关于光连接器或装置等所使用的多心用金属箍，在任意位置上具 有二、四、六、八、十、十二心程度到百心程度以上的孔的型式制品 是人们所寻求的。
但是，在现在市场上出现的具有实用性的是以氧化锆制的二心型 的金属箍作为限度，关于比这孔数多的多心金属箍，由于不能获得微 米单位的极其严格的孔径与孔位置精度，实际上制造是不可能的，这 是实际状况。
为说明上述实际状况，例如图1是矩形的十二心型式的放大平面 图，实际上有要求φ0.126mm程度的孔1是0.25mm程度的孔距，厚度 2.0mm程度的大小的设计的情形。
但是，对应该设计，尽管有关各公司想要用塑料成形品进行制造， 进行了专心研究开发，但开发的结果所得到的试制品缺乏耐热性、线 膨胀系数高、产生中心销弯曲等，怎么也没有达到原来所要求的获得 微米单位的孔径、孔位置等的尺寸精度的状态。
本发明鉴于上述制造现场的实际状况，目的在于提供一种金属箍 的制造方法，尽管以往制造实际上是不可能的多心用的金属箍，也能 比较容易地解决所寻求的严格的尺寸精度与耐热性等基本问题。
发明的公开
为解决前述发明，本发明的构成，是将穿设有多个的同一数的孔 的多片的平面形状的各金属薄板层叠，并相互固定而成的多心金属箍 的制造方法，是由下述的多心金属箍的制造方法组成：为使尚未进行 前述层叠与固定的各金属板上所穿设有前述多个孔，通过相互连通， 能分别形成空洞，多个的各孔的位置与孔径是根据设计所决定。
附图的简要说明
图1是表示本发明的多心金属箍的实施形态的放大平面图。
图2是表示在以本发明的光致抗蚀剂加工进行制造时，在金属薄 板上形成光致抗蚀剂被膜，通过曝光用图形掩模以光线进行曝光的状 态的一实施例的概略放大剖面图。
图3是表示在以本发明的光致抗蚀剂加工进行制造时，处于将光 致抗蚀剂被膜的曝光部溶解除去的状态的实施形态的概略放大剖面 图。
图4是表示在以本发明的光致抗蚀剂加工进行制造时，以腐蚀液 将金属薄板穿孔的状态的概略放大剖面图。
图5是表示在以本发明的光致抗蚀剂加工的光成形加工法进行制 造时，处于将光致抗蚀剂被膜的曝光部分以外的部分溶解除去的状态 的实施形态的概略放大剖面图。
图6是表示在以本发明的光成形加工法进行制造时，使导电性基 板露出的状态的概略放大剖面图。
图7是表示利用电铸对于图6的已露出的基板析出了金属的状态 的概略放大剖面图。
图8是在以本发明的光成形加工法进行制造时，处于由电铸后的 金属板剥离下来的状态的孔附近的概略放大剖面图。
图9是表示在本发明的抗蚀剂膜的厚度薄时，电铸金属将抗蚀剂 膜部分覆盖地析出的现象的概略放大剖面图。
图10是表示在将本发明的抗蚀膜的厚度加厚时，电铸金属析出后 的状态的概略放大剖面图。
图11是表示在以本发明的电火花线加工法进行制造时，以连通槽 将各孔连接起来，借此状态进行穿孔的情形的放大平面图。
图12是表示将本发明的光学纤维接合后的实施形态的概略放大侧 剖面图。
图13是表示将本发明的已进行所要求尺寸的穿孔的金属薄板层叠 并固定好时的状况的孔部分的概略放大剖面图。
图14是表示将本发明的金属薄板层叠，由侧面进行激光焊接的时 的构成的放大剖面图。
图15是表示将本发明的金属薄板层叠，由侧面进行激光焊接的时 的状态的放大平面图。
图16是表示将本发明的已进行所要求尺寸的穿孔的金属薄板层叠 并固定时，将孔径不同的金属薄板由大孔到小孔地顺次层叠并固定好 的状态的概略放大剖面图。
实施发明的形态
如上所述，本发明以下述2点作为基本构成：
a.将多片平面状的金属薄板层叠并且相互固定，
b.将设置于各金属薄上的多个的各孔相互连通，借此形成空洞。
