基板载置用托盘
阅读：808发布：2022-10-28
专利汇可以提供基板载置用托盘专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且基板 载置用托盘，可以包括：主体、引导部等。所述主体可以具有具备了载置基板的第一面的平板结构，并且可以由 碳 -碳 复合材料 构成。所述引导部，可以引导所述基板向着所述主体，从而使所述基板载置于各自规定的 位置 。在 太阳能 电池 基板上形成 薄膜 时，所述基板载置用托盘可以实施为，在等离子氛围下的高温工序中也可以稳定地维持物理特性，并且可以形成为载置更多数量的基板的大面积。，下面是基板载置用托盘专利的具体信息内容。
1.一种基板载置用托盘，其特征在于，包括：
主体，具有具备了载置基板的第一面的平板结构，并且包括碳-碳复合材料或石墨；及引导部，引导所述基板向着所述主体，从而使所述基板载置于各自规定的位置。
2.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述碳-碳复合材料包括：
碳纤维增强复合材料。
3.根据权利要求2所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述主体包括：
通过织造所述碳纤维增强复合材料而制造的两层以上叠层的织物。
4.根据权利要求3所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述主体包括：
正交异方性叠层强化物，以相异方向叠层两个以上的以一方向将所述碳纤维增强复合材料进行织造的织物；或者平织叠层强化物，叠层两个以上的平织织造的织物；或者斜纹叠层强化物，叠层两个以上斜纹织造的织物；或者缎纹叠层强化物，叠层两个以上的缎纹织造的织物。
5.根据权利要求2所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述主体包括：
无纺布叠层强化物，叠层两个以上的以无纺布形状将所述碳纤维强化复合材料进行制造的织物。
6.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述引导部包括：袋部，在所述主体以凹雕或凸雕加工，用于使所述基板分别相互分离并收容；或者管脚，沿所述基本的外周边排列；或者贯通袋，露出所述基板的底面；及凸出管脚，从所述贯通袋的内面凸出，来支持所述基板的底面。
7.根据权利要求6所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述管脚及所述凸出管脚，分别包括：陶瓷、石墨、碳-碳复合材料、金属、经过阳极化处理（anodizing）的材料、或陶瓷涂层处理的材料。
8.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，还包括：
气孔，贯通所述主体，并在所述基板载置于所述规定的位置时，用于向所述基板的底面提供空气；及空气循环部，具备与所述气孔联通的具有槽形状的空气流路。
9.根据权利要求8所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述空气流路，倾斜地形成分别连接于入口与侧面的部分。
10.根据权利要求1所述的基板载置用托盘，其特征在于，还包括：
陶瓷涂层，形成于所述主体的第一面与侧面及所述引导部。
11.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述陶瓷涂层包括：选自由铝氧化物（AlOx）、钇氧化物（YOx）、铝氮化物（AlNx）、硅碳化物（SiCx）构成的群中的一个以上。
12.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述陶瓷涂层，具有100μm至400μm的厚度。
13.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述陶瓷涂层，是利用大气等离子喷涂（APS）涂层工序来形成。
14.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述陶瓷涂层，延长至对向于所述主体的第一面的所述主体的第二面的周边部。
15.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，
具备包括陶瓷粘接剂的表面处理层，形成于所述陶瓷涂层的具有管脚孔的部分、所述陶瓷涂层的应力所集中的部分或在不形成有所述陶瓷涂层的所述主体的部分。
16.根据权利要求15所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述陶瓷粘接剂包括：铝氧化物。
17.根据权利要求15所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述表面处理层，在所述具有管脚孔的部分上涂布所述陶瓷粘接剂后，在100℃至
200℃的温度中执行60分钟至180分钟的高温固化工序来形成。
18.根据权利要求10所述的基板载置用托盘，其特征在于，
通过连接两个以上的所述主体来形成基板载置用托盘的扩展结构。
19.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的所述主体的接触部分上的所述陶瓷涂层的厚度，薄于所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度。
20.根据权利要求19所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述主体接触的部分上的所述陶瓷涂层的厚度为100μm至200μm，所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度为150μm至400μm。
21.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，
在所述主体接触的部分中的一部分上不形成所述陶瓷涂层，从而来使所述基板载置用托盘的扩展结构的主体通电。
22.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构，将一个主体形成为旋转90度的“L”字的形状，将另一个主体形成为镜像的“L”字的形状后，接触所述主体来使所述主体的凸出部重叠地形成。
23.根据权利要求22所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述陶瓷涂层形成于所述所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的上面及所述主体接触的界面的上部。
24.根据权利要求22所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下部侧面之间提供有规定的空间。
25.根据权利要求22所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的主体接触的界面的中央部与下部，不形成所述陶瓷涂层。
26.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构，在一个主体形成插入部，在另一个主体形成凸出部后，在所述插入部插入所述凸出部来形成。
27.根据权利要求26所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构，将一个主体形成为旋转90度的“U”字形状，将另一个主体上形成凸出部后，在所述一个主体中插入所述另一个主体的凸出部来形成。
28.根据权利要求27所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述陶瓷涂层形成于所述所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的上面及所述主体接触的界面的上部。
29.根据权利要求27所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下部侧面之间提供有规定的空间。
30.根据权利要求27所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的主体接触的界面的中央部与下部，不形成所述陶瓷涂层。
31.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构，将一个主体形成为旋转90度的“L”字的形状，将另一个主体形成为镜像的“L”字的形状后，在所述主体接触的部分提供结合部件来形成。
32.根据权利要求31所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述陶瓷涂层形成于所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的上面、所述结合部件的上面及所述主体接触的界面的上部。
33.根据权利要求31所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下侧侧部之间提供有规定的空间。
34.根据权利要求31所述的基板载置用托盘，其特征在于，
所述基板载置用托盘的扩展结构的主体接触的界面的中央部与下部，不形成所述陶瓷涂层。
35.根据权利要求18所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述基板载置用托盘的扩展结构还包括：
连接固定部件，用于固定相互连接的所述主体。
36.根据权利要求35所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述连接固定部件包括：
收容部，包括有形成于相互连接的所述主体的周边部的凹陷处；及插入部，插入到所述收容部。
37.根据权利要求35所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述连接固定部件包括：
收容部，形成于相互连接的所述主体的上侧端部；插入部，插入到所述收容部；及结合部，从所述主体的底面延长至所述插入部的一部分。
38.根据权利要求35所述的基板载置用托盘，其特征在于，所述连接固定部件包括：
上部收容部，形成于相互连接的所述主体的上侧端部；下部收容部，形成于所述主体的下侧端部；上部插入部，插入到所述上部收容部；下部插入部，插入到所述下部收容部；及结合部，从所述下部插入部延长至所述上部插入部的一部分。
基板载置用托盘
技术领域
背景技术
[0002] 通常，利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）装置来在太阳能电池基板上形成如反射防止膜等的薄膜的工序，会同时对多个基板执行来提升生产性。所述形成薄膜的工序中会使用可载置多个基板的托盘。这种基板载置用托盘，例如，公开有韩国公开专利第2007-0117312号。
[0003] 所述使用基板载置用托盘的薄膜形成工序中，在所述基板载置用托盘位置的附近形成有热源，例如，在所述基板载置用托盘的下部提供有加热器来加热载置于所述基板载置用托盘的基板，并在约为300℃至700℃的温度中使气体进行反应来在所述基板上形成薄膜。因此，所述基板载置用托盘需要使用在高温中也不会使物理特性低下的材料来制造。以往的基板载置用托盘主要是使用石墨来制造。但是，由石墨构成的以往的基板载置用托盘，在以约5mm至约18mm的厚度为基准具有约为1500mmX500mm程度大小的面积时，在所述薄膜形成工序期间会因为如抗弯强度（flexural strength）的低下的机械特性的劣化导致频繁地发生所述基板载置用托盘的中央部位弯曲的状况。如上所述，所述基板载置用托盘的中央部位弯曲时，会因为无法均匀地构成从所述基板载置用托盘附近的热源的热传达，因此很难在所述基板上均匀地形成薄膜。此外，移送所述基板载置用托盘期间引起的振动导致所述基板载置用托盘上载置的基板发生流动，其结果，甚至会导致发生载置于所述基板载置用托盘的发生破损的状况。此外，以往由石墨构成的基板载置用托盘因为很难具有大面积，很难实现通过一次的薄膜形成工序尽可能在更多的基板上形成薄膜的需求，由此存在生产性相对较低的问题。
