专利汇可以提供干法刻蚀装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种干法 刻蚀 装置,包括:腔体; 晶圆 承载器,设置在所述腔体内,用于承载晶圆;第一 真空 抽气口,位于所述腔体的底壁,用于在刻蚀过程中对所述腔体抽气,以使所述腔体内的刻蚀气体自顶向下流动。本发明能够在晶圆表面提供均匀、稳定的刻蚀气体。,下面是干法刻蚀装置专利的具体信息内容。
1.一种干法刻蚀装置,其特征在于,包括:
腔体;
晶圆承载器,设置在所述腔体内,用于承载晶圆;
第一真空抽气口,位于所述腔体的底壁,用于在刻蚀过程中对所述腔体抽气,以使所述腔体内的刻蚀气体自顶向下流动。
2.根据权利要求1所述的干法刻蚀装置,其特征在于,所述第一真空抽气口的形状是与所述晶圆同心的环形。
3.根据权利要求1所述的干法刻蚀装置,其特征在于,所述腔体的侧壁设置有保温加热带。
4.根据权利要求3所述的干法刻蚀装置,其特征在于,所述保温加热带将所述腔体内的温度保持为75℃。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的干法刻蚀装置,其特征在于,还包括:
旋转装置,与所述晶圆承载器相连,用于驱动所述晶圆承载器旋转。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的干法刻蚀装置,其特征在于,所述晶圆承载器具有用于加热所述晶圆的加热器。
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