圆柱磁控溅射靶
专利汇可以提供圆柱磁控溅射靶专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种圆柱 磁控溅射 靶，其包括靶头及与靶头连接于一体的靶体，该靶体包括一靶材、一套设在靶材外的防护装置及一绝缘装置，该防护装置包括一内 挡板 ，该绝缘装置包括至少一绝缘件，所述绝缘件固设在内挡板的内 侧壁 上。所述绝缘装置可有效免因内挡板在经历 镀 膜 过程中长时间的加热而后冷却的循环后发生局部 变形 ，进而避免内挡板与靶材发生 短路 。，下面是圆柱磁控溅射靶专利的具体信息内容。
1.一种圆柱磁控溅射靶，其包括靶头及与靶头连接于一体的靶体，其特征在于：该靶体包括一靶材、一套设在靶材外的防护装置及一绝缘装置，该防护装置包括一内挡板，该绝缘装置包括至少一绝缘件，所述绝缘件固设在内挡板的内侧壁上。
2.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该绝缘件的个数为3。
3.如权利要求2所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：所述绝缘件均匀地间隔固设在内挡板的内侧壁上。
4.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该绝缘件通过螺钉连接、铆钉连接或粘结的方式固定在内挡板的内侧壁上。
5.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该绝缘装置的材质为耐高温绝缘材料。
6.如权利要求5所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该绝缘装置的材质为铁氟龙或陶瓷。
7.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该靶体还包括一靶材下盖，该靶材下盖与靶材之间设置有一绝缘座。
8.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该防护装置还包括一可旋转地套设在该内挡板外的外挡板，当内挡板旋转到与外挡板相对的位置时，外挡板处于关闭状态，靶材被密封在外挡板与内挡板配合形成的空间内；当外挡板旋转到内挡板的同一侧时，外挡板处理开启状态，该靶材可进行磁控溅射作业。
9.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该靶头与靶体通过一连接件连接在一起。
10.如权利要求1所述的圆柱磁控溅射靶，其特征在于：该靶头包括一靶座及一第一传动装置，该靶座承载所述第一传动装置，该第一传动装置驱动靶材沿其中心轴进行旋转。
圆柱磁控溅射靶
技术领域
背景技术
发明内容
靶头 10
靶座 11
第一传动装置 13
连接件 50
齿轮 131
电机 133
靶体 30
靶材 31
靶材下盖 33
防护装置 35
绝缘装置 37
内挡板 351
外挡板 353
绝缘件 371
绝缘座 373
第二传动装置 70
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
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