滑阀
专利汇可以提供滑阀专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种特别用于涂布设备的滑 阀 ，用来流性地分离通过一开口相互连接的两个模 块 或仓室，该 滑阀 包括在所述开口穿过的壳体内被结合的至少一个 滑板 ，该滑板可在释放开口的停止 位置 和完全 覆盖 开口的工作位置之间被双向地移动，并且至少一个关闭 驱动器 可被启动以在滑板的工作位置对滑板发生作用，从而在一闭合位置内获得相对于穿过所述壳体的一个密封表面的密封 接触 ，根据本 发明 ，至少一个所述的关闭驱动器相对于所述滑板的驱动运动被牢固地附在壳体的内部。，下面是滑阀专利的具体信息内容。
1.一种用于分离两接续的模块(1，2)或仓室的滑阀(5)，具有可被独立 调节的不同的压力水平，其中所述模块适用于涂布装置，所述滑阀包括：
壳体；
穿过壳体的开口，该壳体的开口具有横截面积和周界；
滑板，该滑板设于所述壳体的内部且其表面积大于所述壳体的开口 的横截面积，所述滑板具有第一侧和第二侧并且可在完全打开壳体的开 口的停止位置和完全覆盖壳体的开口的工作位置之间双向地移动；
第一密封表面，该第一密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第一侧；
第二密封表面，该第二密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第二侧；
第一关闭驱动器，该第一关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第一密封表面和所述壳体的开口之间，该第一关闭驱动器在所述工作 位置与所述滑板的第一表面工作连接，其中，所述滑板的第二表面被压 抵在所述第二密封表面；
第二关闭驱动器，该第二关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第二密封表面和所述壳体的开口之间，该第二关闭驱动器在所述工作 位置与所述滑板的第二表面工作连接，其中，所述滑板的第一表面被压 抵在所述第一密封表面；
其中，所述第一关闭驱动器和第二关闭驱动器同时协调工作或者彼 此独立工作。
2.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，所述滑板(7)包括光滑 和纤细的板件。
3.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，所述壳体(6)包括至少 两部分，该两部分之间形成用于所述滑板(7)的导向槽(6S)，其中所述导 向槽(6S)与所述壳体的开口的纵向轴线成直角，并且所述导向槽(6S)进一 步包括在所述停止位置足以接收所述滑板(7)的扩展部以及在所述工作位 置足以接收所述滑板(7)的延伸部。
4.如权利要求3所述的滑阀，其特征在于，在组装位置，定位于 所述壳体的开口的下面的导向槽(6S)的一部分被一唇形密封件(12)覆盖， 该唇形密封件允许所述滑板(7)进入。
5.如权利要求3所述的滑阀，其特征在于，用于所述滑板(7)的每 个关闭驱动器和每个密封表面被布置或嵌埋于导向槽(6S)的壁内。
6.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，每个关闭驱动器都可 被流体压力所驱动，并包括至少一个由压力连接的密闭的仓室，所述仓 室具有至少一个可移动的壁。
7.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，所述关闭驱动器进一 步包括不同的沿所述壳体的开口周界均匀布置的各个起动器单元。
8.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，关闭驱动器进一步包 括一单独的周向闭合且绕所述壳体的开口延伸的起动器。
9.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，所述密闭表面设有圆 环形密封件，所述滑板(7)可通过所述关闭驱动器(8，10)被压在圆环形密封 件上。
10.如权利要求9所述的滑阀，其特征在于，所述圆环形密封件和 所述关闭驱动器可沿围绕所述壳体的开口边界的平行路线布置。
