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用于旋涂机的压检测系统、罐体及旋涂机

阅读:208发布:2020-05-11

专利汇可以提供用于旋涂机的压检测系统、罐体及旋涂机专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种用于 旋涂 机 的压 力 检测系统,以及包括这种压力检测系统的罐体和旋涂机。所述旋涂机包括用于容纳 溶剂 的罐体,所述压力检测系统包括:压力检测装置和控制系统,其中,所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置,并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内;所述控制系统用于控制压力检测装置的启动,以及控制旋涂机的工作和停止。,下面是用于旋涂机的压检测系统、罐体及旋涂机专利的具体信息内容。

1.一种用于旋涂机的压检测系统,所述旋涂机包括用于容纳溶剂的罐体,其特征在于:
所述压力检测系统包括:压力检测装置和控制系统,
其中,所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置,并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内;
所述控制系统用于控制压力检测装置的启动,以及控制旋涂机的工作和停止。
2.如权利要求1所述的压力检测系统,其特征在于,所述控制系统包括计时单元,所述计时单元在罐体接收到工作电压的同时接收一计数信号,并延时预定时间量后启动压力检测装置进行检测。
3.如权利要求2所述的压力检测系统,其特征在于,所述计时单元延迟的预定时间量为10秒。
4.如权利要求1所述的压力检测系统,其特征在于,所述控制系统还包括计数警报单元,所述计数警报单元用于接收所述压力检测装置的判断结果,并基于所述判断结果控制旋涂机的工作和停止。
5.如权利要求4所述的压力检测系统,其特征在于,所述计数警报单元构造为当所述判断结果为不满足预定要求的情况并且达到预定数量时,所述计数警报单元发出警报。
6.如权利要求5所述的压力检测系统,其特征在于,所述计数警报单元设置为在整个旋涂过程结束后切换旋涂机停止并发出警报。
7.一种用于旋涂机的罐体,其包括:
用于容纳用于旋涂机的溶剂的罐体,以及
如权利要求1所述的用于旋涂机的压力检测系统。
8.一种旋涂机,其包括:
旋涂机台,
用于容纳用于旋涂机的溶剂的罐体,以及
如权利要求1所述的用于旋涂机的压力检测系统。

说明书全文

用于旋涂机的压检测系统、罐体及旋涂机

技术领域

[0001] 本实用新型涉及一种用于旋涂机罐体的压力检测系统。

背景技术

[0002] 如今,各种类型的旋涂机已广泛应用于片加工领域。由日本TEL(TOKYO ELECTRON LTD.)公司生产的硅片旋涂机台——SOG MARK-8机台为一代表性装置。所述旋涂机台包括一用于容纳溶剂的罐体。所述罐体由上罐体部分、下罐体部分和嵌合部分组成。所述上罐体部分和下罐体部分相对设置,并在其中形成中空腔室,用于容纳溶剂。所述嵌合部分设置在所述上罐体部分和下罐体部分的结合位置处,用于使得上罐体部分和下罐体部分相对固定并封闭整个罐体结构。
[0003] 然而,由于无法确认所述嵌合部分相对于所述上罐体部分和下罐体部分的密封完好性,在旋涂机的操作过程中可能存在以下问题:即在旋涂机的工作过程中,由于罐体密封不足或溶剂泄漏,造成旋涂机的罐体内部的压力不足,从而导致没有适当的溶剂量输出和涂覆在基片上。实用新型内容
[0004] 本实用新型提供了一种用于旋涂机罐体的压力检测系统,用于解决以上问题。 [0005] 本实用新型的一个实施例公开了一种用于旋涂机的压力检测系统,所述旋涂机包括用于容纳溶剂的罐体,其特征在于:所述压力检测系统包括:压力检测装置和控制系统,其中,所述压力检测装置包括附接至罐体的压力传感装置,并用于检测和判断罐体的内部压力是否处于预定范围内;所述控制系统用于控制压力检测装置的启动,以及控制旋涂机的工作和停止。
[0006] 所述控制系统包括计时单元,所述计时单元在罐体接收到工作电压的同时接收一计数信号,并延时预定时间量后启动压力检测装置进行检测。
[0007] 所述计时单元延迟的预定时间量为10秒。
[0008] 所述控制系统还包括计数警报单元,所述计数警报单元用于接收所述压力检测装置的判断结果,并基于所述判断结果控制旋涂机的工作和停止,
[0009] 当所述判断结果为不满足预定要求的情况并且达到预定数量时,所述计数警报单元发出警报。
[0010] 所述计数警报单元设置为在整个旋涂过程结束后切换旋涂机停止并发出警报。 [0011] 本实用新型还公开了一种用于旋涂机的罐体,其包括:用于容纳用于旋涂机的溶剂的罐体,以及如上所述的用于旋涂机的压力检测系统。
[0012] 本实用新型还公开了一种旋涂机,其包括:旋涂机台,用于容纳用于旋涂机的溶剂的罐体,以及如上所述的用于旋涂机的压力检测系统。
[0013] 本实用新型公开的压力检测系统具有以下优点:通过在原有溶剂罐体上加装压力检测传感器来监测在操作过程中罐体内的压力是否稳定在一预定范围内,解决了无法确认所述嵌合部分相对于所述上罐体部分和下罐体部分的密封完好性的问题,避免了由于压力不当的原因而造成的产品涂覆异常,提供了生产效率。附图说明
[0014] 通过结合以下附图所作的详细描述,本实用新型的上述和/或其他方面和优点将变得更清楚和更容易理解,这些附图只是示意性的,并不限制本实用新型,其中: [0015] 图1示出了旋涂机的罐体的结构示意图;
[0016] 图2示出了压力检测系统的整体示意图;
[0017] 图3示出了压力检测系统的工作流程图

