多层结构蒸发源
专利汇可以提供多层结构蒸发源专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且CdS太阳 电池 的 蒸发 装置包括在一个容器内装上套有高温绝缘管的加热丝绕成4—8层结构的加热器，形成多层加热系统，在层与层之间放入待蒸发的原料。这种蒸发源重现性好，寿命长，节省原料并降低成本。制成面积为50cm2的太阳电池其转换效率为4—5％的成品率达到92％。这种蒸发源还适合于ZnS和在 真空 下 升华 的材料的蒸发。，下面是多层结构蒸发源专利的具体信息内容。
本发明属于生产CdS太阳电池的蒸发装置。
CdS太阳电池是有希望成为大规模地面应用的新能源。CdS薄膜是CdS太阳电池的基础，影响CdS薄膜质量的主要因素是基板温度、蒸发速度、真空度及蒸发源。而基板温度、蒸发速度、真空度用现代技术很容易控制，因此蒸发源就成为研究、生产CdS太阳电池很重要的组成部分。美国Delaware大学（IEEE Transactions on Electron Devices Vol ED－24NO.4 P381 1977）和西德G.H.Hewig，W.H.Bloss等人均采用石墨源（Thin Films Solid Vol 45 NO11、P11977）。石墨源很难克服过热现象。刘树岩等人也曾采用不同半径的双螺旋形源（太阳能利用Vol 3，NO12－3 P186 1979）这种蒸发源存在的问题是加热不均匀，离加热丝较远的CdS不蒸发或蒸发速度很慢，为了继续蒸发CdS，就必须提高蒸发源的功率，提高源的功率会产生以下不良后果：（1）、引起CdS分解。（2）、对基板温度影响很大。（3）、蒸发速度不易控制。（4）、源的寿命短。（5）、加热丝易变形，因此重现性差。（6）、CdS原料由于受热不均，使其不能完全蒸发而造成浪费。
本发明的目的是提供一种布局合理的多层结构的蒸发源，该蒸发源能够克服过热现象，缩短加热距离，延长源的使用寿命，提高重现性。
按本发明的装置解决所提出的问题的特点是，在容器内装上套有高温绝缘管的加热丝绕成4－8层结构的加热器，形成多层加热系统。
参照图1多层结构蒸发源
图中（1）是高温绝缘管，将其套在加热丝上绕成4－8层结构的加热器，高温绝缘管的直径以其能套住加热丝为准。（2）是高温加热丝，选用能达到蒸发所需要的温度的加热丝即可。（3）是容器，可用陶瓷、不锈钢容器。（4）CdS粉根据所镀膜的性质和要求确定所需数量，放入源的层与层之间待蒸发。（5）在容器的底部加入填料，，起到托住用高温绝缘管绕成的加热器的作用。这种填料必须是耐高温、绝缘，不能蒸发的材料如陶瓷一类的物质。
本发明的优点：
1、CdS几乎是在同一温度下蒸发的，克服了过热现象，这种结构有利于自动控制，适于工业生产。
2、由于加热丝被瓷管固定而不变形，使源的寿命延长，重现性好。
3、由于多层加热使CdS粉受热均匀并蒸发彻底，节省了CdS原料，因此也降低了成本。
用这种蒸发源连续作25次试验，面积为50cm2的电池转换效率为4－5％的成品率达到92％。这种源的使用寿命达到一年以上未发生明显变化。
这种源还适合于ZnS和在真空下升华的材料的蒸发。
图中符号：
（1）、高温绝缘管；
（2）、高温加热丝；
（3）、容器
（4）、CdS粉（原料）。
5、填料
本发明提供的实施例如下：
取一直径5－8cm的坩埚，放入已缠绕好的加热器，制成蒸发源，在源的层与层之间放上待蒸发的CdS粉。基板置于蒸发源的上方，采用160℃－300℃的基板温度，每分钟0.5μ的蒸发速度，控制一定的真空度（10－3－10－2Pa）。在连续25次实验中，面积为50cm2的太阳电池转换效率为4－5％的成品率达到92％。
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