[0004] 另一方面，利用以往的基板载置用托盘的薄膜形成工序中，会经常发生由高温环境、高腐蚀性工序气体及等离子导致的所述基板载置用托盘本身的腐蚀或蚀刻的问题，由此，所述基板载置用托盘的密度会减少且硬度会低下，因此在所述基板载置用托盘的处理时会频繁地发生所述基板载置用托盘破损的状况。即，因为所述基板载置用托盘具有的硬度下降，导致在以往的薄膜形成工序条件下，无法维持所述基板载置用托盘初期的机械特性，因此会发生所述基板载置用托盘破损的问题。
发明内容
[0005] （要解决的技术问题）
[0006] 本发明的目的在于，提供基板载置用托盘，在太阳能电池基板上形成薄膜的期间，在高温中也可以维持稳定的物理特性且可以具有大的面积。（解决问题的手段）[0007] 为了达成如上所述本发明的目的，根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘可以具备主体与引导部。所述主体，可以具备载置基板的第一面的平板结构，可以包括碳-碳复合材料或石墨。所述引导部，会向所述主体上引导所述基板来使所述基板分别载置于规定的位置。
[0009] 例示性实施例中，所述主体可以包括：正交异方性叠层强化物，以相异方向叠层两个以上的以一方向将所述碳纤维增强复合材料进行织造的织物。根据另一例示性实施例，所述主体可以包括：平织叠层强化物，叠层两个以上的平织织造的织物。又另一例示性实施例中，所述主体可以包括：斜纹叠层强化物，叠层两个以上斜纹织造的织物。根据又另一例示性实施例，所述主体可以包括：缎纹叠层强化物，叠层两个以上的缎纹织造的织物。
[0010] 另一例示性实施例中，所述主体可以包括：无纺布叠层强化物，叠层两个以上的以无纺布形状将所述碳纤维强化复合材料进行制造的织物。
[0011] 例示性实施例中，所述引导部，可以包括：在所述主体以凹雕或凸雕加工的袋部，用于使所述基板分别相互分离并收容。根据又另一例示性实施例，所述引导部，可以包括：管脚，沿所述基本的外周边排列。又另一实施例中，所述引导部，可以包括：贯通袋，露出所述基板的底面；及凸出管脚，从所述贯通袋的内面凸出。例如，所述管脚及所述凸出管脚，分别包括：陶瓷、石墨、碳-碳复合材料、金属、经过阳极化处理（anodizing）的材料、或陶瓷涂层处理的材料等。
[0012] 例示性实施例中，所述基板载置用托盘，还可以包括：气孔，贯通所述主体，并在所述基板载置于所述规定的位置时，用于向所述基板的底面提供空气；及空气循环部，具备与所述气孔联通的具有槽形状的空气流路。例如，所述空气流路，可以倾斜地形成分别连接于入口与侧面的部分。
[0013] 例示性实施例中，所述基板载置用托盘，还可以包括：陶瓷涂层，形成于所述主体的第一面与侧面及所述引导部。
[0014] 例示性实施例中，所述陶瓷涂层可以包括：铝氧化物（AlOx）、钇氧化物（YOx）、铝氮化物（AlNx）、硅碳化物（SiCx）等。例如，所述陶瓷涂层可以具有约100μm至□400μm程度的厚度，可以利用大□等离子□涂（APS）涂层工序来形成。
[0015] 例示性实施例中，所述陶瓷涂层可以延长至对向于所述主体的第一面的所述主体的第二面的周边部。
[0016] 例示性实施例中，还可以在所述陶瓷涂层的具有管脚孔的部分、所述陶瓷涂层的应力所集中的部分或在不形成有所述陶瓷涂层的所述主体的部分形成表面处理层。所述表面处理层，可以包括：陶瓷粘接剂。例如，所述陶瓷粘接剂，可以包括：铝氧化物。
[0017] 例示性实施例中，所述表面处理层，在所述具有管脚孔的部分上涂布所述陶瓷粘接剂后，在约100℃至约200℃程度的温度中执行约60分钟至约180分钟的高温固化工序来形成。
[0018] 根据本发明的例示性实施例，可以通过连接两个以上的所述主体来形成基板载置用托盘的扩展结构。
[0019] 例示性实施例中，所述基板载置用托盘的扩展结构的所述主体的接触部分上的所述陶瓷涂层的厚度，可以实质性地薄于所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度。例如，所述主体接触的部分上的所述陶瓷涂层的厚度可以为约100μm至约200μm的程度，所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度可以为约150μm至约400μm的程度。
[0020] 例示性实施例中，在所述主体接触的部分中的一部分上可以不形成所述陶瓷涂层，从而来使所述基板载置用托盘的扩展结构的主体通电。
[0021] 例示性实施例中，所述基板载置用托盘的扩展结构，将一个主体形成为实质性地旋转90度的“L”字的形状，将另一个主体实质性地形成为镜像的“L”字的形状后，接触所述主体来使所述主体的凸出部重叠地形成。此时，所述基板载置用托盘的扩展结构，可以包括：陶瓷涂层，形成于所述主体的上面及所述主体接触的界面的上部。此外，所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下部侧面之间可以提供规定的空间。所述基板载置用托盘的扩展结构的主体接触的界面的中央部与下部，可以不形成陶瓷涂层。
[0022] 另一例示性实施例中，所述基板载置用托盘的扩展结构，可以在一个主体形成插入部，在另一个主体形成凸出部后，在所述插入部插入所述凸出部来形成。
[0023] 又另一例示性实施例中，所述基板载置用托盘的扩展结构，将一个主体形成为实质性旋转90度的“U”字形状，将另一个主体上形成凸出部后，在所述一个主体中插入所述另一个主体的凸出部来形成。此时，所述基板载置用托盘的扩展结构，可以包括：陶瓷涂层，形成于所述主体的上面与所述主体接触的界面的上部。此外，所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下部侧面之间，可以提供规定的空间。所述基板载置用托盘的扩展结构的主体接触的界面的中央部与下部上，可以不形成所述陶瓷涂层。
[0024] 又另一例示性实施例中，所述基板载置用托盘的扩展结构，将一个主体形成为实质性地旋转90度的“L”字的形状，将另一个主体实质性地形成为镜像的“L”字的形状后，在所述主体接触的部分提供结合部件来形成。此时，所述基板载置用托盘的扩展结构，可以包括：陶瓷涂层，形成于所述主体的上面、所述结合部件的上面及所述主体接触的界面的上部。此外，所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下侧侧部之间，可以提供规定的空间。所述基板载置用托盘的扩展结构的主体接触的界面的中央部与下部上，可以不形成所述陶瓷涂层。
[0025] 根据本发明的所述基板载置用托盘的扩展结构，还可以包括：连接固定部件，用于固定相互连接的所述主体。
[0026] 例示性实施例中，所述连接固定部件，可以包括：收容部，包括有形成于相互连接的所述主体的周边部的凹陷处；及插入部，插入到所述收容部。
[0027] 另一例示性实施例中，所述连接固定部件，可以包括：收容部，形成于相互连接的所述主体的上侧端部；插入部，插入到所述收容部；及结合部，从所述主体的底面延长至所述插入部的一部分。
[0028] 又另一例示性实施例中，所述连接固定部件，可以包括：上部收容部，形成于相互连接的所述主体的上侧端部；下部收容部，形成于所述主体的下侧端部；上部插入部，插入到所述上部收容部；下部插入部，插入到所述下部收容部；及结合部，从所述下部插入部延长至所述上部插入部的一部分。
[0029] （发明的效果）
[0030] 根据本发明的例示性实施例，因为基板载置用托盘是由碳-碳复合材料构成，因此在相对性高温及等离子的氛围下执行的薄膜形成工序期间，可以稳定地维持多种物理特性，并且所述基板载置用托盘可以具有大范围增大的面积。由此，在使用等离子体增强化学气相沉积来在太阳能电池基板上形成如反射防止膜等的薄膜的工序期间，利用所述基板载置用托盘可以同时对很多基板进行处理，因此可以提升生产性，并且改善太阳能电池基板的可靠性。此外，所述基板载置用托盘具有良好的加工性，并且通过所述基板载置用托盘的连接，可以实现具有增加的面积的多种基板载置用托盘的扩展结构。附图说明
[0031] 图1是表示根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的平面图。
[0032] 图2是表示根据本发明的例示性实施例的包括无纺布层叠强化物的基板载置用托盘的主体的立体图。
[0033] 图3是表示根据本发明的例示性实施例的包括叠层分别沿一个方向织造的织物的正交异向性叠层强化物的主体的立体图。
[0034] 图4是表示根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的引导部的平面图。
[0035] 图5是表示图4的沿A-A'线的剖视图。
[0036] 图6是表示根据本发明的另一例示性实施例的基板载置用托盘的引导部的平面图。
[0037] 图7是表示图6的沿B-B'线的剖视图。
[0038] 图8是表示根据本发明的又另一例示性实施例的基板载置用托盘的引导部的平面图。
[0039] 图9是表示图8的沿C-C'线的剖视图。
[0040] 图10是用于说明根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的空气循环部的平面图。
[0041] 图11及图12是用于说明利用图10的空气循环部来移送载置于基板载置用托盘上的基板的过程的剖视图。
[0042] 图13至图15是用于说明图10的空气循环部的空气流路沿D-D'线的剖视图。
[0043] 图16是用于说明根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构的平面图。
[0044] 图17至图19是表示根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构的局部剖视图。
[0045] 图20至图22是用于说明根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构的连接固定部件的剖视图。
[0046] 图23是表示根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的平面图。
[0047] 图24是表示图23的太阳能电池基板载置用托盘的剖视图。
[0048] 图25是表示根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的引导部的剖视图。
[0049] 图26是用于说明根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的空气循环部平面图。
[0050] 图27及图28是用于说明利用图26的空气循环部来载置基板的过程的剖视图。
[0051] 图29是表示根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的扩展结构的平面图。
[0052] 图30是用于说明图29的太阳能电池基板载置用托盘的扩展结构的陶瓷涂层的剖视图。
具体实施方式