再者，如上述a那样，之所以使多片的平面状金属薄板(以下略 称“金属薄板”。)层叠与固定，而不采用一层的金属板，是由于金 属板具有一定以上的厚度的情况下，孔径不能获得良好的精度，以及 加工显著需要时间，并且成本显著提高。
下面，根据上述a、b说明的实施形态。
本发明中使用的平板状金属薄板只要是腐蚀性、耐热性、强韧性、 耐水性、硬度、线膨胀良好，任何的金属薄板都能使用。
例如钛、不锈钢、铜合金、铁合金、铝合金等制成的金属薄板能 适用于本发明，但钛制成的金属薄板、被称为因瓦合金(殷钢)的铁 合金与被称为科瓦铁镍钴合金的材料，由于线膨胀系数特别小，可选 择作为特别令人满意的形态。
本发明所使用的金属薄板，大致的情况如果是0.01～1.0mm程度 的厚度即能使用。
并且，金属薄板愈薄，愈易获得孔的尺寸精度，但是由于强度不 足以及在一个金属箍的制造上需要多的片数，产生不经济的问题，反 之，随着金属薄板变厚，在光致抗蚀剂加工、冲孔等加工时难以获得 尺寸精度。
考虑到这些情况，有必要根据具体的制造方法选择金属薄板的厚 度，在孔的加工方面，在后述那样利用冲孔来进行的情况下，0.1～ 0.3mm程度是适宜的，在最能获得精度的光致抗蚀剂法方面，在腐蚀法 的情况下，0.05～0.1mm，成形法的情况下，0.1～0.5mm的厚度具有 适应性高的倾向。
但是，根据多心用金属箍的使用目的如何，也有尺寸精度不严格 的情形，关于金属薄板的厚度，并不存在一般的限制。
就是说，对于根据必要提高各孔的位置与孔径精度的金属薄板的 厚度可根据制造方法适宜选择。
关于上述金属薄板的厚度的组合，不只是将同一厚度的金属薄板 进行层叠，不同厚度的金属薄板的层叠当然也可能。
例如在最上与下两方或某一方使用稍厚的金属薄板2，借此能谋求 提高强度、防止由平板状态发生的变形引起的浮动、消除V锪孔加工 方面的问题。
另外，金属薄板的平面方向的形状，可采用是同一的情形与不同 的情形双方，但作为实际使用的制品，同一的平面方向形状的情形， 作为使用是便利的情形较多。
在本发明中，作为制造在所希望的位置上具有多个孔的平面形状 的金属薄板的方法，在各实施例中，如后述那样，可采用光致抗蚀剂 加工、光致抗蚀剂成形加工、冲孔加工、利用NC机床的钻加工、激光 加工、电火花(放电)加工及它们的组合，其中，采用光致抗蚀剂加 工、光致抗蚀剂成形加工与电火花加工时能制造精度最高的制品。
下面，按照实施例进行说明。
实施例1
实施例1是在具有多个孔的金属薄板的成形上采用光致抗蚀剂加 工的方法并且利用腐蚀穿孔。
光致抗蚀剂加工的加工技术自身例如特开平11-17091号等所示 那样，已采用于集成电路的制造，该采用是众所周知的。
并且，在本发明的金属薄板的孔的穿设方面，最初如图2所示， 在金属薄板2上涂以光致抗蚀剂被膜3，利用印刷等形成，并且在使该 被膜3干燥后，通过曝光用图形掩模4照射激光束等光线5，形成曝光 部6。
光致抗蚀剂部分一旦曝光，在光致抗蚀剂上即产生化学变化，能 通过其他化学处理使光致抗蚀剂显影。
例如，能使未暴光部分保留成为可溶性状态，使已曝露部分成为 不溶性，或对于特定的显影剂成为非反应性，反之，根据光致抗蚀剂 的使用，也能使已曝露的部分对于特定的显影剂成为可溶性。
正片型的光致抗蚀剂的情况下，利用特定的溶剂附着于预定穿孔 的各部位，将光致抗蚀剂被膜3的曝光部6溶解后，利用喷射工序将 曝光部6除去，如图3那样使金属薄板2露出后，如图4那样利用腐 蚀液7以喷射法等进行腐蚀，能将孔1进行穿孔。
特别是，例如使用钛作为金属薄板2的情况下，使用稀释氟化氢 溶液作为腐蚀液，能穿孔，在使用铜合金的情况下，使用稀释氯化铁 溶液，能有效地穿孔。
