一种用于旋涂机的旋涂盘专利检索-旋涂机表面处理和涂层专利检索查询-专利查询网

一种用于 旋涂机的旋涂盘

阅读：546发布：2020-05-11

专利汇可以提供一种用于旋涂机的旋涂盘专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型提供一种用于旋涂机的旋涂盘，包括旋涂盘本体，旋涂盘本体上端面的中部开设有凹槽，凹槽相对的两个槽边相互平行，旋涂盘本体上端面的中心处还开设有圆形槽，圆形槽的直径为1.5‑2cm，圆形槽开设于凹槽内，圆形槽的底部还开设有贯通旋涂盘本体的抽真空孔。以解决现有旋涂盘的基材固定方式不合理，基材旋涂不充分的问题。本实用新型属于材料表面涂覆设备领域。，下面是一种用于旋涂机的旋涂盘专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种用于旋涂机的旋涂盘，包括旋涂盘本体(1)，其特征在于：旋涂盘本体(1)上端面的中部开设有凹槽(11)，凹槽(11)相对的两个槽边相互平行，旋涂盘本体(1)上端面的中心处还开设有圆形槽(12)，圆形槽(12)的直径为1.5-2cm，圆形槽(12)开设于凹槽(11)内，圆形槽(12)的底部还开设有贯通旋涂盘本体(1)的抽真空孔(13)。
2.根据权利要求1所述一种用于旋涂机的旋涂盘，其特征在于：旋涂盘本体(1)的上端面上还开设有环形的涂覆液回收槽(14)，涂覆液回收槽(14)的直径大于凹槽(11)的宽度，且涂覆液回收槽(14)与凹槽(11)和圆形槽(12)直接或间接连通，涂覆液回收槽(14)与圆形槽(12)的下侧侧壁通过连通孔(15)相连通。
3.根据权利要求1所述一种用于旋涂机的旋涂盘，其特征在于：圆形槽(12)替换为方形槽或三角形槽。
4.根据权利要求1所述一种用于旋涂机的旋涂盘，其特征在于：旋涂盘本体(1)的四周还设置有筒形的防护罩(2)，防护罩(2)的上端设置有桶盖(3)。
5.根据权利要求4所述一种用于旋涂机的旋涂盘，其特征在于：防护罩(2)和桶盖(3)均为透明结构。

说明书全文

一种用于旋涂机的旋涂盘

技术领域

[0001] 本实用新型涉及一种旋涂装置，属于材料表面涂覆设备领域。

背景技术

[0002] 旋涂机又称匀胶机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机等，适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶(sol-gel)实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

[0003] 旋涂机的旋涂盘用于放置涂胶基材并在旋涂盘内对基材进行涂胶，现有旋涂盘内基材的固定效果较差，且无法固定尺寸较小的基材，只能针对大尺寸且结构规则的基材进行固定旋涂，无法选定涂胶尺寸，即涂胶后的基材无法直接适用于扫描电子显微镜(SEM)观察形貌。发明内容

[0004] 本实用新型的目的在于：提供一种用于旋涂机的旋涂盘，以解决现有旋涂盘的基材固定方式不合理，基材旋涂不充分的问题。

[0005] 为解决上述问题，拟采用这样一种用于旋涂机的旋涂盘，包括旋涂盘本体，旋涂盘本体上端面的中部开设有凹槽，凹槽相对的两个槽边相互平行，旋涂盘本体上端面的中心处还开设有圆形槽，圆形槽的直径为1.5-2cm，圆形槽开设于凹槽内，圆形槽的底部还开设有贯通旋涂盘本体的抽真空孔。

[0006] 前述旋涂盘中，旋涂盘本体的上端面上还开设有环形的涂覆液回收槽，涂覆液回收槽的直径大于凹槽的宽度，且涂覆液回收槽与凹槽和圆形槽直接或间接连通，涂覆液回收槽与圆形槽的下侧侧壁通过连通孔相连通；

[0007] 前述旋涂盘中，旋涂盘本体的四周还设置有筒形的防护罩，防护罩的上端设置有桶盖，防止旋涂液飞溅；

[0008] 前述旋涂盘中，圆形槽替换为方形槽或三角形槽，以适应不同形状的小型基材；

[0009] 前述旋涂盘中，防护罩和桶盖均为透明结构，便于观察基材的旋涂情况。

[0010] 本实用新型与现有技术相比，主要优点是根据不同尺寸的基材将基材固定于相匹配的圆形槽或凹槽内，并通过抽真空孔将基材吸附在槽内，在基材稳固固定的基础上，又能保证基材侧面旋涂均匀；同时，针对旋涂后基材的SEM观察，由于目前一般按照每八个直径在1.5cm左右的基材作为一组来进行观察，该旋涂盘能够直接对直径在1.5cm左右的基材进行旋涂，而无需先对方形基材旋涂，再将旋涂后的方形基材进行打碎。这样能选取适合尺寸的涂胶基片进行直接观察，使用更为方便。附图说明

[0011] 图1是本实用新型的主视结构示意图；

[0012] 图2是图1中去掉桶盖后的俯视图；

[0013] 图3是图2中A-A向的剖视图。

具体实施方式

[0014] 为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将参照附图对本实用新型作进一步地详细描述，

[0015] 实施例：

[0016] 参照图1、图2和图3，本实施例提供一种用于旋涂机的旋涂盘，包括：

[0017] 旋涂盘本体1，旋涂盘本体1上端面的中部开设有凹槽11，凹槽11相对的两个槽边相互平行，旋涂盘本体1上端面的中心处还开设有圆形槽12，圆形槽12的直径为1.5-2cm，圆形槽12开设于凹槽11内，圆形槽12的底部还开设有贯通旋涂盘本体1的抽真空孔13；

[0018] 旋涂盘本体1的上端面上还开设有环形的涂覆液回收槽14，涂覆液回收槽14的直径大于凹槽11的宽度，且涂覆液回收槽14与凹槽11和圆形槽12直接或间接连通，涂覆液回收槽14与圆形槽12的下侧侧壁通过连通孔15相连通；

[0019] 旋涂盘本体1的四周还设置有筒形的防护罩2，防护罩2的上端设置有桶盖3，防护罩2和桶盖3均为透明结构。

标题	发布/更新时间	阅读量
一种基于旋涂加热工艺的有机光电探测器及其制备方法	2020-05-11	87
一种生产变色镜片的旋涂设备及其工艺	2020-05-13	84
旋涂装置	2020-05-13	360
一种超声旋涂机	2020-05-11	457
旋涂装置	2020-05-13	509
一种可控温旋涂制备有机半导体/铁电复合阻变薄膜的方法	2020-05-12	861
一种用于旋涂机的主轴	2020-05-11	254
一种用于旋涂机的旋涂盘	2020-05-11	546
有机薄膜晶体管基片旋涂设备	2020-05-12	285
制造单面双层蓝光光盘的生产系统	2020-05-12	941

一种用于旋涂机的旋涂盘

一种用于旋涂机的旋涂盘

技术领域

背景技术

具体实施方式

该功能需要专业版企业版VIP权限，您可以：