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一种用于旋涂机的主轴

阅读:254发布:2020-05-11

专利汇可以提供一种用于旋涂机的主轴专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种用于 旋涂 机 的 主轴 ,属于旋涂机主轴领域,所述 转子 轴内设置有通孔,主轴内设置有 水 冷套,转子和 定子 两端分别设置有两个和两个以上 轴承 ,主轴上部设置有防水盖,主轴末端设置有 编码器 ,所述主轴的转速在0.2-1000转/分,所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm,通过利用本实用新型能够提高大型 基板 的涂胶均匀度,可减少胶液的浪费,提高胶液旋涂的 稳定性 。,下面是一种用于旋涂机的主轴专利的具体信息内容。

1.一种用于旋涂机的主轴,包括设置在主轴壳体内周的定子、设置在转子轴外周的转子,其特征在于:所述转子轴内设置有通孔,主轴内设置有冷套,转子和定子两端分别设置有多个轴承,主轴上部设置有防水盖,主轴末端设置有编码器,所述主轴的转速在0.2-
1000转/分,所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm。
2.根据权利要求1所述的一种用于旋涂机的主轴,其特征在于:所述主轴末端设置有进水孔、出水孔、主轴电源线口和编码器出线口。
3.根据权利要求1所述的一种用于旋涂机的主轴,其特征在于:所述主轴使用时垂直向上,主轴向上端面上设置有工作台,主轴端面上设置有工作台连接丝孔。

说明书全文

一种用于旋涂机的主轴

技术领域

[0001] 本实用新型涉及一种主轴,特别涉及一种用于旋涂机的主轴,属于旋涂机主轴领域。

背景技术

[0002] 旋涂机是半导体、光盘、有机EL显示器、液晶显示器以及核聚变领域多广泛应用的一种设备,是将胶液按照一定的流量滴在平设置的基板上,利用旋转的方式在基板表面形成一层均匀均匀的胶层,然后根据需要进行相应的工艺处理。以半导体方面的光刻胶为例,涂覆光刻胶负胶后利用显影、曝光等光刻方式在半导体基板光刻胶表面形成图形,然后在光刻胶图形上进行溅射、CVD、PVD等工艺处理,形成相应的图形,最后再剥离光刻胶,在基板表面留下所需的电路图形。
[0003] 半导体、光盘等是在较小的基板上进行涂胶的,在液晶基板等大型化的基板上进行涂胶时,如果利用旋转涂胶方式进行涂胶,需要在大型基板上利用较慢的速度进行旋转,利用离心将胶从中心位置逐步扩展到周边位置,涂覆时,如果速度过快,就会出现胶液的浪费,厚度的不均,因此,要求旋涂机具有相当高的平面度、还要求很慢的旋转速度,这就要求旋涂机主轴具有相当高的平稳性。发明内容
[0004] 针对大型基板旋涂机对主轴平稳性要求,本实用新型提供一种用于旋涂机的主轴,其目的是提高主轴的平稳性,具有低速运转的稳定性,减少胶液的浪费,满足大型基板在涂胶过程中能够得到均匀的膜厚。
[0005] 本实用新型的技术方案是:一种用于旋涂机的主轴,包括设置在主轴壳体内周的定子、设置在转子轴外周的转子,所述转子轴内设置有通孔,主轴内设置有水冷套,转子和定子两端分别设置有多个轴承,主轴全部设置有防水盖,主轴末端设置有编码器,所述主轴的转速在0.2-1000转/分,所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm;
[0006] 进一步,所述主轴末端设置有进水孔、出水孔、主轴电源线口和编码器出线口;
[0007] 进一步,所述主轴使用时垂直向上,主轴向上端面上设置有工作台,主轴端面上设置有工作台连接丝孔。
[0008] 本实用新型具有的积极效果是,通过在旋涂机的主轴内设置水冷套,能够保证主轴子设定温度下进行运转,可防止由于温度变化带来主轴的相关参数变化,防止因温度变化引起制造产品过程中带来的不合格;通过在转子和定子两端分别设置有两个和两个以上轴承,可提高主轴的负荷承载能力;通过将主轴的转速设置在0.2-1000转/分,主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm,能够保证主轴的运转速度,特别是能够保证主轴的低速运转能力,可防止在涂胶过程中胶液的浪费,能够提高胶液的利用率,保证涂胶厚度的均匀度;通过在主轴上设置编码器,能够对主轴的转速进行监控,也可利用编码器与伺服驱动器控制系统配合进行C轴插补。通过利用本实用新型能够提高大型基板的涂胶均匀度,可减少胶液的浪费,提高胶液旋涂的稳定性。附图说明
[0009] 图1本实用新型的剖面结构示意图。
[0010] 图2主轴末端面的仰视示意图。
[0011] 图3主轴上端面的俯视示意图。
[0012] 标号说明:10-壳体、11-转子轴、12a-定子、12b-转子、12c-线包、13a-上端轴承、13b-下端轴承、14-水冷套、15-通孔、16-编码器、17-防水盖、18-后盖、19-冷却水管接头
21-进水孔、22-出水孔、23-电源出线口、24-编码器出线口、25-工作台连接丝孔。

具体实施方式

[0013] 以下参照附图就本实用新型的技术方案进行详细说明。在以下的说明中,是按照主轴垂直向上的方式进行说明的,因此,将向上的一端称之为上端,向下的一端称之为末端或下端,主轴中其他部件的位置关系也按照相应的位置关系进行说明。
[0014] 本实用新型的技术方案是一种用于旋涂机的主轴,图1本实用新型的剖面结构示意图。主轴包括设置在主轴壳体10内周的定子12a、设置在转子12b轴11外周的转子12b,12c为定子的线包,所述转子轴11内设置有通孔15,主轴内设置有水冷套17,转子12b和定子12a两端分别设置有多个轴承,13a为上端轴承、13b为下端轴承,主轴上部设置有防水盖17,18为末端设置的后盖,主轴末端设置有编码器16,所述主轴的转速在0.2-1000转/分,所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm。
[0015] 在本实施例中,所述主轴转子12b和定子12a上端设置有3个轴承,所述主轴转子12b和定子12a下端设置有2个轴承,以此提高转轴的承载力。
[0016] 图2主轴末端面的仰视示意图。所述主轴末端设置有进水孔21、出水孔22、主轴电源线口23和编码器出线口24,19为冷却水水管接头。
[0017] 图3主轴上端面的俯视示意图,所述主轴使用时垂直向上,主轴向上端面上设置有工作台,主轴端面上设置有工作台连接丝孔25。
[0018] 本实用新型通过在旋涂机的主轴内设置水冷套17,能够保证主轴子设定温度下进行运转,可防止由于温度变化带来主轴的相关参数变化,防止因温度变化引起制造产品过程中带来的不合格;通过在转子12b和定子12a两端分别设置有多个轴承,可提高主轴的负荷承载能力;通过是将主轴的转速设置在0.2-1000转/分,主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm,能够保证主轴的运转速度,特别是能够保证主轴的低速运转能力,可防止在涂胶过程中胶液的浪费,能够提高胶液的利用率,保证涂胶厚度的均匀度;通过在主轴上设置编码器16,能够对主轴的转速进行监控,也利用编码器16与伺服驱动器控制系统配合进行C轴插补。通过利用本实用新型能够提高大型基板的涂胶均匀度,可减少胶液的浪费,提高胶液旋涂的稳定性。
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