就是说，预先将图1所示的平面形状也设计在光制抗蚀剂的图形 上，在光致抗蚀剂加工时正确地制造具有图1的平面形状与该平面形 状内的十二个孔的薄板即可，并且，考虑经济上的合理性，不是一片 单位的平面形状，而最好是使用考虑到多片单位的平面形状所需要的 大金属薄板，采用通过一个循环的工序，一举制造数十到数百个例如 开有十二个孔的金属薄板的方法。
另外，采用负片型的光致抗蚀剂的情况下，使曝光用图形掩模与 正片型的情形相反，即能制造同样的金属薄板。
实施例2
实施例2是在具有多数个孔的金属薄板的成形上采用由光致抗蚀 剂实现的加工方法，但不采用如实施例1那样利用腐蚀进行的孔的加 工，而是采用所谓成形法，借此一举进行金属薄板的成形与穿孔。
在实施例1中，是如图2所示那样，在光致抗蚀剂膜3的下方配 置金属薄板2，与此不同，在实施例2中，是如图5所示那样，配置导 电性的基板12。
并且，在采用正片型光致抗蚀剂之后，使光致抗蚀剂膜3的曝光 部6的部分为不溶性，使曝光部6以外的部分为可溶性，并且特定的 溶剂使其溶解之后，利用喷射工序将曝光部6以外的部分除去，如图6 那样使导电性的基板12露出之后，进行起模处理。
其次，实施镍、铜、铁及其合金等的电铸，如图7所示那样，通 过电铸，在基板12上形成金属薄板2之后，将该金属薄板2剥离，即 能如图8所示那样，制成金属薄板2，在该金属薄板2的与曝光部6对 应的位置上开有多个孔1。
另外，在采用负片型光致抗蚀剂的情况下，使曝光用图形掩模与 正片型的情形相反，即能制造同样的金属板。
一般，在抗蚀剂膜3的厚度为1μm～10μm这样薄的情况下，如图8 所示，起因于电铸金属覆盖抗蚀膜而析出，具有金属薄板2的厚度愈 增厚尺寸精度愈难取得的倾向。
并且，极端的情况下，如图9所示那样，处于电铸状态的金属板 的一部析出于光致抗蚀剂膜3上，发生将预定的孔的一部堵塞的现象， 因此，甚至发生妨碍孔的尺寸精度的情形。
但是，将抗蚀剂膜3设定成数十μm～数mm那样比通常显著厚的情 况下，则如图10所示那样，通过电铸工序使金属板2形成到比抗蚀剂 膜3的细棒状的母型低的位置，由此，能制造具有精度极为良好的孔 的多心用金属箍。
例如，将X射线硬化树脂等电子束硬化树脂使用于光致抗蚀剂膜， 通过使用金、白金、铅等重金属制成的X射线图形掩模等照射X射线 等电子束，使孔部分的抗蚀剂膜成为不溶性，将其他部分溶解除去， 因此，在制造电铸用母型的情况下，由于电子束的透射性良好，能使 用显著厚的抗蚀剂膜，因此能使利用电铸制成的金属薄板2的厚度更 厚，但极端加厚，在电铸时过于费时间，会因应力而变形等，因而要 有限度。
就是说，在上述方法的情况下，制造具有精度极其良好的孔的多 心用金属箍成为可能。
而且，在上述方法中，还存在能使在光致抗蚀剂法中屡屡成为问 题尘埃等的影响全无的优点。
在实施例2中的电铸原材料的状态，根据作为目的的电铸金属的 材质各自不同，例如可能采用镍或其合金、铁或其合金、铜或其合金、 钴或其合金、钨或其合金、微粒分散金属等形成的电铸金属；可使用 以氨基磺酸镍、氯化镍、硫酸镍、氨基磺酸亚铁、氟硼化亚铁、焦磷 酸铜、硫酸铜、氟硼化铜、氟硅酸铜、钛氟化铜、链烷醇磺酸铜、硫 酸高钴、钨酸钠等水溶液为主要成分的水溶液或将碳化硅、碳化钨、 碳化硼、氧化锆、氮化硅、氧化铝、金刚石等微粉末分散在前述液中 所得到的液体。
上述液体中，特别是以氨基磺酸镍为主要成分的(镀)液，在电 铸的操作容易、硬度等物性的多样性、化学稳定性、焊接的容易性等 点上优异。
电铸液以过滤精度0.1～5μm程度过滤器进行高速过滤，并且加 温，温度控制在±3℃程度的适宜温度范围内，时时进行活性碳处理以 除去有机不纯物，以镀镍的铁制波纹板作为阳极，以碳作为阴板，以 0.2A/dm2程度的低电流密度通电，以除去铜等金属不纯物与添加减少 剂等，借此减小应力，因此，最好是以1～10dm2程度的电流密度实施 变形小的电铸。
