专利汇可以提供具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了用于储存和分配化学 试剂 和组合物,例如用于制造微 电子 器件产品的高纯液体试剂和化学机械 抛光 剂 的 流体 供应系统,该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能 力 。本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统,其包括压力 传感器 ,用于监控在供料 包装 和液压伺服分配 泵 中间分配的材料,或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数,以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。,下面是具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统专利的具体信息内容。
1.一种流体储存和分配的系统,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的衬里,布置用于在零或近零顶空构 造中容纳液体介质;
适于与所述容器配合的分配组件,用于在分配操作期间 将液体介质从所述衬里中排出;以及
集成流量计,布置用于监控在分配操作期间从所述衬里 排出的所述液体介质,以及用于产生在出现空检测状况时的与 空检测状况相关联的输出。
2.根据权利要求1所述的流体储存和分配系统,其中所述集成 流量计监控所述液体介质分配速率,并响应于作为所述空检测 状况的所述液体介质流速显著降低而产生所述输出。
3.根据权利要求1所述的流体储存和分配系统,其中所述集成 流量计包括电子输出集成流量计。
4.根据权利要求3所述的流体储存和分配系统,进一步包括适 于在响应于接收到的出现空检测状况的信息而终止所述分配 操作的RF-响应性控制器,以及在所述衬里和所述容器的至少 一个上的RFID标签,其中所述RFID标签包括布置用于从所 述RFID标签将信息传递给所述控制器的RF天线,而所述电 子输出集成流量计被布置用于将所述输出提供给所述RFID标 签,由此将指示所述空检测状况的所述输出的产生传递给所述 RFID标签,而指示所述空检测状况的相应信息通过所述RF 天线传送到所述RF-响应性控制器,以在出现所述空检测状况 时终止所述分配操作。
5.根据权利要求4所述的流体储存和分配系统,所述RF-响应性 控制器适于实现从所述容器和衬里到第二容器和衬里的转换 以继续进行分配操作。
6.根据权利要求3所述的流体储存和分配系统,进一步包括一 个控制器,其适于接收来自所述电子输出集成流量计的所述输 出信息,并响应性地终止所述分配操作。
7.根据权利要求6所述的流体储存和分配系统,其中所述控制 器适于实现从所述容器和衬里到第二个容器和衬里的转换以 继续进行分配操作。
8.一种衬里包装分配系统,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的衬里,布置用于在零或近零顶空构 造中容纳液体介质;
适于与所述容器配合的分配组件,用于在分配操作期间 将液体介质从所述衬里排出;
与所述分配组件连接的流路,布置用于所述分配操作期 间液体介质在其中流过;
所述流路包括干线部分和可选的支线部分;
用于分配的液体介质的第二容积,被布置成在主容积的 流体介质被完全分配后才进行分配,其中所述主容积包括所述 衬里中所述液体介质的至少一部分,而所述第二容积由以下之 一或多种构成:
(i)当所述主容积小于所述衬里中的全部液体介质时,所述 衬里中的不同于构成所述主容积的液体介质的所述液体介质 的一部分;
(ii)在所述流路的所述干线部分之中或与之联通的液体介质 的干线容积;和
(iii)在所述流路的所述支线部分之中或与之联通的液体介质 的支线容积;
以及
空检测器,布置用于监控所述分配操作,并在所述主容 积的液体介质被分配之后开始所述第二容积分配之时产生空 检测输出。
9.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中液体介质的 所述第二容积是所述衬里中的一个分隔区域。
10.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,进一步包括加压 气体源,布置用于在所述衬里上施加压缩气体压力以在所述分 配操作期间介导液体介质的分配。
11.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述分配组 件包括连接汲取管的分配头,并且所述汲取管适于在所述分配 操作期间来自所述衬里的液体介质从其中流过。
12.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,进一步包括加压 气体源,布置用于介导来自所述液体介质的主容积和第二容积 至少之一的液体介质的压力分配。