11.如权利要求6所述的滑阀，其特征在于，所述的关闭驱动器的 活动壁受到压力时可直接作用于所述滑板(7)。
12.如权利要求1所述的滑阀，其具有至少一个起动器(7A)，以用 于调节所述滑板(7)的停止和工作位置。
13.如权利要求12所述的滑阀，其特征在于，所述滑阀的滑板(7) 可移动地连接所述至少一个起动器(7A)并且可在调节方向上运动，其中， 所述调节方向由一条直线来定义，该直线垂直于由所述滑板定义的平面。
14.一种处理设备，包括通过一通道开口(4)相互连接的至少两个临 近的模块(1，2)和至少一滑阀(5)，该滑阀(5)被设置以关闭通道开口(4)，该 滑阀包括：
壳体；
穿过壳体的开口，该壳体的开口具有横截面积和周界；
滑板，该滑板设于所述壳体的内部且其表面积大于所述壳体的开口 的横截面积，所述滑板具有第一侧和第二侧并且可在完全打开壳体的开 口的停止位置和完全覆盖壳体的开口的工作位置之间双向地移动；
第一密封表面，该第一密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第一侧；
第二密封表面，该第二密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第二侧；
第一关闭驱动器，该第一关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第一密封表面和所述壳体的开口之间，该第一关闭驱动器在所述工作 位置与所述滑板的第一表面工作连接，其中，所述滑板的第二表面被压 抵在所述第二密封表面；
第二关闭驱动器，该第二关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第二密封表面和所述壳体的开口之间，该第二关闭驱动器在所述工作 位置与所述滑板的第二表面工作连接，其中，所述滑板的第一表面被压 抵在所述第一密封表面；
其中，所述第一关闭驱动器和第二关闭驱动器同时协调工作或者彼 此独立工作。
15.如权利要求14所述的设备，其特征在于，所述滑阀(5)的壳体 (6)可附在相邻模块(1，2)之一的内壁上。
16.如权利要求14所述的设备，其特征在于，所述滑阀的所述壳 体(6)可附在所述两相邻模块间的一槽体内。
17.如权利要求1所述的滑阀，其特征在于，所述滑板以下垂的方 式被悬挂，并且该滑板可在由一条直线所定义的方向上运动，该直线垂 直于由所述滑板定义的平面。
18.如权利要求3所述的滑阀，其特征在于，所述两部分通过螺纹 连接在一起。
19.如权利要求12所述的滑阀，其特征在于，所述起动器运动为 平动。
20.如权利要求14所述的滑阀，其特征在于，所述加工包括对通 过所述通道开口的底板进行涂布。
技术领域
背景技术
相应地，需要在一定时间间隔内将成捆或成片卷起的带状基板或者 薄片引入涂布装置中，所述带状底板放置在一支撑轴上，从而在通过涂 布装置的通道中它们从卷起的状态被展开。
在镀膜室的下游可设有(foreseen)具有一收丝轮的另一根轴，而覆 层的带状基板再次被包在所述轴上。
放置在辊轮上的刚性基板被连续地在装载站和卸载站之间传送，轮 流给装载站和卸载站规律地通风。
此种连续的涂布装置基本上可被细分为多个模块(装载、涂布和卸载 模块)，这些模块可依靠开口有顺序地布置并相互连接，基板可经由开口 被导入后续的模块。例如为了交换一个喷雾阴极或者完成其他维护工作， 可能需要淹没仅仅一个涂布模块，而邻近的模块可保持它们当前的压力 水平。
因此，可在不同的模块之间安装可逆闸阀。由于只有单个站处于通 风状态而另一个站保持真空条件，因此在对单元模块进行真空操作之后 将被排空的体积会明显地减小。明显地，为满足需要，整个装置都可以 被通风。
因此，这些阀门不必以一种可逆的形式(也就是双向地)连续地工 作，但是最终只须在负载或者装置不工作的其他条件改变时被使用或者 启动，在这种情况下须密封大气压和真空之间形成的已有压差。这些阀 门的安装位置强制性地直接位于基板运输系统的区域内。对于玻璃涂布 装置，这些运输系统被建成具有明确的辊距的多个辊轴部分。由于客户 的要求不断提高，例如要求具有越来越小的基板尺寸以及更快的通行速 度，这就需要交互地缩短不同运输辊轮之间的距离。由于分离器或闸阀 必须安装在两个辊轮运输器之间，一个辊轮运输器被设置在一个模块上 (上游)，而后续的辊轮运输器被设置在另一模块中(下游)，因此这就需要 一个非常狭窄的分离器或闸阀。
