一种旋涂机底盘
阅读：592发布：2020-05-11
专利汇可以提供一种旋涂机底盘专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 旋涂 机 底盘，包括 底板 、 压板 、 垫 块 和固定装置，压板放置于底板上面，中间通过垫块分隔开，所述固定装置包括 螺母 和 螺栓 ，螺栓贯穿底板和压板，并通过螺母旋紧固定，本实用新型操作简单安全，节省实验时间。，下面是一种旋涂机底盘专利的具体信息内容。
一种旋涂机底盘
技术领域
[0001] 本实用新型涉及实验设备领域，具体涉及一种旋涂机底盘。
背景技术
[0002] 旋涂机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
[0005] 本实用新型所述旋涂机底盘，包括底板、压板、垫块和固定装置，压板放置于底板上面，中间通过垫块分隔开，所述固定装置包括螺母和螺栓，螺栓贯穿底板和压板，并通过螺母旋紧固定。本实用新型采用螺母螺栓固定方式代替吸附方式固定，避免了每次实验抽真空的繁琐，节省了大量的试验时间，使得实验更加方便易操作，解决了现有技术操作有危险的缺点，使实验人员操作更加方便安全。
[0006] 所述垫块可伸缩，使得本实用新型可用于不同规格基片旋涂。
[0007] 所述压板、垫块、螺母和螺栓分别有四个，此种固定方式更加牢靠，避免高速旋转时基片飞出。
[0008] 本实用新型相比现有技术，具有以下有益效果：避免了每次实验抽真空的繁琐，节省了大量的试验时间，使得实验更加方便易操作；解决了现有技术操作有危险的缺点，使实验人员操作更加方便安全；该装置不用真空泵即可使用旋涂机，节约了实验室空间。附图说明
[0009] 图1为本实用新型剖视图；
[0010] 图2为本实用新型俯视图；
[0011] 其中：1-底片、2-基片、3-垫块、4-压板、5-螺母、6-螺栓。
具体实施方式
[0012] 本实用新型主要应用于薄膜制作工艺中，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
[0013] 如图1所示，本实用新型包括底板1、压板4、垫块3、螺母5和螺栓6，压板4放置于底板1上面，中间通过垫块3分隔开，螺栓6贯穿底板1和压板4，并通过螺母5旋紧固定。
[0014] 本实用新型工作过程如下：
[0015] 使用前将螺母5与压板4去除，将基片2放于底板1上，使用垫块3、压板4将基片2压住，拧紧螺母5将其固定，即可打开旋涂机开始旋涂。
[0016] 本实用新型避免了每次实验抽真空的繁琐，节省了大量的试验时间，使得实验更加方便易操作；解决了现有技术操作有危险的缺点，使实验人员操作更加方便安全；该装置不用真空泵即可使用旋涂机，节约了实验室空间。
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