专利汇可以提供一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及 石英 微 机械加工 技术领域,具体是涉及一种三维石英微机械结构表面 电极 的加工方法。清洗三维石英微机械结构的金属膜表面;在清洗后的金属膜表面上喷胶得到 光刻 胶 层,然后对光刻胶层进行曝光、显影,最后进行光刻胶层的坚膜;采用光刻胶层作掩膜,用化学 腐蚀 的方法对金属膜进行腐蚀,然后去除光刻胶层,完成三维微机械结构表面电极的加工。可对不同尺寸和形状的晶片进行喷胶,同时也可对大深宽比的三维石英微机械结构 侧壁 进行均匀涂胶;通过超声喷雾式喷胶,改善了三维微机械结构上光刻胶层的均匀性。通过在显影步骤中增加超声清洗环节,降低了光刻胶层对三维石英微机械结构基底材料的粘附性,杜绝了电极加工时的 短路 情况。,下面是一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法专利的具体信息内容。
1.一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于该方法的步骤包括:
1)清洗三维石英微机械结构的金属膜表面;
2)在清洗后的金属膜表面上喷胶得到光刻胶层,然后对光刻胶层进行曝光、显影,最后进行光刻胶层的坚膜;
3)采用光刻胶层作掩膜,用化学腐蚀的方法对金属膜进行腐蚀,然后去除光刻胶层,完成三维微机械结构表面电极的加工;
步骤2)中显影采用手动显影的方式,显影时间在60~300s;显影过程中用去离子水清洗时增加超声清洗环节,超声时间5~15min,超声频率28~100KHz,超声功率20~
200W。
2.根据权利要求1所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:步骤1)中所说的三维石英微机械结构为带有凹槽的结构或带有镂空的结构。
3.根据权利要求1所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:步骤1)中的清洗为超声波清洗,采用乙醇或丙酮进行超声波清洗,超声时间为
5-15min,超声频率为28-100kHz,超声功率20-200W。
4.根据权利要求1所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:步骤2)中喷胶采用超声雾化喷胶的方式。
5.根据权利要求1所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:喷胶过程中所使用的光刻胶为用AZ4620稀释剂进行的稀释的AZ4620光刻胶,AZ4620光刻胶与AZ4620稀释剂的体积比为0.5。
6.根据权利要求1所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:喷胶过程中所使用的喷胶机的喷嘴距三维石英微机械结构的高度为90mm,喷胶机喷嘴的扫描速率为100mm/min。
7.根据权利要求1所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:步骤1)中的金属膜为Cr/Au金属层。
8.根据权利要求7所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:化学腐蚀过程使用的腐蚀液为稀释的王水,王水与去离子水的体积比为1∶1;王水中HNO3与HCL的体积比为1∶3。
9.根据权利要求7所述的一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法,其特征在于:化学腐蚀Cr膜的腐蚀液为硝酸铈铵的溶液,其中硝酸铈铵与去离子水的质量比为
0.05。
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