具体实施方式

[0018] 本实用新型总体涉及用于硅片旋涂机的压力检测系统。
[0019] 如图1所示,旋涂机一般包括一用于容纳溶剂的罐体10。所述罐体10由上罐体部分11、下罐体部分12和嵌合部分13组成。所述上罐体部分11和下罐体部分12相对设置,并在其中形成中空腔室,用于容纳溶剂。所述嵌合部分13设置在所述上罐体部分11和下罐体部分12的结合位置处,用于使得上罐体部分11和下罐体部分12相对固定并封闭整个罐体结构。
[0020] 如图2所示,本实用新型中的一个实施方式通过压力检测系统20来监测在操作过程中罐体10内的压力是否稳定在一预定范围内。
[0021] 所述压力检测系统20包括:压力检测装置21和控制系统22。
[0022] 所述压力检测装置21包括附接至罐体10上的压力传感装置(图中未示出)。所述压力检测装置21接收所述压力传感装置所检测的所述罐体10内部的压力值并判断所述检测的压力是否处于预定范围内。所述控制系统22用于控制压力检测装置21的启动,以及控制旋涂机的工作和停止。
[0023] 所述控制系统可包括计时单元23,所述计时单元23在罐体10接收到工作电压的同时接收一计数信号,并延时预定时间量后启动压力检测装置21进行检测。所述计时单元23所延迟的预定时间量可以为例如10s,即在罐体10开始工作后10s启动压力检测装置21进行检测。
[0024] 所述控制系统22还可包括计数警报单元24,所述计数警报单元24用于接收所述压力检测装置21的判断结果,并基于所述判断结果控制旋涂机的工作和停止,其中,当所述判断结果为不满足预定要求的情况并且达到预定数量时,所述计数警报单元24发出警报。在本实施例中,所述预定数量可设定为1次。
[0025] 为了保证旋涂机的工作流畅性,所述计数警报单元24可设置为在整个旋涂过程结束后切换旋涂机停止并发出警报。
[0026] 如图2所示,所述压力检测系统20的工作过程如下所述。
[0027] 打开N2,并向旋涂机的罐体10内开始加压。同时,启动压力检测系统20并使得计时单元23启动并开始计时。在延时预定时间量后,所述计时单元23触发压力传感装置开始对罐体内部的压力进行检测。所述压力检测装置21接收所述压力传感装置所检测的所述罐体10内部的压力值并判断所述检测的压力是否处于预定范围内。当判断结果为压力值正常时,触发与罐体10连接的溶剂管阀25,输出溶剂并完成旋涂任务;当判断结果为压力值不正常时,启动计数警报单元24,并在计数结果达到预定数量后(例如1次),在整个旋涂过程结束后切换旋涂机停止并发出警报。
[0028] 本实用新型公开的压力检测系统可用于例如TEL Mark-8系列中的SOG机台的SOG溶剂的罐体的压力检测和Track机台的光阻溶剂的罐体的压力侦测,还可应用于例如TEL ACT-8系列中的机台的光阻溶剂的罐体的压力侦测。
[0029] 通过使用本实用新型中的压力检测系统,对溶剂罐体内的压力值进行了很好的监测,避免了由于压力不当的原因而造成的产品涂覆异常的问题,大大减少了废片的产生,提供了生产效率。
[0030] 以上已经通过实施例对本实用新型的结构、优点和特征进行了描述。本领域技术人员应该知道:上述的描述仅仅为举例,而不是限定性的。本技术领域中的普通技术人员在不脱离本实用新型的精神和实质的前提下,可进行各种等同的改变和替换。
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