记载了此特征的文件DE19857201A1描述了一种用于同时阻塞或释 放两个相互对齐的通道开口的平面闸阀，所述开口可设置于两真空室之 间，所述真空室的高度较小而宽度较大。该闸阀被设计用于大型玻璃的 连续涂布装置。
为实现关闭开口的目的，可设置两相对的阀门或滑板。它们形成一 构造单元，该单元通过第一起动器在停止位置(开口在该位置不被阻塞) 和工作位置之间沿平移方向往复运动。在工作位置，滑板位于被它们完 全覆盖的开口之间。
在两个滑板之间，可设置一附加的流体短冲程关闭(气动)系统，所述 滑板在停止位置处以弹性方式相互挤压而且开始时以及在密封条件下的 工作位置处没有打开这些开口当滑板被移到它们的工作位置之后，所述 关闭系统被施加压力，张开两滑板直至它们的关闭位置，靠在指定的密 封件上同时被撑起以围住该开口，因此所述开口被紧紧地阻塞。通过相 对的阀板可抵消关闭系统的反作用力。
为了打开所述阀门，可取消起动器的增压；为了加强反作用于所述 滑板的摩尔力，所述起动器可额外地被施加反方向的负压。在这种公知 的阀门中，可将弹性密封圈引入滑板的槽体内。
US-PS4,157,169公开了另外一种基本上非常类似上述单元的闸阀， 这种闸阀被设计用于开启和关闭两圆形通道开口。此处并未设有软密封 圈，但是具有软金属形式的阀座在开口的边界上可进行支撑，而设在滑 板上的也由软金属制成的密封圈与阀座相对应。
通过采用这两种技术方案，滑板的流体关闭机构和因此产生的它们 的供给线路必须可逆地在停止位置和工作位置之间移动，并且在反向操 作程序中也是一样。结果是，可移动的滑动件相对复杂且价格较高。
DE 44 46 946 C1描述了另外一种类似的具有一阀盘的滑阀，其具有 简单板件的形式并可在停止位置和工作位置之间滑动。此文件未提供关 于该阀盘对其阀座的密封压力和所用密封件结构形式的指示。另外，由 于只在滑板的一侧上设有一阀座，因此该阀门仅具有一个作用方向。
发明内容
根据本发明，提供了一种用于分离两接续的模块或仓室的滑阀，具 有可被独立调节的不同的压力水平，其中所述模块适用于涂布装置，所 述滑阀包括：
壳体；
穿过壳体的开口，该开口具有横截面积和周界；
滑板，该滑板设于所述壳体的内部且其表面积大于所述开口的横截 面积，所述滑板具有第一侧和第二侧并且可在完全打开开口的停止位置 和完全覆盖开口的工作位置之间双向地移动；
第一密封表面，该第一密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第一侧；
第二密封表面，该第二密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第二侧；
第一关闭驱动器，该第一关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第一密封表面和所述开口之间，该第一关闭驱动器在所述工作位置与 所述滑板的第一表面工作连接，其中，所述滑板的第二表面被压抵在所 述第二密封表面；
第二关闭驱动器，该第二关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第二密封表面和所述开口之间，该第二关闭驱动器在所述工作位置与 所述滑板的第二表面工作连接，其中，所述滑板的第一表面被压抵在所 述第一密封表面；
其中，所述第一关闭驱动器和第二关闭驱动器同时协调工作或者彼 此独立工作。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述滑板包括光滑和纤细的板件。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述壳体包括至少两部分，该两部 分之间形成用于所述滑板的导向槽，其中所述导向槽与所述开口的纵向 轴线成直角，并且所述导向槽进一步包括在所述停止位置足以接收所述 滑板的扩展部以及在所述工作位置足以接收所述滑板的延伸部。
根据上述滑阀的一个实施方案，在组装位置，定位于所述开口的下 面的导向槽的一部分被一唇形密封件覆盖，该唇形密封件允许所述滑板 进入。