[0053] 下面，参照附图对根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘进行说明。本发明可以进行多种变更且可以具有多种形态，例示性实施例将会例示于附图中，并详细说明于本文中。但是这种实施例并不是对本发明特定的公开形态进行限定，应当理解为本发明的思想及技术范围内包括的所有变更、等同物以及代替物都包括于本发明。在说明各个附图时，会对相同或类似的结构元件使用相同或类似的参照符号。参照附图中，结构物的尺寸，为了本发明的明确性，相比于实际会被扩大或为了说明概略性结构，相比于实际会被缩小来进行图示。第一、第二、第三、第四等的术语会用于说明多种结构元件，但是所述结构元件并不限定于所述术语。所述术语仅仅是以从其他结构元件区分一个结构元件的目的来使用。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一结构元件可以命名为第二、第三或第四结构元件，与此类似，第二、第三或第四结构元件也可以命名为第一结构元件。
[0054] 本申请中使用的术语仅仅是为了说明特定的实施例而使用，并不是用于限定本发明。文章中提及的单数形式，在没有特别限定的情况下，则包括复数形式。本申请中，“包括”或“具有”等的术语仅仅是用于指定存在有说明书中记载的特征、数量、步骤、动作、结构元件、部件、或其组合，应当理解为不提前排除，一个或其以上的其他特征或数字、步骤、动作、结构元件、部件或其组合的存在或附加可能性。
[0055] 另一方面，未进行不同的定义的情况下，包括技术性或科学性术语的在此处使用的所有术语具有与本发明所属技术领域的技术人员的通常理解相同的含义。如定义于通常使用的词典中的术语应当解释为，与相关技术文章中所具有的含义一致的含义，并且，在本申请中未进行明确定义的情况下，并不解释为理想性或过度形式性的含义。
[0056] 图1是表示根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的平面图。
[0057] 参照图1，利用如等离子体强化化学气相沉积（PECVD）装置的基板处理装置（未图示），来对太阳能电池基板执行形成如防反射膜等的薄膜形成工序时，在基板载置用托盘100上可以载置多个基板。根据例示性的实施例的基板载置用托盘100可以具备，主体11、引导部13等。
[0058] 例示性实施例中，主体11，可以包括：基板所处的第一面；对向于所述第一面的第二面。例如，主体11的第一面与第二面分别可以对应主体11的上面与底面。此时，主体11可以具有实质性平坦的板（plate）形状。
[0059] 主体11的第一面上，可以载置上部将形成薄膜的多个基板，主体11的第二面，在执行所述薄膜形成工序期间，实质性地与所述基板处理装置对望。例如，主体11的第二面主要可以邻接于，位于所述基板处理装置的下部的热源（未图示）来进行安置。此处，与主体11的第二面实质性对望的所述基板处理装置的热源，来所述薄膜形成工序执行期间可以加热载置于基板载置用托盘100的基板。例如，所述基板处理装置的热源，可以包括：加热板（heating plate）、加热灯（heating lamp）等。例示性实施例中，所述基板处理装置的热源，可以安置于主体11的第二面直下部，来实质性地对望于主体11的第二面。根据另一例示性实施例，所述基板处理装置的热源，可以不对望于主体11的第二面，但邻接地进行安置。
例如，所述基板处理装置的热源，邻接于主体11进行安置，从而可以向所述基板传达充分的热。
例如，所述基板处理装置的热源，邻接于主体11进行安置，从而可以向所述基板传达充分的热。
[0060] 所述薄膜形成工序可以在约300℃至约700℃程度的相对高温中执行，由此，主体11需要由相对地在高温中可以稳定地维持物理特性的材料构成。此外，所述薄膜形成工序中，为了生产性的提升，在执行一次工序时需要处理尽可能多的数量的基板，因此，主体11需要由可实现大面积的材料构成。换言之，基板载置用托盘100的主体11需要由，在相对高温中可以稳定地维持物理特性，同时可制造为尽可能大的面积的材料构成。
[0061] 例示性实施例中，主体11可以由，碳素系的基材（脉石）与碳素系粒子或纤维混合的碳-碳复合材料（C/C composite）构成。此外，基板载置用托盘100的主体11包括：至少由两个以上的碳-碳复合材料构成的层。
[0062] 例示性实施例中，基板载置用托盘100的主体11，可以包括：平织（plane weave）织造的织物（woven object），例如，主体11，可以包括：平织叠层强化物，具有叠层两个以上的平织织造的织物构成的单一片片的结构。根据另一例示性实施例，主体11，可以包括：斜纹（twill weave）织造的织物。例如，主体11，可以包括：斜纹叠层强化物，具有叠层两个以上斜纹织造的织物构成的单一片的结构。根据又另一实施例，主体11，可以包括：缎纹（satin weave）织造的织物。例如，主体11，可以包括：缎纹叠层强化物，具有叠层两个以上缎纹织造的织物构成的单一片的结构。
[0063] 下面，根据例示性实施例。对具备有包括将碳纤维强化复合材料制造为无纺布形态的织物的主体11的基板载置用托盘100进行说明。
[0064] 图2是表示根据本发明的例示性实施例的包括无纺布层叠强化物的基板载置用托盘的主体的立体图。
[0065] 参照图2，基板载置用托盘100的主体11a，可以包括：无纺布叠层强化物，具有叠层两个以上的将碳纤维制造为无纺布形态的织物构成的单一片的结构。此时，主体11a，具有叠层两个以上的不是通过碳纤维的织造来形成，而是通过将碳纤维集束成纤维集合体来以片形态制造的织物构成单一片的结构。虽然，图2中，是通过叠层四张无纺布210a、210b、210c、210d来形成了主体11a，但是也可以通过叠层三张以下的无纺布来形成主体11a，也可以通过叠层五张以上的无纺布来形成主体11a。
[0066] 如图2所示，在叠层四张无纺布210a、210b、210c、210d来制造主体11a的过程中，无纺布210a、210b、210c、210d分别可以随机排列碳纤维来形成。即，无纺布210a、210b、210c、210d分别可以由无序排列的碳纤维构成。主体11a，可以通过叠层如上所述由无序排列的碳纤维构成的四张无纺布210a、210b、210c、210d制造。例示性实施例中，主体11a，因为四张无纺布210a、210b、210c、210d可以具有碳纤维分别无序排列的结构，因此，主体
11a的物理特性对于包括X方向、Y方向及Z方向的所有方向，实质性地具有准各向同性（quasi-isotropic property）。例如，主体11a对于包括X方向、Y方向及Z方向的所有方向，如抗弯强度、肖氏硬度、热膨胀系数等的物理特性实质性相同或实质性类似。根据另一例示性实施例，主体11a包括两张叠层的无纺布时，主体11a也可以对于所有方向具有实质性的准各向同性，由此，包括两张无纺布的主体11a对于所有方向的物理特性亦可以实质性相同或实质性类似。
11a的物理特性对于包括X方向、Y方向及Z方向的所有方向，实质性地具有准各向同性（quasi-isotropic property）。例如，主体11a对于包括X方向、Y方向及Z方向的所有方向，如抗弯强度、肖氏硬度、热膨胀系数等的物理特性实质性相同或实质性类似。根据另一例示性实施例，主体11a包括两张叠层的无纺布时，主体11a也可以对于所有方向具有实质性的准各向同性，由此，包括两张无纺布的主体11a对于所有方向的物理特性亦可以实质性相同或实质性类似。
[0067] 下面，根据本发明的另一例示性实施例，对包括叠层织物的叠层强化物的基板载置用托盘的主体进行说明。
[0068] 图3是表示根据本发明的例示性实施例的包括叠层分别沿一个方向织造的织物的正交异向性叠层强化物的主体的立体图。
[0069] 参照图3，基板载置用托盘100的主体11b，可以具有，叠层分别沿一个方向织造的织物21a、21b、23a、23b的结构。此时，织物21a、21b、23a、23b通过向相互不同的方向，即，异向性叠层来制造主体11b。例如，第一织物23b的织造方向可以沿X方向来进行安置，第二织物21b的织造方向可以沿Y方向来进行安置，第三织物23a的织造方向可以沿X方向来进行安置，第四织物21a的织造方向可以沿Y方向来进行安置。由此，主体11b，可以包括：正交异向性叠层强化物，具有织物21a、21b、23a、23b沿X方向及Y方向交叉叠层的结构。
[0070] 根据另一例示性实施例，第一织物23b的织造方向可以沿X方向来进行安置，第二织物21b的织造方向可以沿Y方向来进行安置。此外，第三织物23a的织造方向可以沿与X方向及Y方向实质性不同的方向进行安置，第四织物21a的织造方向可以沿与第三织物23a的织造方向实质性不同的方向进行安置。由此，主体11b，可以包括：多向性叠层强化物，具有织物21a、21b、23a、23b沿包括X方向及Y方向的所用方向进行叠层的结构。
[0071] 当构成基板载置用托盘100的主体11b的织物不沿正交异向性叠层而是沿一个方向叠层时，基板载置用托盘100的主体11b会具有相对较小的抗弯强度，因此在主体11b上施加力时，会加大主体11b的变形。此时，基板载置用托盘100的主体11b不仅会弯曲或破损，而且很难具有大面积。根据本发明的例示性的实施例，基板载置用托盘100，如上所述，因为具备了包括异向性或多向性叠层强化物的主体11b，因此可以提升主体11b的物理特性来防止基板载置用托盘100的变形或破损，同时可以使基板载置用托盘100具有相对较大的面积。换言之，基板载置用托盘100的主体11b包括异向性或多向性叠层强化物时，如上所述，织物21a、21b、23a、23b的织造方向会沿包括X方向及Y方向的多种方向来进行安置，因此，主体11b沿多种方向可以具有提升了抗弯强度、热膨胀系数等得到改善的物理特性。因此，可以有效地防止基板载置用托盘100弯曲或破损的现象，并且可以使基板载置用托盘100容易具有大面积。根据又另一实施例，基板载置用托盘100的主体11b，除了上述的正交异向性叠层强化物以外，包括平织叠层强化物、斜纹叠层强化物、缎纹叠层强化物时，也通过将所述织物沿异向性进行安置及叠层，从而可以提升基板载置用托盘100的主体11b的抗弯强度、热膨胀系数等的物理特性。
[0072] 根据本发明的例示性实施例，基板载置用托盘100可以具备主体11a、11b，所述主体包括：织造两个以上的碳-碳复合材料而形成的织物片或具有无纺布形状的织物。因此，基板载置用托盘100可以在相对高温中稳定地维持物理特性，并且可以制造为具有大面积。根据例示性实施例，具备由碳-碳复合材料构成的主体11的基板载置用托盘100在具有约3mm至约15mm程度的厚度时，可以具有约2000mmX1000mm程度的大面积。此时，基板载置用托盘100，相比于以往由石墨构成的基板载置用托盘，会具有约2倍至约4倍的抗弯强度。例示性实施例中，基板载置用托盘100可以以约5mm至约8mm的厚度基准具有约2000mmX1000mm程度的大面积。即，根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘100，相比于以往由石墨构成的基板载置用托盘，在具有相对更薄的厚度的同时可以具有更大的面积。此外，如上所述，因为包括碳-碳复合材料的基板载置用托盘100，在具有相对大面积的同时具有相对轻的重量，因此可以更加容易地处理基板载置用托盘100。
[0073] 使用根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘100来执行薄膜形成工序时，因为多个基板载置于主体11上，因此，所述基板分别可以安置于所述主体11的相互间隔的规定位置。如图1所示，提供于基板载置用托盘100的主体11的引导部13，在主体11上载置所述基板时，可以引导所述基板来使所述基板安置于所定的位置。即，主体11的第一面（例如，上面）上可以载置至少两张的基板，主体11的第一面上载置所述基板时，引导部13可以引导所述基板来分别相互相隔规定间隔地进行安置。
[0074] 图4是表示根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的引导部的平面图，图5是表示图4的沿A-A'线的剖视图。图4及图5中，对于参照图1来说明的部件实质性相同的部件将使用相同的参照符号。