13.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,进一步包括连接 于所述流路的泵。
14.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述液体介 质的第二容积包含在聚合物膜的衬里中。
15.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述液体介 质的第二容积包含在所述衬里的限制区域中。
16.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述衬里中 的所述限制区域是由选自由气囊、隔膜和坍缩管组成的组中的 限制结构形成。
17.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述空检测 器执行选自由以下组成的组中的检测方案:检测通过所述流路 的主容积液体介质流动的压力衰减;检测载荷变化,所述载荷 变化趋向相对于所述液体介质的主容积分配的载荷增加所述 液体介质的第二容积分配的载荷;当所述第二容积由在所述流 路的所述支线部分之中或与之联通的液体介质的支线容积构 成时的流量检测;以及测量在分配操作期间所述液体介质的第 二容积的位移。
18.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述液体介 质的第二容积包含在第二衬里中,并且所述液体介质的主容积 和第二容积的每一个从它们各自的衬里通过在其上施加的气 体的压缩力而被压力分配。
19.根据权利要求18所述的衬里包装分配系统,其中所述空检测 器执行基于相对于分配所述主容积液体介质所需压缩力的分 配第二容积液体介质所需的不同压缩力的检测方案。
20.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述第二容 积由柔性构件限定的在所述衬里中的受限子容积构成,所述柔 性构件固定至所述衬里并由比构成所述衬里的材料更坚硬的 材料形成。
21.根据权利要求20所述的衬里包装分配系统,其中所述柔性构 件焊接至所述衬里。
22.根据权利要求20所述的衬里包装分配系统,其中所述柔性构 件包括焊接至所述衬里边缘的V-形板元件,其中所述V-形板 元件的各个侧边分别焊接至所述衬里的侧边。
23.根据权利要求20所述的衬里包装分配系统,其中所述柔性构 件包括平的或微曲的矩形构件,其被焊接至所述衬里的平的部 分。
24.根据权利要求20所述的衬里包装分配系统,其中所述柔性构 件包括焊接至所述衬里的平的部分的盘形构件。
25.根据权利要求20所述的衬里包装分配系统,其中所述衬里的 平的部分包括接近所述衬里中间的一个部分。
26.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述第二容 积由柔性构件限定的在所述衬里中的受限子容积构成,所述柔 性构件在所述主容积的液体介质被分配后发生收缩而从所述 受限子容积释放液体介质。
27.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述空检测 器布置用于检测在所述分配的液体介质中的压降,并响应性地 产生所述空检测输出。
28.根据权利要求27所述的衬里包装分配系统,其中所述空检测 器包括压力传感器。
29.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,进一步包括电动 泵,用于在分配期间泵送液体介质,并且其中所述空检测器布 置用于监控所述泵导致的安培数,以在所述安培数在开始分配 来自第二容积的液体介质而发生变化时产生所述空检测输出。
30.根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所述分配系统 进一步包括传动装置,布置用于产生用于压力分配所述主容积 和第二容积的液体介质的压力,并且其中所述空检测器布置用 于检测在从所述主容积到所述第二容积的液体介质分配的过 渡期间为维持预定压力所需的传动压力的变化。
31.一种衬里包装分配系统,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的衬里,布置用于容纳由顶空覆盖的 液体介质;
储罐,用气压计与所述顶空和所述衬里中的液体介质以 流体联通地连接,并布置用于容纳由气体覆盖的液体介质以限 定所述储罐的液位;以及
空检测器,布置用于监控所述储罐中的液位并在所述储 罐中的液位由于所述衬里的空状况而变化时产生空检测输出。
32.根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐与 所述顶空和所述衬里中的液体介质通过它们之间的供料管线 而以流体联通地连接。
33.根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐是 垂直拉长形式,其上部适于容纳所述气体而下部适于容纳由气 体覆盖的所述液体介质,其中排气管线与所述上部连接而液体 排放管线与所述下部连接。