实施例3
实施例3是对已形成的金属薄板在机床上进行冲孔加工而设置 孔。
在利用这样的冲孔加工进行制造时，有必要采用高尺寸精度与切 断面无毛口、飞刺、喇叭口、变形等缺陷的加工方法。
最好采用例如特开2000-108077号公报所述的方法等，该方法具 备：有呈冲孔形状的切刃并上下对向地安装的上下一对的切断刃，配 合安装在上部切断刃中并与切断刃独立地进行驱动的冲头；其特征 是：使上部切断刃下降，在上下切断刃间将被加工材料切断后，使冲 头下降，使被加工材料落料。
从生产的效率性考虑，最好通过一次操作，利用冲孔加工一次制 造数十到数百个例如图1所示的开有十二个孔的金属薄板。
实施例4
实施例4是利用NC机床加工进行穿孔。
利用这样的NC机床加工进行制造的情况下，能采用12μm程度的 钻孔与线切割完成的加工等。126μm程度的钻孔加工，能加工到1.5mm 程度的厚度，另外，利用NC加工的钻加工钻孔的方法；利用线切割切 除的方法；利用激光加工等开出适当大小的小孔之后，通以线切割的 线，利用线切割，精度良好地开出孔径与孔位置的方法等，能分别单 独或组合等随意地采用。
实施例5
为加工多个孔而采用电火花加工的方法。
所谓电火花加工，是利用随着放电而产生的电极消耗现象的加工 法，是与工件不直接接触的所谓非接触加工，因而适合于非常微细的 加工。
并且，加工原理是使相当于工具的电极与工件对抗，在保持一定 间隔的状态下，使发生循环数多(数十～数十万/秒)的脉冲状的放电 电流，一面使金属等熔融一面进行加工。
具体地讲，最初在加工液中的电极与工件之间通以脉冲高压电而 成为加载状态，使极间发生火花放电。
由此而形成放电柱，转变成过渡电弧放电，在所发生的一万多℃ 的温度下成为熔融状态。
该热，不只是工具电极与工件，还使周围的各种油等加工液在瞬 时气化，由于这时的压力，熔融状态的金属被吹跑，借此，放电加工 在非接触状态下得以继续。
把这一个循环叫作单发放电，该循环，在一秒间重复地连续放电 数千次到数万次，同时将加工电极送入工件，进行加工。
加工是由单发放电痕的累积而实现，有必要使每放电一次的放电 能量小而实施花费时间的放电加工。
并且，加工间隔因加工条件、被加工材料的种类等而异，因而为 提高尺寸精度，有必要通过极其慎重的多次的加工试验决定电极的粗 度等条件。
一般，电火花加工机床大致分成四种类。
就是说，有使用特定形状的电极并投影加工其形状的第一类的电 火花型腔加工机床(EDM)、一面使细的电极高速回转一面加工细孔的 第二类电火花细孔加工机、一面卷绕线电极一面线锯式地加工二维轮 廓的第3类电火花线加工机床(W.EDM)、利用电火花线磨削加工法将 细电极成形到直径数μm，通过随意动作其电极进行微细孔与三维加工 的第四类。
并且，在这四类之中，第二、第三、第四电火花加工法适合于本 发明。
关于利用第二类的一面使细的电极高速回转一面加工细孔的电火 花细孔加工机床的方法，在制造例如图1所示的十二心的多心用金属 箍的情况下，准备2mm厚程度的切成规定尺寸的矩形板与通过试验决 定的细棒状钨电极，将矩形板安装在电火花加工机床的载物台上，以 显微镜慎重地决定初点后，开始电火花加工，通过常常更换消耗电极， 提高尺寸精度，利用NC加工机床一面使电极进行了3500rpm程度的高 速回转一面施加规定的高压电，因而能将规定尺寸的孔开孔在规定的 位置。
金属薄板的厚度，薄者有获得尺寸精度的倾向，厚度可能到2mm 程度，但在尺寸精度方面，限度是0.3～0.5mm。