[0075] 参照图4及图5，具备于基板载置用托盘的主体11的引导部13，可以包括：多个袋部（pocket）31，用于使载置于主体11的第一面上的基板200以规定的间隔相互分离并收容。例如，袋部31分别可以在主体11的第一面，以规定的深度进行凹雕来加工形成。即，袋部31分别可以具有形成于主体11的凹面（recess）或凹槽（groove）的形状。此处，袋部31可以具有，与各个基板200的面积实质性类似或稍微大的面积。各个袋部31可以具有，实质性多角形、实质性圆形、实质性椭圆形等的多种平面形状。但是，这种袋部31的平面形状可以根据收容于袋部31的基板200的形状而变化。当引导部13包括袋部31时，在基板
200上执行形成薄膜的工序期间，基板200分别可以定位于袋部31内。根据另一例示性实施例，引导部13，可以包括从主体11的第一面以规定高度凸出的袋部。此处，引导部13的凸出的袋部对应于各个基板200的形状，可以具有实质性多角形、实质性圆形、实质性椭圆形等的平面形状。此外，引导部13的凸出袋部可以具有，与各个基板200的面积实质性类似或稍微大的面积。
200上执行形成薄膜的工序期间，基板200分别可以定位于袋部31内。根据另一例示性实施例，引导部13，可以包括从主体11的第一面以规定高度凸出的袋部。此处，引导部13的凸出的袋部对应于各个基板200的形状，可以具有实质性多角形、实质性圆形、实质性椭圆形等的平面形状。此外，引导部13的凸出袋部可以具有，与各个基板200的面积实质性类似或稍微大的面积。
[0076] 图6是表示根据本发明的另一例示性实施例的基板载置用托盘的引导部的平面图，图7是表示图6的沿B-B'线的剖视图。图6及图7中，对于与参照图1来说明的部件实质性相同的部件将使用相同的参照符号。
[0077] 如图6及图7所示，提供于基板载置用托盘的主体11的引导部13，可以包括：管脚（pin）51，安置于主体11的第一面上，用于使载置于主体11的第一面上的基板200相互分离并收容。例如，引导部13，可以包括：沿载置于主体11的第一面上的各个基板200的外周边以规定间隔排列多个的管脚51。通过这种管脚51而各自被限定的主体11的区域的面积可以与各个基板200的面积实质性类似或稍微大。图6中虽然图示了围绕一个基板200的八个管脚51，但是引导部13的管脚51的数量可以多于八个，也可以少于八个。此外，图6中管脚51实质性是以八角形的结构进行了排列，但是引导部13的管脚51的排列结构，可以根据各个基板200的形状而变化。例如，引导部分13的管脚51可以以实质性圆形的结构、实质性椭圆的结构、实质性多角形的结构等来进行安置。包括这种管脚51的引导部
13，在基板200上执行形成薄膜的工序期间，会将基板200固定于主体11的第一面上。
13，在基板200上执行形成薄膜的工序期间，会将基板200固定于主体11的第一面上。
[0078] 例示性实施例中，引导部13的管脚51分别可以包括：陶瓷、石墨、碳-碳复合材料、金属、经过阳极化处理（anodizing）的材料、陶瓷涂层处理的材料等。根据例示性实施例，引导部13的管脚51分别可以由陶瓷构成或包括涂层有陶瓷的材料，从而防止在执行用于形成所述薄膜的工序期间发生电弧（arcing）。
[0079] 图8是表示根据本发明的又另一例示性实施例的基板载置用托盘的引导部的平面图，图9是表示图8的沿C-C'线的剖视图。图8及图9中，对于与参照图1来说明的部件实质性相同的部件将使用相同的参照符号。
[0080] 参照图8及图9，提供于基板载置用托盘的主体11的引导部13，可以包括：贯通袋61，贯通主体11；凸出管脚63，从主体11延长。贯通袋61分别可以具有，实质性多角形的形状、实质性圆形的形状、实质性椭圆形的形状等的多种平面形状。此处，各个贯通袋61可以具有，实质性大于各个基板200面积的面积。此外，凸出管脚63从各个贯通袋61的内壁，沿对于主体11实质性平行的方向凸出。图8中虽然例示了以规定间隔排列的八个凸出管脚63，但是引导部13的凸出管脚63的数量与其相比，可以增加或减少。例如，凸出管脚63的数量可以根据基板200的形状、贯通袋61的形状等而变化。引导部13的凸出管脚63会支持收容于贯通袋61的基板200的底面，从而使基板200收容于引导部13。基板200收容于包括贯通袋61与凸出管脚63的引导部13时，基板200的底面会露出，因此更加容易地在基板200的第二面上形成薄膜。即，因为具备包括贯通袋61及凸出管脚63的引导部13的主体11上载置的基板200分别可以露出底面，因此随着可以顺利地向各个基板200的底面提供反应气体，可以容易在各个基板200的底面上形成薄膜。例示性实施例中，引导部13的凸出管脚63分别可以包括：陶瓷、石墨、碳-碳复合材料、金属、经过阳极化处理的材料、陶瓷涂层处理的材料等。根据例示性实施例，引导部13的各个凸出管脚63可以包括：如金属或石墨的导电材料，从而在执行所述用于形成薄膜的工序的期间，可以在各个基板200的底面上顺利地形成薄膜。
[0081] 图10是用于说明根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的空气循环部的平面图，图11及图12是用于说明利用图10的空气循环部来移送载置于基板载置用托盘上的基板的过程的剖视图。图10至图12中，对于与参照图1来说明的部件实质性相同的部件将使用相同的参照符号。
[0082] 参照图10，基板载置用托盘的空气循环部91，在基板载置用托盘的主体11的上部移送基板200的过程期间，执行向基板200的第二面进行空气循环的作用。向所述基板载置用托盘的主体11的第一面上移送基板200的过程中，从所述基板载置用托盘卸载（unloading）基板200时，基板200的底面与所述基板载置用托盘的主体11的第一面之间可能会发生空气阻力，且因为这种空气阻力导致无法将基板200从所述基板载置用托盘顺利地进行卸载。即，将基板200从所述基板载置用托盘的主体11卸载时，会因为基板200的底面瞬间施加的空气阻力而导致发生从所述基板载置用托盘无法脱离的现象。例示性实施例中，空气循环部91，在从所述基板载置用托盘的主体11的第一面卸载基板200时，向基板200的底面循环空气来减少施加于基板200的空气阻力。其结果为，可以更加容易地将基板200从所述基板载置用托盘进行卸载。
[0083] 例示性实施例中，空气循环部91，可以包括：空气孔91a，从主体11的第二面（例如，底面）延长至主体11的第一面；及空气流路91b，分别联通于各个空气孔91a。空气孔91a，在基板200安置于提前设定的位置时，可以自然地从外部向基板200的底面提供空气。
例如，各个空气孔91a可以位于各个基板200的中央部下面。空气流路91b分别具有连接各个空气孔91a的槽形状。此外，空气流路91b可以在主体11的第一面上介入空气孔91a来进行相互连接。图10至图12中虽然例示了空气循环部91周围安置有包括参照图6说明的管脚51的引导部13，但是也可以邻接空气循环部91来安置包括参照图4说明的袋部
31的引导部13。
例如，各个空气孔91a可以位于各个基板200的中央部下面。空气流路91b分别具有连接各个空气孔91a的槽形状。此外，空气流路91b可以在主体11的第一面上介入空气孔91a来进行相互连接。图10至图12中虽然例示了空气循环部91周围安置有包括参照图6说明的管脚51的引导部13，但是也可以邻接空气循环部91来安置包括参照图4说明的袋部
31的引导部13。
[0084] 如图11及图12所示，在基板载置用托盘的主体11的第一面上部移送基板200的过程中，从所述基板载置用托盘卸载基板200时，可以通过空气循环部91自然地向基板200的底面供给空气来进行循环。由此，可以减小基板200的底面与所述基板载置用托盘的主体11的第一面之间发生的空气阻力，因此可以容易地将基板200从所述基板载置用托盘的主体11进行卸载。即，所述基板载置用托盘上具备空气循环部91时，通过空气循环部91而自然地进行循环的空气，可以防止基板200的损伤或防止形成于基板200上的薄膜的损伤，并且可以稳定地使基板200从所述基板载置用托盘进行卸载。
[0085] 另一方面，空气循环部91，不仅在上述的基板200卸载过程中，而且在将基板200加载到主题11的第一面上时，也向基板200底面自然地进行空气循环。由此，由基板200底面施加的空气压力，可以有效地防止基板200加载过程中有可能发生的基板200从所述基板载置用托盘的主体11滑动的现象。其结果为，基板200的可以稳定地在准确的位置形成薄膜。
[0086] 如上所述，根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘，因为具备循环部91，可以防止基板200或形成于基板200上的薄膜的损伤，并且可以更加容易且稳定地处理基板200。
[0087] 根据例示性实施例，图1中图示的基板载置用托盘100，可以包括陶瓷涂层（未图示），形成于主体11的第一面上。这种陶瓷涂层提供于主体11上时，可以保护因在基板200上形成薄膜期间生成的等离子而导致基板载置用托盘100受损，例如，可以从腐蚀、蚀刻损伤、主体11的挥发（即，密度下降）等情况中保护基板载置用托盘100，同时也可以防止，在基板载置用托盘100的处理时对基板载置用托盘100的损伤。例如，所述陶瓷涂层，可以包括：铝氧化物（AlOx）、钇氧化物（YOx）、锆氧化物（ZrOx）等的氧化物系陶瓷。可以对它们进行单独使用或混合使用。此外，所述陶瓷涂层可以利用大气等离子喷涂（APS）涂层工序来形成于主体11的第一面上。另一方面，所述陶瓷涂层也可以利用快速氧燃料喷涂（HVOF）工序、真空等离子喷涂（VPS）工序、动力喷雾（kinetic spray）涂层工序等来形成于主体11上。例示性实施例中，所述陶瓷涂层使用由氧化物系陶瓷构成的喷涂涂层用粉末，利用大气等离子喷涂工序喷射于基板载置用托盘100的主体11上而获得。根据另一例示性实施例，所述陶瓷涂层除了如上所述的氧化物系陶瓷以外，也可以包括：如铝氮化物（AlNx）、硅碳化物（SiCx）等的非氧化物系陶瓷。所述陶瓷涂层包括非氧化物系陶瓷时，可以利用动力喷雾工序、气雾蒸镀工序等来将所述陶瓷涂层形成于主体11上。
[0088] 所述陶瓷涂层具有未满约100μm的厚度□，主体11的一部分上无法充分形成所述陶瓷涂层，因此有可能发生主体11露出或所述陶瓷涂层的表面发生管脚孔（pin hole），并且因为用于形成所述薄膜的高温工序与等离子，可能导致所述陶瓷涂层受损。另一方面，所述陶瓷涂层具有超过约400μm的厚度□，会因为主体11与所述陶瓷涂层之间的粘合力下降而导致所述陶瓷涂层从主体11脱离。此外，不仅会使基板载置用托盘100的上部表面的平坦度低下，而且还会导致基板载置用托盘100的中心部位弯曲。考虑到这种问题，所述陶瓷涂层可以以主体11的第一面为基准，以约100μm至□400μm程度的厚度形成。
[0089] 例示性实施例中，所述陶瓷涂层可以形成于主体11的第一面与侧面上。此外，所述陶瓷涂层也可以形成于主体11的第二面的边缘部分（即，底面的周边部）上。在基板200形成薄膜的期间，因暴露于高温及等离子的部分为主体11的第一面与侧面及主体11的第二面的周边部，因此所述陶瓷涂层形成于主体11的第一面、侧面及第二面的周边部上时，可以有效地在所述薄膜形成工序期间保护主体11。即，基板载置用托盘100可以包括形成于主体11上的所述陶瓷涂层，因此，所述陶瓷涂层可以防止，在形成所述薄膜形成工序期间，因高温及等离子导致主体11腐蚀或蚀刻的现象。包括所述陶瓷涂层的基板载置用托盘100因为可以在高温及等离子氛围下也可以稳定地维持物理特性，因此可以延长基板载置用托盘100的寿命（life time），并且可以更加容易地处理基板载置用托盘100。此外，提升基板载置用托盘100的平坦度的同时充分防止其变形，因此利用基板载置用托盘100加热基板200时，可以确保热传达的均匀性，并且可以持续地维持基板200加热效率。