34.根据权利要求33所述的衬里包装分配系统,其中所述排气管 线和液体排放管线安装有流量控制阀。
35.根据权利要求34所述的衬里包装分配系统,其中所述流量控 制阀布置成在向所述衬里施加分配压力时关闭,从而使衬里中 顶空气体进入所述储罐的上部而覆盖其中的液体介质,由此当 液体介质从所述衬里被全部分配时,在所述储罐上部中的气体 被加压以在所述衬里的液体介质耗尽后实现压力分配用于继 续分配液体介质的所述储罐的液体介质。
36.根据权利要求35所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐布 置成所述液体介质持续分配的时间足以将容纳第二衬里的第 二容器转换到分配操作中。
37.根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中所述空检测 器致动作为所述空检测输出的警报。
38.根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中所述空检测 器包括选自由红外液位传感器和容量传感器组成的组中的液 位传感器元件。
39.根据权利要求36所述的衬里包装分配系统,进一步包括自动 转换装置,布置成通过空检测器的空检测输出而启动,以在所 述足够将容纳第二衬里的第二容器转换到分配操作中的时间 期间转换入新的衬里包装。
40.根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐具 有垂直拉长形式,并且在其长度方向上的中间部分具有用于通 过所述液位检测器感测的液位检测的缩小直径部分。
41.根据权利要求40所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐的 所述中间部分包括在其中的限流器。
42.根据权利要求40所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐的 所述中间部分包括盘管结构。
43.一种衬里包装分配系统,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的衬里,布置用于容纳由顶空覆盖的 液体介质;
相分离器;
以流体联通地连接所述衬里与所述相分离器的分配管 线;
与所述相分离器连接以而从其中排放液体介质的液体介 质流动管线;
位于所述相分离器上方的储罐,布置用于容纳限定所述 储罐中液体介质的液位的液体介质;
以流体联通地连接所述相分离器与所述储罐的高架管 线;
第一液位传感器,布置用于检测所述储罐中第一液体介 质液位,在所述第一液体介质液位处所述储罐容纳预定量的储 备液体介质;
在所述高架线路中的第二液位传感器,布置用于在所述 储备液体介质分配期间检测在所述高架线路中的第二液体介 质液位;
在所述高架管线中的第一流量控制阀,在所述第二液位 传感器和所述储罐之间,布置成在所述衬里的液体介质分配期 间打开以填充所述储罐,而在所述第一液位传感器检测到所述 第一液体介质液位时关闭;
在所述分配管线中的压力检测致动器,操作地布置用于 在关闭所述高架管线中的所述第一流量控制阀之后检测所述 衬里的空或近空状况,并在检测到所述衬里的所述空或近空状 况时打开所述第一流量控制阀,以通过所述相分离器和所述液 体介质流动管线分配所述储备液体介质。
44.根据权利要求43所述的衬里包装分配系统,其中所述分配管 线包含止回阀,用于调节从所述衬里到所述相分离器的液体介 质的流量。
45.根据权利要求43所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐对 所述系统的周围环境是可排空的。
46.根据权利要求43所述的衬里包装分配系统,其中所述储罐连 接于加压气源,操作地布置用于从所述储罐压力辅助分配储备 液体介质。
47.根据权利要求43所述的衬里包装分配系统,其中第二流量控 制阀设置在所述液体介质流动管线中,并布置成在分配所述衬 里的液体介质期间和在分配所述储罐的储备液体介质期间打 开。
48.根据权利要求47所述的衬里包装分配系统,其中所述第二流 量控制阀操作地与所述第二液位传感器连接,以在所述第二液 位传感器在分配所述储备液体介质期间检测到在所述高架管 线中的第二液体介质液位时关闭。
49.根据权利要求48所述的衬里包装分配系统,其中所述第一流 量控制阀操作地连接所述第二液位传感器,以在所述第二液位 传感器在分配所述储备液体介质期间检测到在高架管线中的 第二液体介质液位时关闭。
50.一种衬里包装分配系统,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的衬里,布置用于容纳由顶空覆盖的 液体介质;
储罐,布置用于容纳限定所述储罐中的液体介质液位的 液体介质;
以流体联通地连接所述衬里与所述储罐的分配管线;
与所述储罐连接以从其排放液体介质的液体介质流动管 线;
第一液位传感器,布置用于检测所述储罐中的第一液体 介质液位;
