率相对原表面降低10%以上。,下面是一种低磨损的自感知复合微结构制备方法专利的具体信息内容。
1.一种低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,首先在结构部件(1)表面加工槽状结构(2),在槽状结构底部制备薄膜传感器(3),形成复合微结构单元;复合微结构单元以单独或阵列排列方式制备到结构部件(1)表面,形成减摩抗磨的自感知复合微结构。
2.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述结构部件(1)为轴类、叶片、轴承、蒙皮中的一种。
3.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述槽状结构(2)的横截面形状为矩形、半圆形、三角形中的一种,槽状结构的宽度为0.01μm~100μm,深度为0.01μm~100μm。
4.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述槽状结构(2)的制备方法可以是车削、铣削、激光加工、刻蚀中的一种或几种。
5.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述薄膜传感器(3)为单层膜或多层膜复合,总厚度为0.01μm~100μm。
6.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述薄膜传感器(3)的制备方法可以是喷涂、离子溅射、刻蚀中的一种或几种。
7.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述排列方式为网格型、波浪型、折线型中的一种或几种。
8.如权利要求1所述的低磨损的自感知复合微结构制备方法,其特征在于,所述自感知复合微结构为可检测结构部件自身的工作状态,可以是结构部件的位移、温度、应变等信号中的一种或几种。
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