根据上述滑阀的一个实施方案，用于所述滑板的每个关闭驱动器和 每个密封表面被布置或嵌埋于导向槽的壁内。
根据上述滑阀的一个实施方案，每个关闭驱动器都可被流体压力所 驱动，并包括至少一个由压力连接的密闭的仓室，所述仓室具有至少一 个可移动的壁。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述关闭驱动器进一步包括不同的 沿所述开口周界均匀布置的各个起动器单元。
根据上述滑阀的一个实施方案，关闭驱动器进一步包括一单独的周 向闭合且绕所述开口延伸的起动器。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述密闭表面设有圆环形密封件， 所述滑板可通过所述关闭驱动器被压在圆环形密封件上。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述圆环形密封件和所述关闭驱动 器可沿围绕所述开口边界的平行路线布置。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述的关闭驱动器的活动壁受到压 力时可直接作用于所述滑板。
根据上述滑阀的一个实施方案，其具有至少一个起动器，以用于调 节所述滑板的停止和工作位置。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述滑阀的滑板可移动地连接所述 至少一个起动器并且可在调节方向上运动，其中，所述调节方向由一条 直线来定义，该直线垂直于由所述滑板定义的平面。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述滑板以下垂的方式被悬挂，并 且该滑板可在由一条直线所定义的方向上运动，该直线垂直于由所述滑 板定义的平面。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述两部分通过螺纹连接在一起。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述起动器运动为平动。
根据上述滑阀的一个实施方案，所述加工包括对通过所述通道开口 的底板进行涂布。
本发明另外提供了一种处理设备，包括通过一通道开口相互连接的 至少两个临近的模块和至少一滑阀，该滑阀被设置以关闭开口，该滑阀 包括：
壳体；
穿过壳体的开口，该开口具有横截面积和周界；
滑板，该滑板设于所述壳体的内部且其表面积大于所述开口的横截 面积，所述滑板具有第一侧和第二侧并且可在完全打开开口的停止位置 和完全覆盖开口的工作位置之间双向地移动；
第一密封表面，该第一密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第一侧；
第二密封表面，该第二密封表面结合在所述壳体内部，以配合所述 滑板的第二侧；
第一关闭驱动器，该第一关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第一密封表面和所述开口之间，该第一关闭驱动器在所述工作位置与 所述滑板的第一表面工作连接，其中，所述滑板的第二表面被压抵在所 述第二密封表面；
第二关闭驱动器，该第二关闭驱动器结合在所述壳体内部并设在所 述第二密封表面和所述开口之间，该第二关闭驱动器在所述工作位置与 所述滑板的第二表面工作连接，其中，所述滑板的第一表面被压抵在所 述第一密封表面；
其中，所述第一关闭驱动器和第二关闭驱动器同时协调工作或者彼 此独立工作。
根据上述设备的一个实施方案，所述滑阀的壳体可附在相邻模块之 一的内壁上。
根据上述设备的一个实施方案，所述滑阀的所述壳体可附在所述两 相邻模块间的一槽体内。
本发明描述了一种阀门，该阀门被优选地用作一种维护阀门或者一 种具有降低的循环射速的阀门，也就是说，阀门无须被过于频繁地启动。 它的构造类似于具有非常平的构造(最大50mm)的、两侧真空密封的滑 阀。根据它的工作原理，具有长裂缝形式的开口可被可靠地密封。该阀 门也处于可抵消开口的外延皱曲(rugosities)的条件下，其中所述开口 可被关闭且被构造成具有其滑板结构的高度灵活的形式。
借助于本发明的阀门，优选通过一个位于将要关闭的开口前方的随 机的外部供电的起动器，将壳体内的一简单的板体从一停止位置移到其 工作位置。基本上，在停止和工作位置之间手动反向移动滑板也是可行 的，并且除了用于紧急情况的已有起动器之外，可以考虑这种选择。