第二液位传感器,布置用于检测所述储罐中的第二液体 介质液位,其中所述储罐中的所述第二液体介质液位高于所述 储罐中的所述第一液体介质液位;气体联通管线,用于将所述 储罐连接至(i)所述储罐的周围环境,其中通过放空管线以 流体联通地连接所述气体联通管线与所述周围环境;以及可选 地,(ii)加压气源,操作地布置用于压力辅助分配所述储罐 的储备液体介质,其中通过加压管线以流体联通地连接所述气 体联通管线与所述加压气源,所述放空管线具有在其中的第一 流体联通控制阀,而第二加压管线具有在其中的第二流体联通 流量控制阀,其中所述第一流体联通控制阀操作地连接于所述 第二液位传感器,以打开和调节将所述储罐填充到所述第二液 体介质液位,并在达到所述第二液体介质液位时关闭,用于随 后在分配操作期间从所述衬里将液体介质通过所述分配管线 和储罐分配到所述液体介质流动管线;以及
在所述分配管线中的压力检测致动器,操作地布置用于 检测所述衬里的空或近空状况,并在检测到所述衬里的所述空 或近空状况时打开所述第一和第二流体联通控制阀之一,以在 检测到所述空或近空状况后从所述储罐继续分配液体介质。
51.根据权利要求50所述的衬里包装分配系统,进一步包括在所 述液体介质流动管线中的流量控制阀,其中所述第一液位传感 器操作地布置为(i)所述第一和第二流体联通控制阀之一的 所述打开,和(ii)所述流量控制阀,以当所述第一液位传感 器检测到所述储罐中的所述第一液体介质液位时关闭所述打 开的所述第一和第二流体联通控制阀之一和所述流量控制阀。
52.根据权利要求50所述的衬里包装分配系统,其中所述分配管 线包含调节从所述衬里到所述储罐的液体介质流量的止回阀。
53.一种衬里包装分配系统,包括:
具有第一内部容积的容器;
在所述内部容积中的第一衬里,布置用于容纳由第一顶 空覆盖的第一容积的液体介质;
排气通道,适于从所述第一顶空排放顶空气体;
具有第二内部容积的空检测储罐;
在所述第二内部容积中的第二衬里,布置用于容纳由第 二顶空覆盖第二容积的所述液体介质;
加压气源;
第一导管,连接于所述加压气源并布置用于使加压气体 流入所述容器中以向其中的所述第一衬里施加压力;
适配于所述容器的分配组件,以在分配操作期间通过加 压气源在所述第一衬里上施加压力时从所述第一衬里分配液 体介质;
第二导管,连接所述分配组件和所述空检测储罐,以向 所述空检测储罐递送所分配的液体介质;
第三导管,连接于相同或不同的加压气源并布置用于使 加压气体流入所述空检测储罐以对所述第二衬里施加压力;
第二放空导管,与所述空检测储罐的所述第二内部容积 联通并布置用于从所述第二顶空排放顶空气体;
第四导管,以分配联通地连接于所述空检测储罐中的所 述第二衬里并布置用于从其中排放液体介质;
在所述第一导管中的第一流量控制阀;
在所述第一放空导管中的第二流量控制阀;
在所述第二导管中的第三流量控制阀;
在所述第二放空导管中的第四流量控制阀;
在所述第三导管中的第五流量控制阀;
在所述第四导管中的第六流量控制阀;
第一液位指示器,布置用于检测在所述第一放空导管中 存在液体介质;
第二液位指示器,布置用于检测在所述第二放空导管中 存在液体介质;
第三液位指示器,布置用于检测在所述第二衬里中存在 液体介质;以及
控制器,布置用于执行分配操作,所述分配操作包括以 下步骤:
打开所述第一和第二流量控制阀以从所述第一顶空放 空;
使加压气体流入所述容器以对所述第一衬里施压,从而 实现液体介质的加压分配;
在所述第一液位指示器感测到在所述第一放空导管中存 在液体介质时关闭所述第二流量控制阀;
打开所述第三和第四流量控制阀,以使液体介质从所述 第一衬里通过所述分配组件和第二导管流到在所述空检测储 罐中的所述第二衬里,并通过所述第二放空导管对所述第二顶 空放空;
当所述第二液位指示器感测到在所述第二放空导管中存 在液体介质时关闭所述第四流量控制阀;
打开所述第五控制阀;
使加压气体流入所述空检测储罐中以向低于在所述第一 衬里上施加的压力的所述第二衬里施加预定的压力;
打开所述第六流量控制阀并从所述第二衬里向所述第四 导管分配液体介质,直至在所述第二衬里中的压力由于在所述 第一衬里中的空状况而降低;
在所述第三液位指示器检测到所述空状况指示的在所述 第二衬里中的液体介质液位时关闭所述第三和第一流量控制 阀;和
在所述第一衬里中出现所述空状况之后,从所述第二衬 里继续分配液体介质。
54.一种衬里包装分配系统,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的衬里,布置用于容纳液体介质;
适配于所述容器的分配组件,用于在分配操作期间从所 述衬里排出液体介质;和
传感器,布置用于检测分配相关的状况,以产生指示所 述状况的相关输出。
55.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 感测选自由液位;材料性质;来自所述衬里中的液体介质在分 配组件上的应变;在分配期间所述衬里的位移;所述衬里外的 所述容器中的的空间的容积;分配的液体介质的温度、压力、 流速;所述衬里中的液体介质的重量;以及液体介质的均一性 组成的组中的分配相关状况。
