一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置
专利汇可以提供一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置，所述的微调装置包括准球形丝阵负载和微调机构两部分，微调机构设置有对中和联动两个过程，通过细长轴、空 心轴 、条形板 联轴器 、U形钳状联轴器、精密位移平台、旋转 手柄 等完成这两个过程，通过 波纹管 联轴器消除两轴轴线相对偏差的位移能 力 ，保证零回转间隙。本发明的结构简单、连接可靠、使用维护方便，易于实现准球形丝阵负载制备的微调控制。，下面是一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置专利的具体信息内容。
1.一种准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的微调装置含有准球形丝阵负载和微调机构两部分；所述的准球形丝阵负载安装在加速器阴极板（1）和加速器阳极板（4）的中心位置，微调机构安装在加速器大盖板（24）的中心孔位置；所述的加速器阳极板（4）位于加速器阴极板（1）前端，加速器阴极板（1）、加速器阳极板（4）、加速器大盖板（24）相互平行且位于同一条中心轴线上；
所述的准球形丝阵负载包括阴极大盘（2）、阴极菇头（3）、回流罩（5）、回流柱（6）、阳极大板（7）、阳极柱（8）、金属丝（25）、压块（36）；其连接关系为，所述阴极大盘（2）位于加速器阴极板（1）的中心轴线上，通过螺钉联接在加速器阴极板（1）上，阴极菇头（3）位于阴极大盘（2）的中心轴线上，通过螺钉联接在阴极大盘（2）上，阴极菇头（3）的头部高出加速器阳极板（4）的平面；所述的回流罩（5）位于加速器阳极板（4）的中心轴线上，通过压块（36）和螺钉联接在加速器阳极板（4）上；所述阳极大板（7）位于加速器阳极板（4）的中心轴线上，通过回流柱（6）联接在回流罩（5）的前端；所述阳极柱（8）位于阳极大板（7）的中心轴线上，阳极柱（8）在阳极大板（7）的中心孔位置轴向前后移动；所述金属丝（25）分别挂在阴极菇头（3）和阳极柱（8）之间，通过改变阳极柱（8）相对于阳极大板（7）的前后距离调整金属丝（25）的物理成型；所述的阳极大板（7）由前端板和支板构成，支板垂直于前端板，位于加速器阳极板（4）中心轴线的正下方的圆周面上，支板上开有安装孔，支板的板面与地面平行；
所述的微调机构包括绝缘支板（9）、精密位移平台（10）、条形板联轴器（11）、U形钳状联轴器（12）、波纹管联轴器（13）、细长轴（14）、空心轴（15）、法兰座体（16）、止转螺母（17）、旋转手柄Ⅰ（19）、旋转手柄Ⅱ（22）、绝缘板（26）、绝缘套（27）、深沟球轴承（21）、轴承压盖（20）、轴承挡肩（18）、压帽Ⅰ（28）、垫圈Ⅰ（29）、密封圈Ⅰ（30）、密封压套Ⅰ（31）、密封圈Ⅲ（37）、压帽Ⅱ（32）、垫圈Ⅱ（33）、密封圈Ⅱ（34）、密封压套Ⅱ（35）；其连接关系为，所述精密位移平台（10）安装于阳极大板（7）的支板上，并通过绝缘板（26）和绝缘套（27）与阳极大板（7）绝缘，精密位移平台（10）的上台面通过绝缘支板（9）、阳极柱（8）和螺钉联接并产生联动；精密位移平台（10）的驱动轴端与条形板联轴器（11）通过螺钉联接，条形板联轴器（11）带动精密位移平台（10）的上台面做前后位移；阳极柱（8）通过绝缘支板（9）、精密位移平台（10）、条形板联轴器（11）的相互联接产生前后位移；所述的法兰座体（16）位于加速器大盖板（24）的中心轴线上，通过螺栓和真空密封圈联接在加速器大盖板（24）外端面上，法兰座体（16）正下方焊接有安装空心轴的安装座，正上方设置有观察窗（23），正下方的安装座中心轴线与精密位移平台（10）的驱动轴的中心轴线重合；所述的空心轴（15）位于法兰座体（16）的安装座的中心轴线上，通过止转螺母（17）、旋转手柄Ⅱ（22）和螺钉联接在法兰座体（16）的安装座内；所述空心轴（15）的一端设置有矩形螺纹，矩形螺纹面上开有导向槽，位于真空腔外，并与旋转手柄Ⅱ（22）通过螺钉联接，另一端的外表面光滑无螺纹，位于真空腔内，空心轴（15）在法兰座体（16）安装座的中心孔内做线性位移；所述细长轴（14）位于空心轴（15）的中心轴线上，通过深沟球轴承（21）、轴承压盖（20）、轴承挡肩（18）联接在空心轴（15）内；细长轴（14）的一端伸出空心轴（15）位于真空腔内，与波纹管联轴器（13）、U形钳状联轴器（12）依次通过螺钉联接，另一端伸出空心轴（15）位于真空腔外，与旋转手柄Ⅰ（19）通过螺钉联接；细长轴（14）在空心轴（15）内做旋转位移，通过联接在细长轴（14）一端的U形钳状联轴器（12）带动联接在精密位移平台（10）的驱动轴上的条形板联轴器（11）联动。
