大长径比纳米级轴制备装置及方法
专利汇可以提供大长径比纳米级轴制备装置及方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种大长径比 纳米级 轴制备装置及方法,属精密微细 电化学加工 领域。该装置包括安装于X-Y轴移动平台（1）的 定位 件（8），固定于定位件（8）的 阴极 夹具（11），通过阴极夹具（11）夹持的阴极 水 平圆环（7），还包括安装于Z轴精密位移平台（2）的旋转 主轴 夹具（4），固定于旋转主轴夹具（4）的引电装置（6），固定于旋转主轴夹具（4）的旋转主轴（3），上述电源(15)正负级分别与引电装置（6）和阴极夹具（11）相连。本 发明 方法及装置能够加工出具有大长径比的纳米级细长轴，并且具有可重复性强，成功率高和成本较低等优点。，下面是大长径比纳米级轴制备装置及方法专利的具体信息内容。
1.一种大长径比纳米级轴制备装置，其特征在于：包括PCI运动控制卡（5）、计算机（14）、电源（15）；还包括主动隔振平台（13）、安装于主动隔振平台（13）的X-Y轴移动平台（1）、安装于X-Y轴移动平台（1）的定位件（8），固定于定位件（8）的阴极夹具（11），通过阴极夹具（11）夹持的阴极水平圆环（7），还包括通过床身安装于主动隔振平台（13）的Z轴精密位移平台（2），安装于Z轴精密位移平台（2）的旋转主轴夹具（4），固定于旋转主轴夹具（4）的引电装置（6），固定于旋转主轴夹具（4）的旋转主轴（3），上述电源(15)正负级分别与引电装置（6）和阴极夹具（11）相连；上述定位件（8）上安装有纳米轴接收装置（12），纳米轴接收装置（12）位于阴极水平圆环（7）的下方。
2.根据权利要求1所述的大长径比纳米级轴制备装置，其特征在于：上述定位件（8）为电解槽。
3.利用权利要求1所述大长径比纳米级轴制备装置的大长径比纳米级轴制备方法，其特征在于包括以下过程：
（1）、用吸管将电解液溶液滴于阴极水平圆环（7）上，在液体表面张力的作用下，溶液附着在阴极水平圆环（7）上形成液膜(16)；
（2）、将阳极钨丝（9）固定在旋转主轴（3）下端；
（3）、通过X-Y轴移动平台（1）、Z轴精密位移平台（2）的精密移动，使阳极钨丝（9）伸入到阴极水平圆环（7）中，且位于阴极水平圆环（7）中心位置；
（4）、在加工过程中，阳极钨丝（9）与阴极水平圆环（7）之间施加直流电源，在加工过程中保持电源电压不变；
（5）、通过控制Z轴精密位移平台（2）的移动，使阳极钨丝在轴向上做具有一定幅值和速度的直线往复运动；其中幅值为0.1~0.4mm和速度为0.1~2μm/s；
（6）、当钨丝的直径减小到无法承受下端钨丝重力以及液面张力的合力时，钨丝会被拉断掉入纳米轴接收装置（12）中之后，下端钨丝会自动停止电化学刻蚀，加工过程自动结束，下端掉落到纳米轴接收装置（12）中的纳米轴作为所制备的大长径比纳米级轴。
大长径比纳米级轴制备装置及方法
技术领域
背景技术
发明内容
（2）、将阳极钨丝固定在旋转主轴下端；
（3）、通过X-Y轴直线精密移动平台、Z轴直线精密移动平台的精密移动，使阳极钨丝伸入到阴极水平圆环中，且钨丝轴线位于阴极水平圆环中心位置；
（4）、在加工过程中，阳极钨丝与阴极水平圆环之间施加直流电源，在加工过程中保持电源电压不变；
（5）、通过控制Z轴直线精密移动平台的移动，使阳极钨丝在轴向上做具有一定幅值和速度的直线往复运动；其中幅值为0.1~0.4mm和速度为0.1~2μm/s；
（6）、当钨丝的直径减小到无法承受下端钨丝重力以及液面张力的合力时，钨丝会被拉断掉入工具电极接收装置中之后，下端钨丝会自动停止电化学刻蚀，加工过程自动结束，下端掉落到工具电极接收装置中的电极作为所制备的大长径比纳米级轴。
图3是圆环装夹工具结构示意图；
图中标号名称：1、X-Y轴直线精密移动平台，2、Z轴直线精密移动平台，3、旋转主轴，
4、旋转主轴夹具，5、PCI运动控制卡，6、引电装置，7、阴极水平圆环，8、定位件，9、阳极钨丝，
10，阴极夹具固定螺钉，11、阴极夹具，12、纳米轴接收装置，13、主动隔振平台，14、计算机，
15、电源，16、液膜，17、电流传感器，18、圆环装夹铜棒19、阴极圆环夹具主体。
具体实施方式
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