56.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,进一步包括加压 气源,布置用于使加压气体流入所述容器以在所述衬里上施加 外部压力。
57.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 包括被动RFID传感器。
58.根据权利要求57所述的衬里包装分配系统,其中所述被动 RFID传感器的特征在于选自由ISO 14443(A、B和C型)和 EPC Gen-2组成的组中的操作方案。
59.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述分配组 件包括分配嘴,而所述衬里悬挂于所述分配嘴。
60.根据权利要求59所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 检测在所述分配嘴上的应变。
61.根据权利要求60所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 输出包括利用所述衬里的填充状态的可视标识的填充计量仪。
62.根据权利要求60所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 包括应变仪。
63.根据权利要求60所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 还检测温度。
64.根据权利要求63所述的衬里包装分配系统,其中所述系统包 括用于装配所述衬里的装配法兰,其中所述传感器被布置用于 通过检测所述装配法兰的形变而确定所述衬里中液体介质的 重量。
65.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 适于检测所述容器中衬里上的压力脉冲,并且所述传感器输出 包括所述衬里中液体介质的容积。
66.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 是硬连线微型传感器、无线电池供电微型传感器、或集成在所 述系统中或组件中或其子组件中的被动传感器。
67.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 包括芯片上的流体分析传感器。
68.根据权利要求67所述的衬里包装分配系统,其中所述分配组 件包括分配嘴,并且所述传感器用硬连线功率-数据接口集成 在所述分配嘴中,以在其分配期间监控所述液体介质。
69.根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中所述传感器 的类型选自由以下组成的组中一种:用于监控在安装于储存、 运输或安装环境下之后的所述液体介质及其包装的平衡的热 传感器;用于监控所述液体介质的保存期的电化学传感器;和 用于监控所述液体介质的均一性和混合/混合度的光学散射传 感器。
70.一种流体储存与分配方法,包括:
提供具有内部容积和在所述内部容积中的衬里的容器, 在零或近零顶空构造中容纳液体介质;
从所述衬里分配液体介质;和
在分配期间用集成流量计监控从所述衬里排出的所述液 体介质,并在出现空检测状况时从所述集成流量计产生与所述 空检测状况相关的输出。
71.根据权利要求70所述的方法,其中所述集成流量计监控所述 液体介质分配速率,并响应于作为所述空检测状况的所述流体 介质流速的显著降低而产生所述输出。
72.根据权利要求70所述的方法,其中所述集成流量计包括电子 输出集成流量计。
73.根据权利要求72所述的方法,进一步包括使用适于响应于所 接收到的出现空检测状况的信息而终止所述分配操作的RF- 响应性控制器;并在所述衬里和所述容器的至少之一上安装 RFID标签,其中所述RFID标签包括RF天线,所述RF天线 布置用于将信息从RFID标签传递给所述控制器,并将来自所 述电子输出集成流量计的所述输出提供给所述RFID标签,由 此将指示所述空检测状况的所述输出的生成传递给所述RFID 标签,并且相应的指示所述空检测状况的信息通过所述RF天 线传送到所述RF-响应性控制器以在出现所述空检测状况时 终止所述分配操作。
74.根据权利要求73所述的方法,其中所述RF-响应性控制器适 于实现从所述容器和衬里到第二容器和衬里的转换以继续分 配操作。
75.根据权利要求72所述的方法,进一步包括操作控制器以从所 述电子输出集成流量计接收所述输出,并响应地终止所述分配 操作。
76.根据权利要求75所述的方法,其中所述控制器适于实现从所 述容器和衬里到第二容器和衬里的转换以继续分配操作。
77.一种液体介质分配方法,包括:
提供根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,以零或 近零的顶空构造在所述衬里中容纳液体介质;
从所述容器的衬里中分配主容积液体介质并使这样的主 容积液体介质流过所述分配流路;
检测何时所述主容积液体介质被完全分配;以及
立即启动第二容积液体介质的分配。
78.根据权利要求77所述的方法,其中所述液体介质的第二容积 是所述衬里中的一个分隔区域。