为了关闭此开口，借助于作为壳体一部分的关闭机构，所述滑板可 被压向设有相应密封表面的壳体壁。
因此，关闭系统的反作用力可有利地直接在固体壳体的内部被抵消。
本发明阀门的关闭运动，也就是说，它的滑板的关闭运动在一定角 度的方向上进行，优选在与其滑板的停止位置和工作位置之间的启动运 动呈直角的方向上进行。
如背景技术中所述，在起动器和有效的关闭机构之间依靠本发明的 滑阀可形成一压差。
在一特别优选的实施例中，本发明的滑阀被制成与两关闭机构和两 密封表面镜像对称，从而它可以占据两个不同的关闭位置。根据本发明 的优选实施例，依据压差的方向，所述滑阀可一直被有选择的关闭，从 而在一侧的较高的压力额外地加强了密封作用。
滑板以一种松垂的形式在密封方向上被悬吊，并且因此在停止位置 和工作位置间的调节操作过程中基本上没有摩擦力；这减小了或者也避 免了密封表面的磨损或者撕裂。然而“松垂”这种表达方式并未暗示在 较长路线或冲程的活动性之内。相反，在停止位置和工作位置之间的一 横向调节位置，滑板具有一特定的更低水平的自由度，这可被有效地认 为是一个有限的侧隙。为了实现滑阀的可靠功能，它要足够有力地移动， 也就是说将滑板从它的操作位置偏移仅十分之几毫米进入它相应的密封 位置。
优选地，关闭系统可被流体压力启动，也就是说，它们包括至少一 个具有压力连接的由至少一个可移动的壁构成的密闭室。虽然并不是绝 对需要这些关闭机构遍布整个开口，但是基本上一个开口要设置一个被 细分为单个调节机构的各个节段(与背景技术中形成这种装置的描述类 似)的关闭机构。对于本实施例，尽管从功能性的观点来说不是绝对需 要的，但是很明显，不同的推进构件优选被统一布置在沿着将要被关闭 的开口的外围部分。
密封件具有类似于一环件以及类似于关闭系统的一种轮胎管件密闭 的形式是特别优选的，由于在这种形式中，作为附加密封件，它也可以 被支撑在具有光滑壁的滑板上，从而避免例如(不希望得到的)涂层颗粒 (也叫作不粘附喷涂物)在多个真实密封圈上的应用，所有源自真空室的 路径都可到达开口和阀门。
优选地，关闭系统和相应的密封件(这些可被有利地加工成置入槽体 内的圆形软线(round-cords)及其类似形式的环形密封件)可被安装在围绕 将被关闭的开口的同心路径内，并且关闭机构可被设置在由这些密封件 包围的区域的外部或内部。
在第二个所提及的布置中，如已经指出的，该关闭机构较大程度地 使密封圈避免于出现不希望的沉积物。
作为一个整体，具有简单而光滑的滑板的这个实施例提供了相当多 的优点，即借助滑板的特定的挠性可抵消密封表面的长波状皱曲，其中 所述滑板被大范围地应用并且它包括将要关闭的开口的全部圆周，从而 甚至由于测量、或表面偏差、或者螺丝的不均衡的张紧度等引起的密封 座小的扭曲都不能强行使本发明的滑阀发生渗漏。特别地，也可安全地 密封较大的具有不同米制宽度的槽形开口，例如，在反抗真空和大气压 间的压差的情况下，这些开口在用于宽度大于3米的玻璃板的连续涂布 装置中是公知的和需要的。
也可以想象一种具有两个关闭机构同时驱动的(外围闭合的)本发明 的滑阀的操作模式，且每个关闭系统均包括一个具有推进装置和密封表 面的组合。因为须不断考虑由涂布过程导致的、在关闭结构上(不希望 的)沉积的可能性，其中长期的沉积可对密封性能产生不良影响，所以 丢弃分离的密封圈是不可能的。
本发明之目的的其他细节和优点可从以一个具体实施例为特征的附 图和接下来具体的描述中看出。
附图说明
图1示意性地示出了通过位于滑板的工作位置处的本发明滑阀的沿 某切线的剖视图；
图2示出了滑板在停止位置的沿相同切线的剖视图。
具体实施方式
在两模块1和2之间可设有一竖直朝向附图中的运输平面的开口4， 该开口4可明显具有比现在的可见高度更大的尺寸，也就是说，它们被 认为具有一种类似槽的形式，但是，作为一个整体，它们被加工成具有 尽可能最小的横截面。在优选的实施应用的情况下，该开口须足够大以 使大于3米宽的光滑的玻璃板通过。
两模块可在开口4的区域内被识别，它们相当稳固且相互结合得相 当紧密，以避免任何可能形成的间接流。当通过将要描述的滑阀关闭该 开口4时，且当例如模块2为真空状态时，模块1正被通风。