2.根据权利要求1所述的准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的阳极柱（8）为L形，由圆柱与垂直于圆柱的支板构成；支板上设置有安装孔，通过螺钉与绝缘支板（9）联接。
3.根据权利要求1所述的准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的细
长轴（14）真空密封，采用双密封圈结构，压帽Ⅰ（28）与密封圈Ⅰ（30）之间设置有垫圈Ⅰ（29），密封圈Ⅰ（30）与密封圈Ⅲ（37）之间设置有密封压套（31），密封压套（31）开有导流槽和导流孔。
4.根据权利要求1所述的准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的空心轴（15）的真空密封结构与细长轴（14）相同。
5.根据权利要求1所述的准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的法兰座体（16）上的安装座一端伸入真空腔内，一端伸出真空腔外，与法兰采用氩弧焊联接。
6.根据权利要求1所述的准球形丝阵负载制备的微调装置，其特征在于，所述的精密位移平台（10）与阳极大板（7）之间采用绝缘材料聚四氟乙烯绝缘。
一种用于准球形丝阵负载制备的微调装置
技术领域
背景技术
发明内容
图3是图１的Ｂ-Ｂ视图；
图4是图１的Ｉ局部放大示意图；
图中，1.加速器阴极板 2.阴极大盘 3.阴极菇头 4.加速器阳极板 5.回流罩 6.回流柱 7.阳极大板 8.阳极柱 9.绝缘支板 10.精密位移平台 11.条形板联轴器 12.U形钳状联轴器 13.波纹管联轴器 14.细长轴 15.空心轴 16. 法兰座体 17.止转螺母 18.轴承挡肩 19.旋转手柄Ⅰ 20.轴承压盖 21.深沟球轴承
22.旋转手柄Ⅱ 23.观察窗 24.加速器大盖板 25.金属丝 26.绝缘板 27.绝缘套 28.压帽Ⅰ 29.垫圈Ⅰ 30.密封圈Ⅰ 31.密封压套Ⅰ 32.压帽Ⅱ 33.垫圈Ⅱ
34.密封圈Ⅱ 35.密封压套Ⅱ 36.压块 37.密封圈Ⅲ。
具体实施方式
所述阳极大板7位于加速器阳极板4的中心轴线上，通过回流柱6联接在回流罩5的前端。
所述阳极柱8位于阳极大板7的中心轴线上，阳极柱8在阳极大板7的中心孔位置轴向前后移动；所述金属丝25分别挂在阴极菇头3和阳极柱8之间，通过改变阳极柱8相对于阳极大板7的前后距离调整金属丝25的物理成型；所述的阳极大板7由前端板和支板构成；支板垂直于前端板，位于加速器阳极板4中心轴线的正下方的圆周面上，支板上开有安装孔，支板的板面与地面平行；
所述的微调机构包括绝缘支板9、精密位移平台10、条形板联轴器11、U形钳状联轴器
12、波纹管联轴器13、细长轴14、空心轴15、法兰座体16、止转螺母17、旋转手柄Ⅰ19、旋转手柄Ⅱ22、绝缘板26、绝缘套27、深沟球轴承21、轴承压盖20、轴承挡肩18、压帽Ⅰ28、垫圈Ⅰ29、密封圈Ⅰ30、密封压套Ⅰ31、密封压套Ⅲ37、压帽Ⅱ32、垫圈Ⅱ33、密封圈Ⅱ34、密封压套Ⅱ35。其连接关系为，所述精密位移平台10安装于阳极大板7的支板上，并通过绝缘板26和绝缘套27与阳极大板7绝缘，精密位移平台10的上台面通过绝缘支板9、阳极柱8和螺钉联接并产生联动；精密位移平台10的驱动轴端与条形板联轴器11通过螺钉联接，条形板联轴器11带动精密位移平台10的上台面做前后位移。阳极柱8通过绝缘支板9、精密位移平台10、条形板联轴器11的相互联接产生前后位移。所述的法兰座体16位于加速器大盖板24的中心轴线上，通过螺栓和真空密封圈联接在加速器大盖板24外端面上，法兰座体16正下方焊接有安装空心轴的安装座，正上方设置有观察窗23，正下方的安装座中心轴线与精密位移平台10的驱动轴的中心轴线重合。所述的空心轴15位于法兰座体16的安装座的中心轴线上，通过止转螺母17、旋转手柄Ⅱ22和螺钉联接在法兰座体16的安装座内。所述空心轴15的一端有矩形螺纹，矩形螺纹面上开有导向槽，位于真空腔外，并与旋转手柄Ⅱ22通过螺钉联接，另一端外表面光滑无螺纹，位于真空腔内，空心轴15在法兰座体
16安装座的中心孔内做线性位移。所述细长轴14位于空心轴15的中心轴线上，通过深沟球轴承21、轴承压盖20、轴承挡肩18联接在空心轴15内；细长轴14的一端伸出空心轴15位于真空腔内，与波纹管联轴器13和U形钳状联轴器12依次通过螺钉联接，另一端伸出空心轴15位于真空腔外，与旋转手柄Ⅰ19通过螺钉联接。细长轴14在空心轴15内做旋转位移，通过联接在细长轴14一端的U形钳状联轴器12带动联接在精密位移平台10的驱动轴上的条形板联轴器11产生联动。
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