79.根据权利要求77所述的方法,进一步包括在所述衬里上施加 加压压缩性气体压力,以介导主容积液体介质在分配期间的液 体介质的分配。
80.根据权利要求77所述的方法,其中所述分配包括使用分配组 件,所述分配组件包括与汲取管连接的分配头,并且所述汲取 管适于在所述分配操作期间延伸到所述衬里中的液体介质中。
81.根据权利要求77所述的方法,进一步包括从液体介质的所述 主容积和第二容积的至少之一压力分配液体介质。
82.根据权利要求77所述的方法,其中所述第二容积液体介质容 纳在聚合物膜的衬里中。
83.根据权利要求77所述的方法,其中所述第二容积液体介质容 纳在衬里的限制区域中。
84.根据权利要求77所述的方法,其中所述衬里的所述限制区域 由选自由气囊、隔膜、坍缩管、柱塞和活塞组成的组中的限定 结构形成。
85.根据权利要求77所述的方法,其中所述检测何时所述主容积 液体介质被完全分配包括执行检测操作,所述检测操作包括选 自由以下组成的组中的步骤:检测通过所述流路的主容积液体 介质流动中的压力衰减;检测载荷变化,所述载荷变化趋向相 对于所述液体介质的主容积分配的载荷增加的所述液体介质 的第二容积分配的载荷;测量在所述第二容积由在所述流路中 的所述支线部分中或与之联通的液体介质的支线容积构成时 的流量;以及测量在分配期间所述第二容积液体介质的位移。
86.根据权利要求77所述的方法,其中所述第二容积液体介质容 纳于第二衬里中,并且所述主容积液体介质和第二容积液体介 质的每一个从其各自的衬里通过施加于其上的气体压缩力而 被压力分配。
87.根据权利要求86所述的方法,其中所述检测何时所述主容积 液体介质被完全分配包括执行基于相对于分配所述主容积液 体介质所需压缩力的分配第二容积液体介质所需的不同压缩 力的检测方案。
88.根据权利要求77所述的方法,其中所述第二容积由柔性构件 限定的在所述衬里中的受限子容积构成,所述柔性构件固定至 所述衬里并由比构成所述衬里的材料更坚硬的材料形成。
89.根据权利要求88所述的方法,其中所述柔性构件被焊接至所 述衬里。
90.根据权利要求88所述的方法,其中所述柔性构件包括焊接至 所述衬里边缘的V-形板元件,其中所述V-形板元件的各个侧 边分别焊接至所述衬里的侧边。
91.根据权利要求88所述的方法,其中所述柔性构件包括平的或 微曲的矩形构件,其被焊接至所述衬里的平的部分。
92.根据权利要求88所述的方法,其中所述柔性构件包括焊接至 所述衬里的平的部分的盘形构件。
93.根据权利要求92所述的方法,其中所述衬里的平的部分包括 接近所述衬里中间的一个部分。
94.根据权利要求77所述的方法,其中所述第二容积由柔性构件 限定的在所述衬里中的受限子容积构成,所述柔性构件在所述 主容积的液体介质被分配后发生收缩而从所述受限子容积释 放液体介质。
95.根据权利要求77所述的方法,其中所述空检测器布置用于检 测在所述分配的液体介质中的压降,并响应性地产生所述空检 测输出。
96.根据权利要求95所述的方法,其中所述空检测器包括压力传 感器。
97.根据权利要求77所述的方法,进一步包括操作电动泵,用于 在分配期间泵送液体介质,以及监控所述泵的安培数,以在所 述安培数一旦在开始分配来自第二容积的液体介质而发生变 化时产生所述空检测输出。
98.根据权利要求77所述的方法,进一步包括操作传动装置以产 生用于压力分配所述主容积和第二容积的液体介质的压力,以 及检测在从所述主容积到所述第二容积的液体介质分配的过 渡期间为维持预定压力所需的传动压力的变化。
99.一种液体介质分配方法,包括:
提供根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,在所述 衬里中容纳由顶空覆盖的液体介质;
分配来自所述容器衬里中的液体介质并使这样的液体介 质流入储罐;
监控所述储罐中的液位;以及
在所述储罐中的液位由于所述衬里的空状况而变化时产 生空检测输出。
100.根据权利要求99所述的方法,其中所述储罐是垂直拉长形式, 其上部适于容纳所述气体而下部适于容纳由气体覆盖的所述 液体介质,其中排气管线与所述上部连接而液体排放管线与所 述下部连接。
101.根据权利要求100所述的方法,其中所述排气管线和液体排 放管线安装有流量控制阀。
102.根据权利要求101所述的方法,包括在向所述衬里施加分配 压力时关闭所述流量控制阀,从而使衬里中顶空气体进入所述 储罐的上部而覆盖其中的液体介质,由此当液体介质从所述衬 里被全部分配时,在所述储罐上部中的气体被加压以在所述衬 里的液体介质耗尽后实现压力分配用于继续分配液体介质的 所述储罐的液体介质。
103.根据权利要求102所述的方法,其中所述储罐布置成所述液 体介质持续分配的时间足以将容纳第二衬里的第二容器转换 到分配操作中。
104.根据权利要求99所述的方法,包括致动作为所述空检测输出 的警报。
105.根据权利要求99所述的方法,包括利用选自由红外液位传感 器和容量传感器组成的组中的液位传感器元件。
106.根据权利要求103所述的方法,进一步包括在所述足够将容 纳第二衬里的第二容器转换到分配操作中的时间期间转换入 新的衬里包装。
