专利汇可以提供用于钼的化学蚀刻溶液专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种用于钼的化学 蚀刻溶液 ,其特征在于由 硫酸 、 硝酸 和 水 所组成,它们的体积百分数范围为硫酸5%-35%、硝酸5%-25%、水40%-90%;所述的硫酸浓度为95%-98%、硝酸的浓度为65%-68%。它还可以含有一种添加剂 乙二胺四乙酸 二钠,该添加剂的浓度为0.01-1g/L。本 发明 的蚀刻溶液可在常温下使用,具有 腐蚀 速度快,侧蚀小,使用寿命长和加工成本低等优点,即使在静止溶液中也可实现钼的快速蚀刻。,下面是用于钼的化学蚀刻溶液专利的具体信息内容。
本发明涉及一种化学蚀刻溶液,特别是涉及一种适用于钼的化学蚀刻溶液。
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