滑阀5开始时包括具有两壳体部分6.1和6.2的一壳体6。可以理解 的是，壳体6尤其被密封地相当好，且由不同结构的构件构成。可以识 别的是，例如，一个密封环6D位于两壳体部分6.1和6.2之间的槽内， 另一密封环6D位于壳体6.2和过渡壁之间的槽内，壳体6被安装在过渡 壁上的开口4的区域内。
开口4完全贯穿壳体6，也就是说，壳体6具有一通道，而该通道 形成一个具有不变的自由截面的所述开口4的延伸。
可以认识到，与开始提到的本领域的情况相反，此滑阀无需安装在 两模块1和2之间，但是它的壳体6可在模块1的壁的一侧上被旋拧。 从而，可对两模块之间的距离进行一定地减小。以相同的方式，明显根 据设备和构造空间的类型，当阀门通道将被定位于此处直接相互连接的 模块的两开口之间时，可将本发明的滑阀也安装到两模块之间的槽、中 间区域或过渡区内。
两壳体部分6.1和6.2之间形成一导向槽6S，滑阀7以具有减小的 侧隙的松垂形式被组装于该导向槽6S内，也就是说，在朝向其主区域的 法线方向上可以被看到。它被悬挂在一个平移的起动器7A(未具体示出) 上。
此处未具体示出的附属于所述驱动单元的起动器构件与滑板7充分 地联合，以实现它的横向偏转。起动器7A和滑板7之间的连接贯穿所 述的壳体6。仅在起动器7A应当被设置在模块1外部(也就是在可能被 排空的体积的外侧)的情况下才需要在该点采用特殊密封措施。
该(竖直的)导向槽6S沿着与结合于该处的滑板相同的路径、在开 口4的横向的(水平的)轴线上、沿着运输板两侧分节地延伸。它的实 质的纵向部分定位于运输板T的上方，但是一较短的节也被设在下方。
在导向槽6S的内侧，滑板7可在停止位置(见图2)和此处所示的 工作或者关闭位置之间被双向调节，在静止位置，开口4被完全打开且 基板可通过，而在工作或者关闭位置，滑板7完全覆盖所述槽状开口4。
在静止位置，滑板7被完全结合进入导向槽6S的上部，而在工作位 置，它的较低的边缘如刀刃般刺入导向槽6S的较低的节段，而其上部仍 然保留在它上部的节段内。滑板7实质上覆盖开口4边界的所有区域。
借助于起动器7A，滑板7在开始时自由地产生双向的，即可逆的运 动，且在导向槽6S内部不会有非常困难的位移，也就是说所产生的摩擦 力可被忽略掉。因此，起动器7A无须被施加极高的调节力。该起动器 7A可以是一气动的或者液压的千斤顶，一齿轮齿条起动器或者电磁线性 引擎。它不必覆盖较大的冲程(几厘米)，而应处在这样一种条件下，即 仅在朝向它的工作位置的相对表面的运动中移动所述密封板。
然而它与滑板的连接需要具有如已经提到的某种程度的弹性或关联 性，由于现将描述的滑板7必须也被允许向着起动器7A的调节方向垂 直地移动(尽管只有一些减小的冲程)。此处可提供一叉状部件，例如设 在起动器7A的调节构件的末端，且它的两侧部通过一个、两个或者多 个轴相互连接，滑板7以所需的形式可移动地悬在该轴上。
应当注意的是，起动器7A代表各种类似的被同步指令的起动器， 这些起动器将在需要时被使用，此时，滑板7自身垂直地朝向附图平面 延伸，最终覆盖各种米制长度。
壳体6.1的左半部分设有第一关闭机构8。该机构优选被制成一膨胀 密封件，并被引入壳体壁圆周的环槽内，该密封件在周向上可罩在开口 4的整个圆周上。一环状密封件9被设置且其功能地对应于此关闭推进 件8，该密封件9也被插入到一环状槽内并且它也可完全罩住开口4。
准确地相对于(相对于导向槽6S和滑板7的中间面)所述关闭机构 8，在所示的实施例中，在壳体部分6.2的相对的壁内，插入与关闭机构 8形式相同的第二关闭机构10。第二关闭机构10被定位于由环形密封件 9所限制的区域内。
一环形密封件11功能地对应于关闭机构10，它也准确地在环形密 封件9相对的方向上被插入壳体部分6.1的壁内，并且它可在周向上罩 住关闭机构8。
事实上，是否将关闭机构8和10布置在由密封环9限定的区域之内 或者区域之外要视实施例而定。在上一种情况下，关闭机构于密闭的一 侧被保护以免受真空的影响。在第一种情况下，关闭机构可保护定位于 同侧的密封环以避免其出现不粘附喷涂物。
已经指出，不必强制性要求将关闭机构8和/或10制成类似于管式 轮胎状的均匀的圆周室。尤其是也可考虑提供仅作为位于开口两侧上的 两平行、较长并且延伸的节段的关闭机构，而不是以一圆周的形式设置 它们。这也将基本保证保护密封环以避免出现不粘附喷涂物。