107.根据权利要求99所述的方法,其中所述储罐具有垂直拉长形 式,并且在其长度方向上的中间部分具有用于液位检测传感的 缩小直径部分。
108.根据权利要求107所述的方法,其中所述储罐的所述中间部 分包括在其中的限流器。
109.根据权利要求108所述的方法,其中所述储罐的所述中间部 分包括盘管结构。
110.一种液体介质分配方法,包括:
提供根据权利要求43所述的衬里包装分配系统,在所述 衬里中容纳由顶空覆盖的液体介质;
用来自衬里的液体介质填充所述储罐以在其中建立储备 液体介质的量;和
在液体介质已从所述衬里被完全分配之后从所述储罐分 配液体介质。
111.一种供应液体介质的制造系统,包括:
适于利用液体介质的制造设备;和
与所述制造设备流体联通地连接的液体介质源,以向所 述制造设备分配所述液体介质;
其中所述液体介质源包括选自由以下组成的组中的一种 源:
(A)根据权利要求1所述的流体储存和分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(B)根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所 述衬里容纳所述液体介质;
(C)根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(D)根据权利要求42所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(E)根据权利要求50所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(F)根据权利要求53所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;和
(G)根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质。
112.根据权利要求111所述的供应液体介质的制造系统,其中所述 制造设备包括微电子器件制造设备。
113.根据权利要求112所述的供应液体介质的制造系统,其中所 述微电子器件制造设备包括选自由沉积设备和离子注入设备 组成的组中的设备。
114.根据权利要求111所述的供应液体介质的制造系统,其中所述 液体介质包括微电子器件制造试剂。
115.根据权利要求114所述的供应液体介质的制造系统,其中所 述微电子器件制造试剂包括选自由光刻胶、蚀刻剂、化学气相 沉积剂、溶剂、晶片和设备清洁制剂、以及化学机械抛光组合 物组成的组中的试剂。
116.一种通过涉及利用液体介质的工艺制造产品的方法,所述方 法包括将所述液体介质从基于衬里的液体介质源供应到所述 工艺,其中所述基于衬里的源选自由以下组成的组:
(A)根据权利要求1所述的流体储存和分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(B)根据权利要求8所述的衬里包装分配系统,其中所 述衬里容纳所述液体介质;
(C)根据权利要求31所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(D)根据权利要求42所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(E)根据权利要求50所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(F)根据权利要求53所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质;
(G)根据权利要求54所述的衬里包装分配系统,其中 所述衬里容纳所述液体介质。
117.根据权利要求114所述的方法,其中所述液体介质包括微电 子器件制造试剂。
118.根据权利要求115所述的方法,其中所述微电子器件制造试 剂包括选自由光刻胶、蚀刻剂、化学气相沉积剂、溶剂、晶片 和设备清洁制剂、以及化学机械抛光组合物组成的组中的试 剂。
119.一种材料分配系统,包括其中包含有的衬里的材料储存和分 配包装,适于容纳用于压力分配的材料,其中所述包装通过分 配管线连接于利用所分配材料的设备,并且所述分配管线操作 地在其中设置有伺服液压分配泵,和在所述包装和所述泵之间 的检空压力传感器,操作地布置用于提供指示所述包装接近空 状态的输出。
120.根据权利要求119所述的系统,进一步包括储罐气体分离器 和排空组件,设置在所述包装和所述伺服液压分配泵之间的所 述分配管线上。
121.根据权利要求120所述的系统,进一步包括过滤器,设置在 所述储罐气体分离器和排空组件与所述泵之间的分配管线上。
122.根据权利要求121所述的系统,进一步包括在所述泵下游的 所述分配管线上的AV/SV阀组件。
123.根据权利要求119所述的系统,其中所述衬里容纳半导体制 造试剂。
124.根据权利要求119所述的系统,其中所述衬里容纳光刻胶。
125.根据权利要求119所述的系统,其中所述压力传感器操作地 连接于控制器,用于隔离所述包装以使其在所述包装的所述接 近空状态时能够切换出来。
