专利汇可以提供一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种用于 电子 束 蒸发 的 半导体 外延 片夹具,包括:一 支撑 板(11);四个金属针状样品夹(12);一辅助样品夹金属板(13);二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14);四个金属针状样品夹固定螺丝(15);以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。本发明提供的用于 电子束蒸发 的半导体外延片夹具,简单易行,对样品大小及形状没有限制、 传热 性能好、样品无遮挡。,下面是一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具专利的具体信息内容。
1.一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,包括:
一支撑板(11);
四个金属针状样品夹(12);
一辅助样品夹金属板(13);
二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14);
四个金属针状样品夹固定螺丝(15);以及
四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。
2.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述支撑板(11)采用铝合金材料。
3.根据权利要求2所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述支撑板(11)为圆形,直径小于4英寸,厚度小于3mm。
4.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述金属针状样品夹(12)采用细钨丝材料。
5.根据权利要求4所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述四个金属针状样品夹(12)采用细钨丝材料直径小于1mm。
6.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述辅助样品夹金属板(13)采用铝合金材料。
7.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述辅助样品夹金属板(13)为矩形且具有陡直的直角边。
8.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述辅助样品夹金属板固定螺丝(14)型号为M4的铜螺栓。
9.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述金属针状样品夹固定螺丝(15)型号为M6的铜螺栓。
10.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具,其特征在于,所述四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)以四个金属针状样品夹固定螺丝(15)的各自中心为圆心。
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