另外，多个独立的仓室可沿密封表面的圆周均匀分布，这些表面明 显地流线状地相互连通并且须被同步地暴露于压力下。这个实施例具有 其自身的优点，即使设备的其他功能构件须被组装到相应的部分上，这 些构件无法与瞬变的关闭机构相兼容。
滑阀的截面表示没有必要提供与此处所示不同的图示，这些变化的 布置也要视交叉线的位置而定。
从本发明的上下文可以想到的是，当滑板须被置于仅沿一个方向上 的一个密封位置内时，只能设置一个关闭驱动器。
此处所述的关闭驱动器8和10的圆周构件可提供以下优点：借助它 外部的适当构造，它们被支撑作为滑板7光滑表面的第二密封件，因此， 只要它们的内部区域受压，就可相应地加强密封件9和11的密封作用。
在运输面T的下方，在开口4和导向槽6S的区域内，壳体内部可互 换地附有一由永久弹性材料制成的带体12。它可关闭位于运输平面下的 导向槽6S的部分，并且避免微粒穿入导向槽6S的下部。它被制成分体 式以作为一个唇形密封件，一旦它进入工作位置，它允许滑板7自由穿 过。
应当理解，密封环9和11以及关闭驱动器8和10以这样的一种程 度被引到相应的壳体壁，也就是说，最终通过暴露于负压而被引入其中， 从而在静止位置和工作位置之间的反向运动过程中可避免损害或仅仅避 免由于与滑板7接触而引起的摩擦。
另外，当关闭驱动器8和10中的一个受压时，借助于适当的保护措 施可理所当然地避免启动起动器7A。由于存在较强的压力，在关闭驱动 器8或10被激发的条件下仅仅通过手工驱动滑板7是无论如何都不可能 的。
可以理解的是，与壳体构件6.1和6.2的厚度相比，滑板7可被制成 相当纤细且质量较轻的形式。借助于由关闭驱动器8和10产生的关闭力 的可能的均匀分布，滑板7能够将其自身准确相应地调整到密封环9和 11的路线内，即使当这些能够证明从理想的密封面发生小的长波型偏移 时。
正常情况下，当将要相互分离(仍然或者再次)的两模块内的压力 相等时，也就是说，例如在两侧施加气压或者真空时，滑板7将会被起 动器7A驱动。
一旦它的工作位置已经被获得(它的较低的边缘位于导向槽6S的下 部的下方)，那么根据仍然将要被终止(仍然将被形成)的压差(例如在模 块2内的真空，模块1内的气压，或者反之亦然)的方向，当优选地未 处于较低压力水平的关闭机构被启动时，驱动器8或10被供给/受到内 部压力。
如果例如在滑阀5的关闭位置向模块2内施加真空，(左)关闭机构 8将会被启动。由于它产生的横向管状部分的膨胀，滑板7将受到压力， 压在(右侧的)环状密封件9上。
如果另一方面，在滑阀6的关闭位置，模块1内的压力将变得小于 模块2内的压力，那么(右侧的)关闭驱动器10将被驱动，从而可以对 滑板7活动地施加压力，压在(左侧的)环状密封件11上。
借助此种措施，可避免具有过大压差(抵抗真空的内压)的关闭驱 动器8和10的易曲的凸出表面的负载。
明显地，由于滑板7的一侧上较高的压力在环状密封件9和11上施 加一更强的压力，所以在模块1和2之间逐渐形成压差的关闭驱动器8 和10的压力也被额外加强。
而且，可以理解，关闭驱动器8和10是高效的阀门驱动器，其可确 保密封功能。起动器7A仅被设置用于将所述滑板设在它的全部工作位 置内，该工作位置独立于压差的方向。因此，滑阀6的高效的密封功能， 也就是说，完整的滑板7的滑阀6的高效的密封功能可通过有选择地启 动关闭驱动器8或10之一而在两个方向进行应用。
应当理解，上面所描述和表示的实施例中的其构件具有密封功能的 滑阀6被构造成具有镜像对称的形式，因此适于在滑板7的平面上方双 向地维持较高的压差。然而，当关闭驱动器8和环形密封件10或者关闭 驱动器9和环形密封件11被去除时，也可想到它只有一个方向密封的实 施例。
在将要被滑阀5清除的压差降低之后，最终也是在开始时被启动的 关闭驱动器8或10的启动作用被收回之后，起动器7A可再一次地将滑 板移向它的静止位置。最终，可通过板簧或盘形弹簧使从环形密封件9 或11松动的滑板7被拧紧，其中弹簧的回复力可被关闭驱动器自然地克 服。
可以理解到的是，尽管在用于大型单个基板的连续涂布设备的优选 实施例的基础上描述了本发明的滑阀，但是该滑阀也可独立于此用途而 被用于其他用途。
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