[0090] 另一方面，基板载置用托盘100的主体11上形成所述陶瓷涂层时，所述陶瓷涂层的一部分有可能会发生管脚孔。如上所述的陶瓷涂层上发生管脚孔时，所述薄膜形成的工序期间，所述管脚孔部分会一时性地集中电荷及电流而作用为发生电弧的原因。考虑到这点，根据例示性实施例的基板载置用托盘100，还包括：表面处理层（未图示），由陶瓷粘接剂构成来覆盖所述陶瓷涂层上发生的管脚孔。此时，所述表面处理层可以实质性地填上所述陶瓷涂层的管脚孔。例如，所述表面处理层的陶瓷粘接剂可以由，混合对于水、酸、碱、油、溶剂等具有优秀的抵抗性的无机物的氧化物系陶瓷构成。
[0091] 例示性实施例中，可以弥补如所述陶瓷涂层的管脚孔的缺陷的所述表面处理层，在所述陶瓷涂层的管脚孔发生的部位涂布陶瓷粘接剂后，在常温中执行约24小时的自然固化过程而获得。根据另一实施例，所述表面处理层在涂布所述陶瓷粘接剂后，在常温至约50℃程度的温度中执行约30分钟至90分钟的脱脂过程或脱水过程后，在约100℃至约200℃程度的温度中进行约60分钟至约180分钟的高温固化来获得。又另一实施例中，所述表面处理层在涂布所述陶瓷粘接剂之后，在约100℃至约200℃程度的温度中只执行约
60分钟至180分钟的固化过程来获得。又另一例示性实施例中，所述表面处理层在涂布所述陶瓷粘接剂后，在约100℃至约200℃程度的温度中只进行约60分钟至约180分钟的高温固化过程而获得。换言之，由所述陶瓷粘接剂构成的表面处理层是通过，执行自然固化过程、或连续执行脱脂过程或脱水过程与高温固化过程、或只执行高温固化过程而形成。上述的脱水过程或脱脂过程在执行约30分钟未满的时间时，会无法顺利地构成所述陶瓷粘接剂的脱水或脱脂，与此相反，在执行超过约90分钟时，会导致形成所述表面处理层的工序的效率低下。此外，所述高温固化过程在约100℃未满的温度中执行时，会无法顺利地构成所述陶瓷粘接剂的固化，与此相反，在执行超过约200℃会无法顺利地构成固化的温度中执行时，所述陶瓷粘接剂的基板的碳构成固化的途中会变化为二氧化碳，而导致所述陶瓷粘接剂的基材的密度低下。
60分钟至180分钟的固化过程来获得。又另一例示性实施例中，所述表面处理层在涂布所述陶瓷粘接剂后，在约100℃至约200℃程度的温度中只进行约60分钟至约180分钟的高温固化过程而获得。换言之，由所述陶瓷粘接剂构成的表面处理层是通过，执行自然固化过程、或连续执行脱脂过程或脱水过程与高温固化过程、或只执行高温固化过程而形成。上述的脱水过程或脱脂过程在执行约30分钟未满的时间时，会无法顺利地构成所述陶瓷粘接剂的脱水或脱脂，与此相反，在执行超过约90分钟时，会导致形成所述表面处理层的工序的效率低下。此外，所述高温固化过程在约100℃未满的温度中执行时，会无法顺利地构成所述陶瓷粘接剂的固化，与此相反，在执行超过约200℃会无法顺利地构成固化的温度中执行时，所述陶瓷粘接剂的基板的碳构成固化的途中会变化为二氧化碳，而导致所述陶瓷粘接剂的基材的密度低下。
[0092] 如上所述，根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘100除了所述陶瓷涂层以外还可以具备所述表面处理层，来覆盖所述陶瓷涂层的如管脚孔的缺陷，因此在形成所述薄膜的工序期间可以稳定地维持物理特性。但是，基板载置用托盘100的主体11的第一面上形成所述陶瓷涂层时，空气循环部91的空气流路91b的入口与侧面连接的部分安置为实质性垂直时，会在这种连接部分集中应力，其结果导致所述陶瓷涂层可能从主体11脱离。
[0093] 图13至图15是用于说明图10的空气循环部的空气流路沿D-D'线的剖视图。
[0094] 如图13至图15所示，具有槽结构的空气流路91b的入口与侧面连接部分121倾斜形成，从而可以分散集中于空气流路91b的入口与侧面连接的部分121的应力。由此，可以充分抑制所述陶瓷涂层从空气流路91b的入口与侧面连接部分121脱离的现象。
[0095] 根据例示性实施例，空气流路91b的入口与侧面连接的部分121，如图13中的参照符号121所示，可以形成为向着主体11，以向下方逐渐变窄的结构倾斜。另一例示性实施例中，空气流路91b的入口与侧面连接的部分121，如图14中的参照符号131所示，可以形成为部分倾斜。又另一实施例中，空气流路91b的入口与侧面连接的部分121，如图15中的参照符号141所示，可以以实质性导圆（rounded）结构倾斜形成。另一方面，空气流路91b的端部形成为导圆形状来防止所述陶瓷涂层的脱离。
[0096] 图16是用于说明根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构（extension structure）的平面图。
[0097] 参照图16，可以相互连接多个基板载置用托盘100来实现基板载置用托盘的扩展结构400。即，可以相互连接多个基板载置用托盘100的主体来提供基板载置用托盘的扩展结构400。例如，可以相互连接邻接的基板载置用托盘100的主体来形成基板载置用托盘的扩展结构400。
[0098] 例示性实施例中，多个基板载置用托盘100形成基板载置用托盘的扩展结构400时，相比于一个基板载置用托盘100，基板载置用托盘的扩展结构400会具有更宽的面积。例如，相互连接两个具有约3mm至约15mm程度的厚度与约2000mm×1000mm程度的面积的基板载置用托盘100来形成基板载置用托盘的扩展结构400时，基板载置用托盘的扩展结构400可以具有约2000mm×2000mm程度的增大了的面积。
[0099] 如上所述，利用通过连接两个以上的基板载置用托盘100的基板载置用托盘的扩展结构400可以同时处理更多的基板，因此，可以大大地提升太阳能电池基板的制造中的重要因素之一的生产性。
[0100] 图17至图19是表示根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构的局部剖视图。
[0101] 参照图17，所述基板载置用托盘的扩展结构，将具有凸出部的一个基板载置用托盘100的主体安置为实质性地旋转约90度的“L”字的形状，将具有凸出部的另一个基板载置用托盘100的主体11实质性地安置为镜像的“L”字（实质性地旋转约180度的“L”字）的形状后，相互连接基板载置用托盘100来形成。即，将一个基板载置用托盘100的主体的第一面与另一个基板载置用托盘100的主体的第二面定位为位于同一平面上后，连接为基板载置用托盘100的凸出部实质性重叠，从而实现基板载置用托盘的扩展结构。
[0102] 根据例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构中，实质性旋转约90度的具有“L”字形状的一个基板载置用托盘100的主体与实质性具有镜像的“L”字形状的另一个基板载置用托盘100的主体实质性吻合地连接。此时，基板载置用托盘100的主体的上面与主体之间的界面165上可以形成有陶瓷涂层161。例如，陶瓷涂层161可以从所述主体的表面延长至沿所述主体实质性垂直的方向接触的界面165的中央部。陶瓷涂层161，在所述薄膜形成工序期间，可以防止等离子从所述主体的上面渗透至基板载置用托盘100的主体接触的界面165来损伤基板载置用托盘100。另一方面，连接基板载置用托盘100的主体的界面165的下部可以介入规定的空间163。即，基板载置用托盘100的主体的上部与中央部虽然相互接触，但是所述主体的下部可以相隔规定的间隔。基板载置用托盘100的主体的下部之间提供的空间163在相对高温中执行薄膜形成工序期间，通过收容基板载置用托盘100的收缩及/或膨胀的现象，从而可以防止基板载置用托盘100受损。这种基板载置用托盘100的主体之间的界面165的中央部与下部不形成陶瓷涂层161。
[0103] 参照图18，根据另一例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构，安置具有约旋转90度的“U”字的形状的槽的一个基板载置用托盘100的主体11，在其侧部的中央安置具有凸出部的另一个基板载置用托盘100的主体11之后，将另一个的基板载置用托盘100的主体的凸出部插入到一个基板载置用托盘100的主体的槽中来实施。此时，所述主体的第一面可以位于实质性的同一平面上，所述主体的第二面也位于实质性的同一面上。例示性实施例中，一个基板载置用托盘100的主体的凸出部的长度可以实质性小于另一个基板载置用托盘100的主体的槽的深度。因此，所述主体的侧部之间可以提供有规定的空间173。这种主体之间的空间173在相对高温中执行工序期间，收容基板载置用托盘100的收缩及/或膨胀，来防止基板载置用托盘100的损伤。此外，基板载置用托盘100的主体的上面与所述主体的上部界面175上可以形成陶瓷涂层171。例如，陶瓷涂层171可以从基板载置用托盘100的主体的上面延长至所述主体接触的界面175上部。即，陶瓷涂层171可以不形成于所述主体接触的中央部与下部之间，陶瓷涂层171防止等离子从所述基板载置用托盘的扩展结构的主体11上面沿界面175渗透而损伤基板载置用托盘100。
[0104] 图18中例示的基板载置用托盘的扩展结构虽然是在一个基板载置用托盘100的主体的槽中插入另一个基板载置用托盘100的主体的凸出部来实施，但是一个基板载置用托盘100的主体可以包括两个以上的槽，对应于这些槽的另一个基板载置用托盘100的主体也可以具有两个以上的凸出部。例如，一个基板载置用托盘100的主体11的侧部实质性具备为“E”字的形状，另一个基板载置用托盘100的主体11的侧部形成两个凸出部，从而来连接基板载置用托盘100，由此来实现基板载置用托盘的扩展结构。此时，基板载置用托盘100的主体的槽或凸出部的尺寸可以根据基板载置用托盘100的尺寸而不同。此外，一个基板载置用托盘100的主体的槽的数量可以不与另一个基板载置用托盘100的主体的凸出部的数量对应。即，一个基板载置用托盘100的主体的槽的数量可以比另一个基板载置用托盘100的主体的凸出部的数量少或多。
[0105] 参照图19，根据又另一实施例的基板载置用托盘的扩展结构，一个基板载置用托盘100的主体的侧部具有实质性旋转90度的“L”字的形状，另一个基板载置用托盘100的主体具有实质性镜像的“L”字形状，并通过使用如螺丝的结合部件187连接基板载置用托盘100来进行提供。此处，基板载置用托盘100的主体的上面与底面可以分别位于实质性相同的平面上。因此，结合部件187可以从所述主体的上面贯通至底面。
[0106] 例示于图19的基板载置用托盘的扩展结构的主体的上面，结合部件187的上面及所述主体接触的界面185的上部可以形成陶瓷涂层181。此外，所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的下部之间可以介入规定空间183来相隔。此时，陶瓷涂层181与空间183，分别可以与参照图17说明的陶瓷涂层161与空间163实质性相同或执行实质性类似的功能。例如，陶瓷涂层181可以防止等离子从所述基板载置用托盘的扩展结构的主体上面沿界面
185渗透而损伤基板载置用托盘100。此外，所述基板载置用托盘的扩展结构的主体之间的空间183可以在高温工序期间，收容基板载置用托盘100的收缩或膨胀。另一方面，所述基板载置用托盘的扩张结构的主体之间的界面185的中央部与下部上可以不形成陶瓷涂层
181。
185渗透而损伤基板载置用托盘100。此外，所述基板载置用托盘的扩展结构的主体之间的空间183可以在高温工序期间，收容基板载置用托盘100的收缩或膨胀。另一方面，所述基板载置用托盘的扩张结构的主体之间的界面185的中央部与下部上可以不形成陶瓷涂层
181。
[0107] 参照图17至图19说明的基板载置用托盘的扩展结构中，如果基板载置用托盘100的主体之间不构成相互通电，会导致在所述基板上形成不均匀的薄膜，因此所述基板载置用托盘的扩展结构可以将基板载置用托盘100的主体接地。为了这样的所述基板载置用托盘的扩展结构的主体的接地，基板载置用托盘100的主体接触的界面165、175、185的一部分可以不形成陶瓷涂层161、171、181。
