专利汇可以提供光纤端面微细加工方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且光纤端面 微细加工 方法属于微细加工技术领域。本 发明 具体方法如下:(1)在光纤端面 喷涂 光刻 胶 形成均匀光刻胶层;(2)将光纤端面前烘;(3)导入带自对准的掩膜板微孔,对光刻胶进行曝光,显影,并进行后烘;(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行 刻蚀 ,得到所需的光纤端面形状和结构。本发明采用带自对准的掩膜板解决了光纤端面加工技术难,对准程度低的问题,实现对光纤端面进行任意形状和结构的加工。,下面是光纤端面微细加工方法专利的具体信息内容。
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