专利汇可以提供单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种 单层 双材料微 悬臂梁 热隔离焦平面阵列的制作方法,包括:1.在单晶 硅 基片上双面生长氮化硅 薄膜 ;2.用加热的氢 氧 化 钾 溶液 各向异性 腐蚀 氮化硅;3.在 正面 甩正性 光刻 胶 ;4.在背面甩正性光刻胶,光学光刻背面窗口图形;5.各向异性 刻蚀 有光刻图形面;6.去除光刻胶;7.在正面甩正性光刻胶,光学光刻正面氮化硅梁图形;8.在有光刻图形的一面 蒸发 、剥离铬薄膜;9.各向异性刻蚀有铬薄膜 覆盖 的氮化硅;10.各向同性腐蚀去除铬薄膜;11.在有氮化硅梁图形的正面甩正性光刻胶,光学光刻正面隔离金图形;12.蒸发、剥离金;13.用加热的氢氧化钾溶液各向异性腐蚀基片,完成镂空的双材料 微悬臂梁 热隔离结构焦平面阵列的制作。,下面是单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法专利的具体信息内容。
1.一种单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法,用硅微机械加工技术制作,为镂空的单层双材料微悬臂梁热隔离结构;其特征在于,步骤如下:步骤1、在单晶硅基片上双面生长富硅型氮化硅薄膜;步骤2、用加热的氢氧化钾溶液各向异性腐蚀氮化硅二小时以上;步骤3、在正面甩正性光学光刻胶做保护;步骤4、在背面甩正性光学光刻胶,光学光刻背面窗口图形;步骤5、各向异性刻蚀有光刻图形的背面,刻蚀深度等于此面氮化硅的厚度;步骤6、去除光学光刻胶;步骤7、在没有图形的正面甩正性光学光刻胶,光学光刻正面氮化硅梁图形;步骤8、在有光刻图形的正面蒸发、剥离铬薄膜;步骤9、各向异性刻蚀有铬薄膜覆盖的氮化硅,刻蚀深度等于此面氮化硅的厚度;步骤10、去除铬薄膜;步骤11、在有氮化硅梁图形的正面甩正性光学光刻胶,光学光刻正面隔离金图形;步骤12、蒸发、剥离金;步骤13、用加热的氢氧化钾溶液各向异性腐蚀此基片,到背面窗口图形以内的硅全部腐蚀完毕,完成镂空的双材料微悬臂梁热隔离结构焦平面阵列的制作。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第1步,在单晶硅基片上双面生长富硅型氮化硅薄膜的厚度是0.5~3μm,是采用低压化学气相淀积的方法获得的。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第2步,用加热的氢氧化钾溶液各向异性腐蚀氮化硅二小时以上是采用浓度为20%~40%、温度为50~90度的氢氧化钾溶液,其目的是去除富硅型氮化硅表面镶嵌的纳米硅晶粒。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第3步,正面甩正性光学光刻胶做保护,其目的是在光刻背面时,被保护的这一面不被磨损、划伤。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第4步,背面窗口图形是通过在背面甩光学光刻胶并光学光刻、显影获得的。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第5步,各向异性刻蚀有光刻图形的背面采用氟基气体,被刻蚀的深度等于此面氮化硅的厚度,其目的是刻蚀背面腐蚀窗口。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第6步,去除光学光刻胶方法是采用丙酮湿法去除。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第7步,光学光刻正面氮化硅梁图形是通过在没有图形的正面甩正性光学光刻胶并光学光刻、显影获得的。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第8步,在有光刻图形的正面蒸发、剥离的铬薄膜的厚度为20~100nm,是采用电子束或者电阻式蒸发的方法获得的,其目的是做正面氮化硅梁刻蚀的掩蔽膜。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第9步,各向异性刻蚀有铬薄膜覆盖的氮化硅是采用氟基气体,刻蚀深度等于此面氮化硅的厚度,其目的是刻蚀正面的氮化硅梁图形。
11.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第10步,去除铬薄膜是采用去铬液湿法腐蚀方法完成的。
12.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第11步,正面隔离金图形是通过在有氮化硅梁图形的正面甩正性光学光刻胶并光学光刻、显影获得的。
13.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第12步,蒸发、剥离的金的厚度为100nm~400nm,是采用电子束或者电阻式蒸发的方法获得的,其目的是做热隔离的双材料悬臂梁
14.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第13步,用加热的氢氧化钾溶液各向异性腐蚀此基片,到背面窗口图形以内的硅全部腐蚀完毕,是采用浓度为20%~40%、温度为50~90度的氢氧化钾溶液,使正面双材料悬臂梁梁图形完全释放。
15.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:在甩正性光学光刻胶的程序后,用热板进行前烘。
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