[0108] 如上所述，根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘包括：由碳-碳复合材料构成的主体，因此不仅可以在等离子氛围下的高温工序中稳定地维持物理特性，而且因为可以构成大面积的扩展，因此可以同时处理更多数量的基板。
[0110] 再参照图16，形成基板载置用托盘的扩展结构400时，有必要固定相互连接的基板载置用托盘100的主体。基板载置用托盘的扩展结构400的基板载置用托盘100连接的主体不进行固定时，基板载置用托盘100的主体之间会展开至无需的宽度或在所述主体上面之间发生端差。例示性实施例中，基板载置用托盘的扩展结构400还可以具备连接固定部件300，固定相互连接的基板载置用托盘100的主体。例如，多个连接固定部件300可以连接邻接的基板载置用托盘100的主体的周边部并进行固定。由此，可以提升基板载置用托盘的扩展结构400的结构稳定性。图16中图示的基板载置用托盘的扩展结构400虽然包括两个连接固定部件300，但是连接固定部件300的数量可以根据基板载置用托盘100的尺寸增加或减少。
[0111] 图20至图22是用于说明根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘的扩展结构的连接固定部件的剖视图。图20至图22中，对于与图16相同的部件将使用相同的参照符号。
[0112] 参照图20，所述基板载置用托盘的扩展结构的连接固定部件可以包括：收容部330a与插入部330b。此时，所述连接固定部件的收容部330a可以包括：形成于基板载置用托盘100的主体的周边部的凹槽。根据这些凹槽，所述主体的周边部之间可以形成端差部。所述连接固定部件的插入部330b可以具备凸起，插入收容部330a的凹槽。例如，插入部330b可以具有实质性旋转约180度的“U”字的形状。此外，包括所述凹槽的收容部330a也可以对应于插入部330b来具有实质性旋转约180度的“U”字的形状。图20例示的基板载置用托盘的扩展结构中，所述连接固定部件的插入部330b结合于收容部330a，从而使邻接的基板载置用托盘100相互连接及固定。此处，收容部330a的凹槽的宽度分别可以与插入部330b的凸起的宽度实质性类似或实质性大。例示性实施例中，所述连接固定部件的收容部330a可以将基板载置用托盘100主体的周边部以规定的宽度部分性去除来形成。此外，所述连接固定部件的插入部330b可以由与基板载置用托盘100的主体实质性相同或实质性类似的材料构成。在这种收容部330a中插入插入部330b，从而使基板载置用托盘100连接来形成所述基板载置用托盘的扩展结构。此处，所述连接固定部件具有上述结构，因此可以提升基板载置用托盘100的连接稳定性。
[0113] 参照图21，根据又另一实施例的连接固定部件，可以包括：收容部340a、插入部340b及结合部340c。收容部340a可以部分性去除基板载置用托盘100的主体的上侧端部而形成。例如，邻接的两个主体可以共享一个收容部340a。插入部340b可以插入及固定于收容部340a。插入部340b可以具有与收容部340a实质性类似或实质性小的尺寸。结合部
340c可以从邻接的两个主体的底面形成至插入部340b。例如，结合部340c可以包括：螺丝或管脚，贯通所述主体并埋立于插入部340b。图21中虽然例示了结合部340c包括两个螺丝，但是构成结合部340a的螺丝的数量可以根据基板载置用托盘100的尺寸而不同。如上所述，所述基板载置用托盘的扩展结构，具备如图21所示的连接固定部件时，可以使基板载置用托盘100的主体更加稳定地连接及固定。
340c可以从邻接的两个主体的底面形成至插入部340b。例如，结合部340c可以包括：螺丝或管脚，贯通所述主体并埋立于插入部340b。图21中虽然例示了结合部340c包括两个螺丝，但是构成结合部340a的螺丝的数量可以根据基板载置用托盘100的尺寸而不同。如上所述，所述基板载置用托盘的扩展结构，具备如图21所示的连接固定部件时，可以使基板载置用托盘100的主体更加稳定地连接及固定。
[0114] 参照图22，根据又另一例示性实施例的连接固定部件，可以具备：上部收容部350a、下部收容部351a、上部插入部350b、下部插入部351b及结合部353。上部收容部350a可以形成于邻接的基板载置用托盘100的主体的上侧端部，下部收容部351a可以提供于邻接的主体的下侧端部。即，邻接的两个主体分别可以共享一个上部收容部350a与一个下部收容部351a。此处，上部收容部350a的尺寸可以与下部收容部351的尺寸相同，也可以相异。上部收容部350b与下部收容部351b分别可以插入到上部收容部350a及下部收容部
351a并固定。上部及下部插入部350b、351b可以具有分别与上部及下部收容部350a、351a实质性类似或实质性小的尺寸。结合部353可以贯通下部插入部351b与所述主体的一部分并埋立于上部插入部350b。例如，结合部353可以包括：螺丝或管脚，从下部插入部351b延长至上部插入部350b的一部分。这种结合部353的螺丝数量可以根据基板载置用托盘
100的尺寸而增加或减少。所述基板载置用托盘的扩展结构具备如图22所示的连接固定部件时，可以使基板载置用托盘更加稳定地连接及固定。
351a并固定。上部及下部插入部350b、351b可以具有分别与上部及下部收容部350a、351a实质性类似或实质性小的尺寸。结合部353可以贯通下部插入部351b与所述主体的一部分并埋立于上部插入部350b。例如，结合部353可以包括：螺丝或管脚，从下部插入部351b延长至上部插入部350b的一部分。这种结合部353的螺丝数量可以根据基板载置用托盘
100的尺寸而增加或减少。所述基板载置用托盘的扩展结构具备如图22所示的连接固定部件时，可以使基板载置用托盘更加稳定地连接及固定。
[0115] 例示性实施例的连接固定部件中，图20所示的插入部330b的上面、图21所示的插入部340b的上面及图22所示的上部插入部350b的上面可以位于与分别连接的主体的上面实质性相同的平面上。根据另一例示性实施例，图20所示的插入部330b的上面、图21所示的插入部340b的上面及图22所示的上部插入部350b的上面可以从分别连接的主体的上面以规定的高度凸出。此外，图22所示的下部插入部351b的底面可以位于与所述主体的底面实质性相同的平面上，也可以从所述主体的底面以规定高度向下方凸出。另一方面，图21所述的结合部340c的底面及图22所述的结合部353的底面可以位于与连接的主体的底面实质性相同的平面上，也可以从所述主体的底面以规定高度向下方凸出。
[0116] 根据另一例示性实施例，图20所述的插入部330b、图21所示的插入部340b、图22所示的上部插入部350b及下部插入部351b分别为了防止电弧，可以使用陶瓷、经过陶瓷涂层处理的金属、石墨等来形成。
[0117] 如上所述，连接根据例示性实施例的基板载置用托盘来形成基板载置用托盘的扩展结构时，相互连接的基板载置用托盘的主体会使用一个以上的连接固定部件来进行连接，从而可以防止连接的基板载置用托盘的主体间会展开距离或基板载置用托盘的主体之间发生端差。由此，即使连接多个基板载置用托盘来形成基板载置用托盘的扩展结构时，也可以提升所述基板载置用托盘的扩展结构的稳定性。
[0118] 下面，将对根据本发明的实验例及比较例的基板载置用托盘所具有的物理特性进行说明。
[0119] 根据实验例1的基板载置用托盘是使用正交异向性叠层强化物制造，根据实验例2的基板载置用托盘是使用平织叠层强化物制造。根据实验例的基板载置用托盘是使用无纺布叠层强化物制造，根据比较例的基板载置用托盘是使用以往的由石墨材料构成的基板载置用托盘。此时，根据实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘分别以约7mm程度的厚度为基准具有了相同的面积。下面，表1为测量根据实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘的物理特性的结果。
[0120] 表1
[0121]抗弯强度[MPa] 肖氏硬度 热膨胀系数[X10-6/°C]
实验例1 140-160 72-81 0.5-2.0
实验例2 150-170 70-82 0.2-0.5
实验例3 130-150 77-85 0.1-0.3
比较例 40-60 45-60 48-5.5
实验例1 140-160 72-81 0.5-2.0
实验例2 150-170 70-82 0.2-0.5
实验例3 130-150 77-85 0.1-0.3
比较例 40-60 45-60 48-5.5
[0122] 抗弯强度（flexural strength）评价
[0123] 对于实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘，根据[KSL1591]的实验规定，经过数次来测量了抗弯强度。
[0124] 如上述表1所示，根据实验例1的基板载置用托盘的抗弯强度为约140MPa至约160MPa程度，根据实验例2的基板载置用托盘的抗弯强度为约150MPa至约170MPa程度。
根据实验例3的基板载置用托盘的抗弯强度为约130MPa至约150MPa程度，根据比较例的基板载置用托盘的抗弯强度为约40MPa至约60MPa程度。
根据实验例3的基板载置用托盘的抗弯强度为约130MPa至约150MPa程度，根据比较例的基板载置用托盘的抗弯强度为约40MPa至约60MPa程度。
[0125] 从根据实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘的抗弯强度测量结果可知，根据本发明的基板载置用托盘相比于以往的基板载置用托盘具有至少提升了三倍以上的抗弯强度。由此可以确认，根据本发明的基板载置用托盘相比于以往由石墨材料构成的基板载置用托盘，可以具有相对薄的厚度的同时可以具有更宽广的面积，并且可以具有得到大大提升的强度。
[0126] 肖氏硬度（Shore hardness）评价
[0127] 对于实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘，根据[KSL0807]的实验规定，经过数次来测量了肖氏硬度。
[0128] 如上述表1所示，根据实验例1的基板载置用托盘的肖氏硬度为约72至约81程度，根据实验例2的基板载置用托盘的肖氏硬度为约70至约82程度。根据实验例3的基板载置用托盘的肖氏硬度为约77至约85程度，根据比较例的基板载置用托盘的肖氏硬度为约45至约60程度。
[0129] 从根据实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘的肖氏硬度测量结果可知，根据本发明的基板载置用托盘相比于以往的基板载置用托盘具有更优秀的肖氏硬度特性。
[0130] 热膨胀系数（Thermal expansion coefficient）评价单位（×10-6/℃）[0131] 对于实验例1至实验例3与比较例的基板载置用托盘，在约1200℃程度的温度中，根据[KSLM ISO12987]的实验规定，经过数次来测量了热膨胀系数。
[0132] 如上述表1所示，根据实验例1的基板载置用托盘的热膨胀系数为约0.5×10-6/℃-6 -6至约2.0×10 /℃程度，根据实验例2的基板载置用托盘的热膨胀系数为约0.2×10 /℃至-6 -6
约0.5×10 /℃程度。根据实验例3的基板载置用托盘的热膨胀系数为约0.1×10 /℃至-6 -6
约0.3×10 /℃程度，根据比较例的基板载置用托盘的热膨胀系数为约4.8×10 /℃至约-6
5.5×10 /℃程度。
约0.5×10 /℃程度。根据实验例3的基板载置用托盘的热膨胀系数为约0.1×10 /℃至-6 -6
约0.3×10 /℃程度，根据比较例的基板载置用托盘的热膨胀系数为约4.8×10 /℃至约-6
5.5×10 /℃程度。
