专利汇可以提供闪耀角可调微机械光栅的制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了两种基于体 硅 干法 刻蚀 技术的闪耀 角 可调微机械光栅的制作方法,主要涉及微 机电系统 (MEMS)技术、微加工技术以及光栅衍射技术等。该方法包括刻蚀浅槽、淀积金属 薄膜 并刻蚀形成下 电极 、刻蚀出扭转 支点 和 锚点 、键合、减薄、刻蚀得到光栅反射梁等过程。该方法能够将光学工作面的表面粗糙度控制在 纳米级 ,可极大提高器件的光学效率;同时,具有比表面工艺大的多、且工艺可调的空气间隙,能大幅度提高器件的最大可工作闪耀角。本发明将促进闪耀角可调微机械光栅在实际系统中的应用。,下面是闪耀角可调微机械光栅的制作方法专利的具体信息内容。
1.闪耀角可调微机械光栅的制作方法,所述的闪耀角可调微机械光栅包含基底(1)和置于基底(1)上的N组光栅单元;每组光栅单元包括一个下电极(2)、一个扭转支点(3)和一个光栅反射梁(4);所述下电极(2)置于基底(1)上;所述扭转支点(3)及光栅反射梁(4)基于同一材料加工而成;光栅反射梁(4)通过支撑梁(16)与锚点(12)相连,悬置于基底(1)上;所述扭转支点(3)通过接触点向下悬置于光栅反射梁(4)上,且扭转支点(3)的下端与基底(1)形成间隙;该闪耀角可调微机械光栅的制作方法包括如下步骤:
步骤1:在基底(1)上刻蚀出浅槽(10);
步骤2:在基底(1)的浅槽(10)一侧淀积一层金属薄膜,并刻蚀出图形,形成下电极(2);
步骤3:在导电的光栅结构材料(11)的一侧刻蚀出扭转支点(3),以及锚点(12);
步骤4:将由步骤2和步骤3得到的结构通过锚点(12)键合在一起;
步骤5:将光栅结构材料(11)减薄至所需厚度;
步骤6:对光栅结构材料(11)进行刻蚀,得到光栅反射梁(4),它通过支撑梁(16)与锚点(12)相连。
2.闪耀角可调微机械光栅的制作方法,所述的闪耀角可调微机械光栅包含基底(1)和置于基底(1)上的N组光栅单元;每组光栅单元包括一个下电极(2)、一个扭转支点(3)和一个光栅反射梁(4);所述下电极(2)置于基底(1)上;所述扭转支点(3)及光栅反射梁(4)基于同一材料加工而成;光栅反射梁(4)通过支撑梁(16)与锚点(12)相连,悬置于基底(1)上;所述扭转支点(3)通过接触点向下悬置于光栅反射梁(4)上,且扭转支点(3)的下端与基底(1)形成间隙;该闪耀角可调微机械光栅的制作方法包括如下步骤:
步骤1:在基底(1)上淀积一层金属薄膜,并刻蚀出图形,形成下电极(2);
步骤2:在导电的光栅结构材料(11)的一侧刻蚀出一定高度的扭转支点(3),以及锚点(12);
步骤3:对形成的扭转支点(3)以及锚点(12)进行刻蚀,使扭转支点(3)的高度低于锚点(12)的高度;
步骤4:将由步骤1和步骤3得到的结构通过锚点(12)键合在一起;
步骤5:将光栅结构材料(11)减薄至所需厚度;
步骤6:对光栅结构材料(11)进行刻蚀,得到光栅反射梁(4),它通过支撑梁(16)与锚点(12)相连。
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