第三类的一面卷绕线电极一面线锯式地加工二维轮廓的电火花线 加工机床(W.EDM)的方法，准备板的情形与前述相同，关于电极，准 备钨等的φ0.03～0.08mm的线，卷绕在卷筒上，首先利用前述的电火 花细孔加工机床的方法与激光照射等在规定的正确的位置上按概略尺 寸开出前述线能进入程度的孔，将线穿入该孔内，一面使线卷绕，一 面使载物台移动，一个一个地开孔即可，也可在连通槽3将各孔1连 接起来的状态下开孔，这种方法在最初开一个孔，以后即能自动地制 作，因此能使操作的劳力和时间显著地少，是理想的方法。
关于第四类的利用电火花线磨削加工法将细电极成形到直径数 μm，通过使其电极随意动作而进行微细孔与三维的加工的方法，与前 述第二方法相同。
关于电极，可使用细线状的铜、黄铜、钨、钼等。
本发明中使用的金属，什么都可能使用，但最好是腐蚀性、耐热 性、强韧性、耐水性、硬度、线膨胀等物理、化学性能良好的材料， 特别是在金属中线膨胀系数小的叫作因瓦合金(invar)的铁镍合金、 在电灯泡等中用于玻璃与金属的密封等，叫作科瓦合金(kovar)的铁 镍钴合金等，由于温度的影响引起的孔位置的变动小，适应性高。
利用电火花加工法等对金属薄板进行穿孔，再层叠、固定、再进 行光学纤维的接合的情况下，如图12所示，关于层叠上端部的金属薄 板，穿设良好精度的孔，实现光学纤维的紧密固定状态，关于形成该 端部以外的层叠部分的金属薄板的孔，穿设比原来精度上所要求的孔 还要粗且直径大的孔径的孔，借此，也能实现与光学纤维的可靠的结 合，采用这种方法，能谋求提高操作性、降低成本。
实施例6
实施例6是关于金属薄板的层叠与固定所采用的各种形态的方 法。
通常，将切断成规定尺寸的金属薄板2正确地重合并如图13那样 进行固定，根据金属薄板2的厚度如何，层叠的片数不同，但在任何 情况下都是比作为目的厚度稍许加厚。
这是由于象这样，在进行稍厚的设计时，通过其后的磨削加工， 就制品的外形、厚度等而言，能取得正确的尺寸。
固定前述金属薄板2的方法，可采用点焊、激光等焊接方法与利 用软钎焊及粘合剂等进行的接合方法，但是，一般来说焊接的方法， 从性能、操作性等考虑符合理想。
上述的焊接方法之中，激光焊接是最为适宜的方法。
顺便说一下，如图14所示，在台8上由左右推，在使金属薄板2 正确对正的状态下，用压板9由上方加压，由侧面以激光光线10聚光， 以1.5焦耳程度的输出，以10次/S程度的脉冲，以1mm/S程度的速 度，在由左右两方同时照射一点的情况下，形成图15所示的焊接部 11，深度到0.3mm，能可靠的固定，使焊接位置为四处、八处或八处 以上，因而能谋求防止金属薄板2的浮动与提高强度。
在点焊焊接(电阻焊)的情况下，由于高的输出，能进行厚度到2～ 3mm程度的金属薄板的焊接，输出过高时变形大，由于变形等，会对精 度带来妨碍，因此最好以0.5～1.0mm的厚度进行点焊焊接，也可将其 正确地重叠，采用前述的实施侧面激光焊接的方法。
制品侧面是将金属薄板2重叠并固定的状态，因而在作为连接器 使用时，为防止因摩擦而产生金属粉与增加固定强度等，在将孔1覆 盖的状态下，对侧面实施气相或液相的镀覆而实现一体化，与此同时 也可采用氮化处理等进行表面厚度调整的方法。
例如图16所示，一面按孔1由大到小的顺序进行调整一面将金属 薄板2重叠并固定，比采用形成插入光学纤维时所必要的V形锪孔状 的空间的方法，能省略零碎而且非常麻烦的V形锪孔的后加工工序。
采用本发明的方法，改善了以往使用于多心用光学纤维连接器、 装置等上面的金属箍尺寸精度不足等原因造成的连接几乎是不可能的 情形。使连接成为可能和容易，将以往的树脂成形品变为金属制，因 而能显著提高耐热性、线膨胀、硬度、焊接性等性能。