126.一种材料分配系统,包括其中包含有衬里的材料储存和分配 包装,适于容纳压力分配的材料,其中所述包装通过分配管线 连接于利用所分配材料的设备,并且所述分配管线连接于分配 器和监视器,所述分配器布置用于接收按照周期补充进度从所 述包装流向所述设备的抗蚀剂,而所述监视器适于检测指示所 述包装接近空状态的用于补充所述分配器所需的时间的增加, 并响应性地提供所述接近的输出。
127.根据权利要求126所述的系统,其中所述分配器包括泵。
128.根据权利要求127所述的系统,其中所述分配器的补充进行 了高度校正。
129.根据权利要求126所述的系统,进一步包括储罐气体分离器 和排空组件,设置在所述包装和所述分配器之间的所述分配管 线上。
130.根据权利要求129所述的系统,进一步包括过滤器,设置在 所述储罐气体分离器和所述排空组件与所述分配器之间的分 配管线上。
131.根据权利要求130所述的系统,进一步包括在所述分配器下 游的所述分配管线上的AV/SV阀门组件。
132.根据权利要求126所述的系统,其中所述衬里容纳半导体制 造试剂。
133.根据权利要求126所述的系统,其中所述衬里容纳光刻胶。
134.根据权利要求126所述的系统,其中所述监视器操作地连接 于控制器,用于隔离所述包装以使其在所述包装的所述接近空 状态时能够切换出来。
135.一种供应材料的方法,包括:通过从材料储存和分配包装的 衬里压力分配所述材料而将所述材料递送到利用材料的设备, 所述递送包括从所述包装将材料泵送至所述设备;以及监控所 述泵上游的所分配材料的压力以确定出现其压力逐渐更快的 下降,作为所述包装中的材料耗尽开始的指示。
136.根据权利要求135所述的方法,其中所述衬里容纳半导体制 造试剂。
137.根据权利要求135所述的方法,其中所述衬里容纳光刻胶。
138.根据权利要求135所述的方法,进一步包括在所述情况出现 时将所述包装与所述材料的递送隔离,并将隔离的包装切换出 来,以引入新的材料储存和分配包装用于所述递送。
139.一种供应材料的方法,包括:从材料储存和分配包装中的衬 里通过压力分配所述材料而将所述材料递送到利用材料的设 备,所述递送包括将材料从所述包装流到分配器,所述分配器 布置用于接收按照周期补充进度从所述包装流到所述设备的 抗蚀剂,监控用于所述分配器的补充时间,并在检测到用于补 充所述分配器所需的时间的逐渐更快的增加时响应性地产生 输出,作为所述包装中的材料耗尽开始的指示。
140.根据权利要求139所述的方法,其中所述衬里容纳半导体制 造试剂。
141.根据权利要求139所述的方法,其中所述衬里容纳光刻胶。
142.根据权利要求139所述的方法,进一步包括在所述检测发生 时将所述包装与所述材料递送隔离,并将隔离的包装切换出 来,以引入新的材料储存和分配包装用于所述递送。
143.一种压力分配系统,包括:封闭有内部容积的容器;设置在 所述内部容积中并适于在其中容纳用于压力分配的材料的衬 里;以及适于在所述衬里上施加外部流体压力以用于所述压力 分配的压力组件,其中所述压力分配系统包括用于所述材料的 第二容积,所述第二容积构成所述衬里的子容积,其加压条件 不同于压力分配没有包括所述子容积的所述衬里的主容积材 料所需的加压条件,并且其中所述压力组件包括流体加压传动 装置,适于在分配所述主容积材料期间和分配所述第二容积材 料期间将加压流体递送到所述内部容积中以对所述衬里施加 压力,其将整个从所述主容积和所述第二容积的所述分配将所 分配的材料维持在相同压力下。
144.根据权利要求143所述的系统,其中所述流体加压传动装置 包括流路,所述流路包括空气压缩机或流体泵,适于在整个从 所述主容积和所述第二容积的所述分配维持所述相同压力。
145.根据权利要求143所述的系统,其中所述衬里容纳用于制造 微电子产品的材料。
146.一种微电子产品制造装置,包括根据权利要求143所述的压 力分配系统,和与所述压力分配系统连接以接收来自其的所分 配材料的微电子产品制造设备。
147.一种供应材料的方法,包括:提供根据权利要求143所述的 压力分配系统;启动用于分配的所述压力组件;从所述衬里的 所述主容积分配材料;以及之后从所述衬里的所述第二容积分 配材料;其中在从所述衬里的所述主容积和从所述衬里的所述 第二容积的整个所述分配中在相同压力下分配材料。
148.根据权利要求147所述的方法,其中所述分配的材料包括用 于制造微电子产品的材料。
149.一种制造微电子产品的方法,包括通过根据权利要求148所 述的方法供应所述材料,以及在微电子产品制造过程中利用所 述分配的材料。
本发明涉及用于储存与分配化学试剂和组合物,例如用于制造 微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光组合物(抛光剂) 的基于衬里的液体容纳系统,其具有在分配操作期间在所容纳的液 体处于或接近耗尽时的空检测的能力。
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