[0133] 从根据实验例1的基板载置用托盘的热膨胀系数测量结果可知，根据本发明的基板载置用托盘相比于以往的基板载置用托盘具有更优秀的热膨胀系数。由此可以确认，根据本发明的基板载置用托盘相比于以往的石墨材料的基板载置用托盘具有更优秀的热耐久性。
[0134] 图23是表示根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的平面图，图24是表示图23的太阳能电池基板载置用托盘的剖视图。
[0135] 参照图23及图24，基板载置用托盘500在使用等离子体增强化学气相沉积装置来在太阳能电池基板上形成如防反射膜等的薄膜期间，可以载置多个基板600。例示性实施例中，基板载置用托盘500可以具备：主体511、陶瓷涂层515、引导部513等。
[0136] 根据例示性实施例，主体511可以包括：第一面（例如，上面）、第二面（例如，底面）及侧面。例如，基板载置用托盘500的主体511可以具有实质性平坦的板形状。主体511的第一面上可以安置多个基板600，从而执行在基板600上形成薄膜的工序。主体511的第二面可以实质性与安置于主体511的下面热源（未图示）对望。例如，邻接于主体511的第二面的所述热源，可以包括：加热板、加热灯等，来用于对载置于基板载置用托盘500的基板600进行加热。所述热源可以安置于主体511的第二面的下面，也可以安置于将基板600加热至规定温度的范围内邻接于主体511的位置。
[0137] 在基板600上形成所述薄膜的工序是在约300℃至约700℃程度的相对高温与等离子氛围下执行，因此需要使用在高温及等离子氛围下也可以稳定地维持物理特性的材料来形成主体511。例如，基板载置用托盘500的主体511可以由石墨、碳-碳复合材料等构成。基板载置用托盘500的主体511可以包括：由碳-碳复合材料构成时，主体511通过织造碳纤维强化复合材料而制造的织物；或将碳纤维强化复合材料制造为无纺布形态的织物。
[0138] 例示性实施例中，基板载置用托盘500的主体511可以具有叠层两个以上织物的强化的结构。例如，基板载置用托盘500的主体511，可以包括：平织叠层强化物，具有叠层通过织造碳纤维强化复合材料来制造的两个以上的织物的结构。此外，主体511，可以包括：斜纹叠层强化物，具有叠层两个以上斜纹织造的织物的结构；或者缎纹叠层强化物，具有叠层两个以上的缎纹织造的织物结构。另一方面，主体511，也可以包括：正交异方性叠层强化物，具有以相异方向叠层两个以上的以异方向织造的织物的结构。
[0139] 例示性实施例中，基板载置用托盘500，可以包括：陶瓷涂层515，形成于主体511的第一面与侧面上。根据另一例示性实施例，陶瓷涂层515也可以形成于主体511的第二面的边缘部位（即，周边部）上。陶瓷涂层515，在包括石墨或碳-碳复合材料的基板载置用托盘500的主体511使用等离子体增强化学气相沉积装置来在太阳能电池基板上形成如反射薄膜等的薄膜形成工序期间，可以防止由高温及等离子导致的腐蚀或蚀刻。
[0140] 根据例示性实施例，陶瓷涂层515可以包括：铝氧化物、钇氧化物、锆氧化物等的氧化物系陶瓷。可以对它们进行单独使用或相互组合使用。此外，陶瓷涂层515，可以利用大气等离子喷涂（APS）涂层工序、高速氧燃料喷涂（HVOF）工序、真空等离子喷漆（VPS）工序、动力喷雾（kinetic spray）涂层工序等来形成。例如，陶瓷涂层515可以通过，将由铝氧化物、钇氧化物、锆氧化物等构成的喷涂涂层粉末通过大气等离子喷涂涂层工序来喷射到基板载置用托盘500的主体511上来获得。
[0141] 另一例示性实施例中，陶瓷涂层515，除了上述的氧化物系陶瓷以外，还可以包括：铝氮化物、硅碳化物等非氧化物系陶瓷。陶瓷涂层515包括非氧化物系陶瓷时，可以利用动力喷雾涂层工序、气雾蒸镀工序等来将陶瓷涂层515形成于主体511上。
[0142] 陶瓷涂层515具有约100μm未□的厚度□，主体511的一部分上有可能无法充分地形成陶瓷涂层515。此时，会导致主体511露出或陶瓷涂层515发生管脚孔，并由高温及等离子导致陶瓷涂层515受损。陶瓷涂层515具有超过约400μm的厚度□，主体511与陶瓷涂层515之间粘附力会低下导致陶瓷涂层515从主体511脱离，从而不仅导致基板载置用托盘500的表面的平坦度低下，而且会导致基板载置用托盘500的中心部弯曲。因此，陶瓷涂层515可以以主体511的表面为基准，以约100μm至□400μm厚度形成。
[0143] 例示性实施例中，陶瓷涂层515可以形成于主体511的第一面与侧面上，此外，可以向主体511的第二面的周边部上延长。由此，陶瓷涂层515，在所述薄膜形成工序期间，可以保护暴露于高温及等离子的主体511的第一面、主体511的侧面及主体511的第二面的周边部。
[0144] 根据例示性的实施例，因为基板载置用托盘500可以具备形成于主体511上的陶瓷涂层515，因此基板600上形成薄膜时，可以防止由高温及等离子导致的主体511腐蚀或蚀刻。因为包括陶瓷涂层515的基板载置用托盘500在高温及等离子氛围下也可以稳定地维持物理特性，因此可以延长基板载置用托盘500的寿命，而且可以使基板载置用托盘500更加容易处理，还可以充分防止基板载置用托盘500的平坦度低下。其结果为，利用基板载置用托盘500来加热基板600时，可以持续地维持基板600的热传达均匀性及加热效率。
[0145] 另一方面，基板载置用托盘500的主体511上形成陶瓷涂层515时，陶瓷涂层515的一部分上会发生管脚孔。例如，由石墨构成的基板载置用托盘500的主体511上形成陶瓷涂层515时，陶瓷涂层515上几乎可以不发生管脚孔。相比于此，由碳-碳复合材料构成的基板载置用托盘500的主体511上形成陶瓷涂层515时，陶瓷涂层515的一部分上可以发生管脚孔。陶瓷涂层515上形成管脚孔时，所述薄膜形成工序期间，所述管脚孔部会因为一时性地电荷及电流集中导致发生电弧现象。
[0146] 例示性实施例中，考虑到陶瓷涂层515的管脚孔的生成，在包括所述管脚孔的陶瓷涂层515的一部分上，还形成由陶瓷粘接剂构成的表面处理层（未图示）。例如，所述表面处理层填平所述管脚孔，并且形成于陶瓷涂层515的一部分上。此处，所述表面处理层的陶瓷粘接剂可以由，混合有对于水、酸、碱、油、溶剂等具有优秀的抵抗性的无机物的氧化物系陶瓷构成。
[0147] 例示性实施例中，陶瓷涂层515的管脚孔发生的部分上涂布所述陶瓷粘接剂后，在常温中执行约24小时的自然固化工序来获得所述表面处理层。根据另一例示性实施例，在常温至约50℃的温度下，对涂布于陶瓷涂层515的管脚孔发生部分上的陶瓷粘接剂进行约30分钟至约90分钟的脱脂过程或脱水过程后，在约100℃至约200℃的温度下执行约60分钟至约180分钟的高温固化工序来形成所述表面处理层。又另一例示性实施例中，只在约100℃至约200℃程度的温度下，对涂布于陶瓷涂层515的管脚孔发生的部分上的陶瓷粘接剂进行约60分钟至约180分钟的高温固化工序来形成所述表面处理层。即，由所述陶瓷粘接剂构成的表面处理层，可以利用自然固化工序、后续于脱脂过程或脱水过程的高温固化过程、或高温固化过程等来形成。所述脱水过程或所述脱脂过程执行约30分钟未满时，无法顺利地构成所述陶瓷粘接剂的脱水或脱脂。所述脱水过程或所述脱脂过程执行超过约90分钟时，会使形成所述表面处理层的工序效率低下。此外，所述高温固化过程在约100℃未满的温度下执行时，无法顺利地完成陶瓷粘接剂的硬化；所述高温固化过程在约200℃以上的温度下执行时，所述陶瓷粘接剂内的碳在构成固化的途中会变化为二氧化碳而导致所述表面处理层的密度低下。
[0148] 根据本发明的例示性实施例，基板载置用托盘500，处理陶瓷涂层515以外，还可以包括：表面处理层，用于覆盖所述薄膜形成工序的缺陷导致发生的陶瓷涂层515的管脚孔。由此，基板载置用托盘500可以维持更加稳定的物理特性，并且可以在基板600上形成无缺陷、均匀地形成薄膜。
[0149] 另一例示性实施例中，所述表面处理层不仅在陶瓷粘接剂515发生管脚孔的部分上，而且还可以形成于排列在后述的主体511的第一面上的引导部513的管脚的周边部与不形成陶瓷涂层515主体511的一部分上。此外，由所述陶瓷粘接剂构成的表面处理层也可以形成与陶瓷涂层515容易从主体511脱离的部分上。此处，陶瓷涂层515容易从主体511脱离的部分可以对应为，引导部513的管脚安置的部分、后述的空气流路的入口与侧面连接的部分等应力集中的陶瓷涂层515的一部分。所述表面处理层形成与陶瓷涂层515容易从主体511脱离的部分上时，可以进一步提升基板600上形成的所述薄膜的均匀性。
[0150] 利用基板载置用托盘500的所述薄膜形成工序期间，因为在基板载置用托盘500上载置多个基板600，因此多个基板600可以安置于主体511的第一面上相互相隔的规定位置。此时，主体511上提供引导部513，可以引导基板600，来使基板600载置于主体511的第一面上的规定位置。例如，主体511的第一面上载置两张以上基板600时，引导部513可以引导基板600相互分离到规定的位置。
[0151] 例示性实施例中，引导部513，可以包括：袋部（pocket）531，凹雕加工于主体511的第一面，来将载置于主体511的第一面上的基板600各自相互分离并收容。例如，可以以规定的形状去除主体511的一部分来形成袋部531。执行用于形成所述薄膜的工序时，基板600分别可以收容于引导部513的袋部531内。另一例示性实施例中，引导部513可以包括：从主体511以规定高度凸出的袋部。例如，凸雕加工主体511来形成袋部531。
[0152] 图25是表示根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的引导部的剖视图。
[0153] 参照图25，引导部513可以包括：管脚（pin）551，排列于主体511的第一面上，来将载置于主体511的第一面上的基板各自相互分离并收容。在基板600上执行形成所述薄膜的工序时，可以使基板600位于管脚551限定的区域内。例如，引导部513的管脚551分别可以由，陶瓷、金属、石墨、碳-碳复合材料、经过阳极化处理的材料、陶瓷涂层处理的材料等来构成。引导部513的管脚551在所述薄膜形成工序期间有可能作用为发生电弧（arcing）的因素，因此管脚551更优选为，由陶瓷或陶瓷涂层处理的材料构成。
[0154] 另一例示性实施例中，基板载置用托盘500的引导部513，可以包括：孔形状的贯通袋；及凸出管脚，从所述贯通袋的侧面凸出，来支持收纳于这种贯通袋的基板600的底面。如上所述，通过引导部513可以支持基板600的底面来向主体511的下侧方向露出。包括所述贯通袋及所述凸出管脚的引导部513因为可以使基板600的底面露出，因此可以使薄膜更加容易地形成于基板600的底面上。例如，所述凸出管脚可以包括：陶瓷、金属、石墨、碳-碳复合材料、经过阳极化处理的材料、陶瓷涂层处理的材料等。所述凸出管脚更加优选为包括：作为导电性材料的金属，从而在执行所述薄膜形成工序期间，使所述薄膜更加顺利地形成于基板600上。
[0155] 如上所述，基板载置用托盘500可以具备具有多种结构的引导部13。由此，基板载置用托盘500的结构可以根据多种要求来进行适当地变更。
[0156] 图26是用于说明根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的空气循环部平面图，图27及图28是用于说明利用图26的空气循环部来载置基板的过程的剖视图。
[0157] 参照图26，太阳能电池基板载置用托盘的空气循环部591，可以在基板600分别在基板载置用托盘500的主体511的第一面上部进行移送期间，向基板600的底面上提供空气。从基板载置用托盘500的主体511的第一面卸载基板600时，基板600的底面与主体511的第一面之间会发生空气阻力，其结果导致无法构成基板600顺利地卸载。例如，将基板600从基板载置用托盘500的主体511卸载时，因瞬间发生于基板600的底面的空气阻力导致基板600不从基板载置用托盘500脱离。从基板载置用托盘500的主体511卸载基板600时，空气循环部591向基板600的底面上提供空气，来减少上述的空气阻力，从而使基板600顺利地卸载。
[0158] 例示性实施例中，空气循环部591，可以具备：空气孔591a，从主体511的第二面贯通至主体511的第一面，从而在基板600载置于规定位置时，自然地向基板600的底面提供空气；及空气流路591b，在主体511的第一面上与空气孔591a联通，并具有槽形状。
[0159] 参照图27及图28，将基板600从基板载置用托盘500的主体511的上部卸载时，通过空气循环部591进行循环来向基板600的底面自然地供给空气。如上所述，随着基板600的底面与基板载置用托盘500的主体511之间发生的空气阻力减小，基板600可以顺利地从基板载置用托盘500的主体511卸载。即，利用空气循环部591自然地进行空气循环，由此可以更加稳定地卸载基板600。
[0160] 根据例示性实施例，空气循环部591，在基板600加载到主体511上时，也可以自然地向基板600的底面上提供空气，从而可以有效地放置，因基板600的底面发生的空气压力导致基板600从主体511滑动的现象。如上所述，基板载置用托盘500具备空气供给部591时，可以更加容易且稳定地处理基板600。
[0161] 例示性实施例中，基板载置用托盘500的主体511的底面上形成陶瓷涂层515情况下，空气流路591b的入口与侧面连接的部分垂直时，应力会集中于这种连接部分，其结果导致陶瓷涂层515从主体511脱离。因此，空气流路519的槽形状的入口与侧面连接的部分形成如向下方变窄的结构、实质性导圆的结构等倾斜地形成，由此可以分散集中于空气流路591b的入口与侧面连接部分的应力，其结果为，可以有效地放置空气流路591b的入口与侧面连接的部分中的陶瓷涂层515脱离的现象。
[0162] 图29是表示根据本发明的另一例示性实施例的太阳能电池基板载置用托盘的扩展结构的平面图，图30是用于说明图29的太阳能电池基板载置用托盘的扩展结构的陶瓷涂层的剖视图。
[0163] 参照图29，可以相互连接基板载置用托盘500的主体来形成基板载置用托盘的扩展结构700。例如，相互连接两个以上的基板载置用托盘500的主体来实现基板载置用托盘的扩展结构700。连接至少两个基板载置用托盘500来形成基板载置用托盘的扩展结构700时，可以大大提升太阳能电池基板的制造中作用为重要因素的生产性。
[0164] 参照图30，相互连接基板载置用托盘500的主体来形成基板载置用托盘的扩展结构700时，形成于所述主体上的陶瓷涂层515的部分可以具有相异的厚度。例如，所述薄膜形成工序期间，作为受到高温及等离子影响相对较大的部分的所述主体的上面可以形成相对较厚的陶瓷涂层515，作为受到高温及等离子影响相对较小的所述主体的侧面F与底面F'的周边部上可以形成相对较薄的陶瓷涂层515。
[0165] 如上所述，连接基板载置用托盘500来形成基板载置用托盘的扩展结构700时，基板载置用托盘500的主体相互连接的部分（例如，从基板载置用托盘的扩展结构700的主体上面连接至底面的部分E、E'），因为在所述薄膜形成工序期间受到高温及等离子影响的作用相对较小，因此可以形成相对较薄的陶瓷涂层515。
[0166] 根据本发明的例示性实施例，基板载置用托盘的扩展结构700的主体的侧面F及底面F'的周边部与所述主体相互连接的部分E、E'上的陶瓷涂层515的厚度相比于所述主体的其他部分上的陶瓷涂层515的厚度可以实质性薄。例如，所述主体相互连接的部分E、E'上的陶瓷涂层515的厚度可以为约100μm至200μm程度，包括所述主体的上面的其他部分上的陶瓷涂层515的厚度可以为约150μm至□400μm。
[0167] 例示性实施例中，基板载置用托盘的扩展结构700，如图29所示，安置具有约旋转90度的“U”字的形状的槽的一个基板载置用托盘500的主体，在另一个基板载置用托盘
500的主体上形成凸出部之后，将另一个主体的凸出部插入到一个主体的槽中来形成。基板载置用托盘的扩展结构700，在相互连接具有分别旋转90度的“U”字形状的槽与凸出部的主体来形成时，基板载置用托盘的扩展结构700的主体的上面及从这些上面连接向下侧方向的界面上可以形成有陶瓷涂层515，所述主体的侧面的中央部可以介入规定的空间来相互相隔。形成于所述主体之间的界面上的陶瓷涂层515可以防止，等离子从基板载置用托盘的扩展结构700的主体的上面沿向底面方向连接的界面渗透，导致损伤基板载置用托盘
500。此外，随着所述主体的侧面部分性相隔，在高温工序期间可以收容基板载置用托盘500的收缩及/或膨胀。此外，基板载置用托盘的扩展结构700的主体之间的界面上不形成陶瓷涂层515，来使基板载置用托盘500接触。形成基板载置用托盘的扩展结构700时，基板载置用托盘500之间不构成通电时，所述薄膜会实质性不均匀地形成于所述基板上，因此可以接触基板载置用托盘500来形成基板载置用托盘的扩展结构700。为了这种接触，基板载置用托盘的扩展结构700的主体的一部分上可以不形成陶瓷涂层515。
500的主体上形成凸出部之后，将另一个主体的凸出部插入到一个主体的槽中来形成。基板载置用托盘的扩展结构700，在相互连接具有分别旋转90度的“U”字形状的槽与凸出部的主体来形成时，基板载置用托盘的扩展结构700的主体的上面及从这些上面连接向下侧方向的界面上可以形成有陶瓷涂层515，所述主体的侧面的中央部可以介入规定的空间来相互相隔。形成于所述主体之间的界面上的陶瓷涂层515可以防止，等离子从基板载置用托盘的扩展结构700的主体的上面沿向底面方向连接的界面渗透，导致损伤基板载置用托盘
500。此外，随着所述主体的侧面部分性相隔，在高温工序期间可以收容基板载置用托盘500的收缩及/或膨胀。此外，基板载置用托盘的扩展结构700的主体之间的界面上不形成陶瓷涂层515，来使基板载置用托盘500接触。形成基板载置用托盘的扩展结构700时，基板载置用托盘500之间不构成通电时，所述薄膜会实质性不均匀地形成于所述基板上，因此可以接触基板载置用托盘500来形成基板载置用托盘的扩展结构700。为了这种接触，基板载置用托盘的扩展结构700的主体的一部分上可以不形成陶瓷涂层515。
[0168] 根据例示性实施例，连接基板载置用托盘500来形成基板载置用托盘的扩展结构700时，还可以具备连接固定部件550，用于固定相互连接的主体。随着基板载置用托盘的扩展结构700具备连接固定部件550，可以提升所述主体的连接及固定的稳定性，由此可以改善，基板载置用托盘的扩展结构700的结构稳定性。这种连接固定部件550，可以与参照图20至图22说明的连接固定部件300实质性相同或具有实质性类似的结构。
[0169] 下面，对根据本发明的实验例的基板载置用托盘的陶瓷涂层的特性进行说明。
[0170] 实验例4中，制造了基板载置用托盘，包括：利用大气等离子喷涂涂层工序在由正交异向性强化物构成的主体上涂布铝氧化物的陶瓷涂层。此时，根据实验例4的陶瓷涂层的厚度为约100μm程度。□□例5中，除了陶瓷涂层具有约250μm的厚度以外，制造了□□□例4相同的基板载置用托盘。实验例6中，除了陶瓷涂层具有约350μm的厚度以外，制造了与实验例4相同的基板载置用托盘。根据实验例7，除了陶瓷涂层具有约400μm的厚度以外，制造了□□□例4相同的基板载置用托盘。实验例8中，除了陶瓷涂层具有约90μm的厚度以外，制造了□□□例4相同的基板载置用托盘。根据实验例9，除了陶瓷涂层具有约410μm的厚度以外，制造了与实验例4相同的基板载置用托盘。下面，表2为测量包括根据实验例4至实验例9的陶瓷涂层的基板载置用托盘的特性的结果。
[0171] 表2
[0172]托盘的平坦度 线材弯曲[mm] 主体露出 粘附力[MPa]
实验例40.65 1.2 x 6.2
实验例50.71 0.7 x 6.7
实验例60.98 1.5 x 5.8
实验例71.72 2.5 x 5.9
实验例80.68 1 o 5.8
实验例92.98 4.5 x 4.5
实验例40.65 1.2 x 6.2
实验例50.71 0.7 x 6.7
实验例60.98 1.5 x 5.8
实验例71.72 2.5 x 5.9
实验例80.68 1 o 5.8
实验例92.98 4.5 x 4.5
[0173] 基板载置用托盘的平坦度评价
[0174] 根据实验例4至实验例9的基板载置用托盘的平坦度是分别都是将25个地点的测量值计算为平均值。如所述表2所示，根据实验例4的基板载置用托盘的平坦度为约0.65程度，根据实验例5的基板载置用托盘的平坦度为约0.71程度，根据实验例6的基板载置用托盘的平坦度为约0.98程度，根据实验例7的基板载置用托盘的平坦度为约1.72程度，根据实验例8的基板载置用托盘的平坦度为约0.68程度，根据实验例9的基板载置用托盘的平坦度为约2.98程度。
[0175] 从根据实验例4至实验例9的基板载置用托盘的平坦度的确认结果可知，基板载置用托盘的主体上形成超过约400μm的厚度的陶瓷涂□□，基板载置用托盘的平坦度会低下。
[0176] 基板载置用托盘的线材弯曲评价
[0177] 基板载置用托盘的线材弯曲测量中，分别将根据实验例4至实验例9的基板载置用托盘垂直立起，在两侧连接线材来测量了根据实验例4至实验例9的基板载置用托盘的各个中心部位的弯曲程度。如所述表2所示，根据实验例4的基板载置用托盘弯曲了约1.2mm程度，根据实验例5的基板载置用托盘弯曲了约0.7mm程度，根据实验例6的基板载置用托盘弯曲了约1.5mm程度，根据实验例7的基板载置用托盘弯曲了约2.5mm程度，根据实验例8的基板载置用托盘弯曲了约1.0mm程度，根据实验例9的基板载置用托盘弯曲了约4.5mm程度。
[0178] 从根据实验例4至实验例9的基板载置用托盘的线材弯曲评价结果可知，基板载置用托盘的主体上形成超过约400μm的厚度的陶瓷涂□□基板载置用托盘会弯曲得相对更大。
[0179] 基板载置用托盘的主体（母材）露出评价
[0180] 通过肉眼观察来执行了根据实验例4至9的基板载置用托盘的母材（主体）露出评价。如所述表2所示，根据实验例4至实验例7及实验例9的基板载置用托盘的情况下未确认到母材露出，但是根据实验例8的基板载置用托盘的情况下确认到了母材露出。
[0181] 从根据实验例4至9的基板载置用托盘的母材（主体）露出评价可知，基板载置用托盘的主体上形成约100μm未□厚度的陶瓷涂□□，作□母材的主体会露出。
[0182] 陶瓷涂层的粘附力评价
[0183] 如所述表2所示，测量根据实验例4至实验例9的陶瓷涂层的粘附力的结果为，根据实验例4的陶瓷涂层的粘附力为约6.2MPa程度，根据实验例5的陶瓷涂层的粘附力为约6.7MPa程度，根据实验例6的陶瓷涂层的粘附力为约5.8MPa程度，根据实验例7的陶瓷涂层的粘附力为约5.9MPa程度，根据实验例8的陶瓷涂层的粘附力为约5.8MPa程度，根据实验例9的陶瓷涂层的粘附力为约4.5MPa程度。
[0184] 从根据实验例4至实验例9的陶瓷涂层的粘附力评价结果可知，基板载置用托盘的主体上形成超过约400μm厚度的陶瓷涂层时，对于所述主体的陶瓷涂层的粘附力会低下。
[0185] 从上述实验例4至实验例9可知，根据本发明的陶瓷涂层，以基板载置用托盘的主体的上面为基准形成约100μm至□400μm程度的厚度□，所述基板载置用托盘的物理特性可以得到提升。
[0187] 根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘，在太阳能电池基板上形成薄膜时，在等离子环境的高温工序中也可以稳定地维持物理特性，还可以具有可以载置更多数量的基板的大面积。由此，可以提升利用所述基板载置用托盘在所述基板上形成薄膜的工序的可靠性，也可以提升太阳能电池基板制造工序的生产性。此外，可以连接所述基板载置用托盘来容易形成基板载置用托盘的扩展结构，因此可以更加提升基板制造工序的生产性。
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