专利汇可以提供一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种增强型偏转电容式表面微 机械加工 残余应 力 测试结构,包括衬底、沉积于衬底上表面的下极板、悬置在下极板上方的上极板以及置于衬底上的锚区;还有两个完全相同的辅助旋转结构;辅助旋转结构包括横梁、 纵梁 和两个辅助横梁;横梁的一端连接上极板,另一端连接纵梁;在 应力 作用下各个梁产生形变,使得电容值发生变化,测量电容值即可得到应力变化。旋转结构的设计加大了主纵梁的旋转幅度,显著增大测量电容的变化量,该测试结构简单,易于加工,对测试仪器无特殊要求,为残余应力的测试提供了一种很好地途径。,下面是一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构专利的具体信息内容。
1.一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:包括衬底(1)、两块下极板(2)和上极板(3)、两个辅助旋转结构和三个锚区;
所述下极板(2)沉积于衬底(1)上表面;
所述三个锚区分别为第一锚区(71)、第二锚区(72)和第三锚区(73),该三个锚区均置于衬底(1)上;
所述上极板(3)悬置在下极板(2)上方;
所述两个辅助旋转结构分别是左辅助旋转结构和右辅助旋转结构,两个辅助旋转结构完全相同;其中,左辅助旋转结构包括左横梁(41)、左纵梁(51)和两个辅助横梁(6);左横梁(41)的右端连接上极板(3)左侧,左横梁(41)的左端连接左纵梁(51),所述左横梁(41)与左纵梁(51)垂直;左纵梁(51)的两侧分别连接一个辅助横梁(6),连接左纵梁左侧的辅助横梁的另一端固定在第一锚区(71)右侧,连接左纵梁右侧的辅助横梁的另一端固定在第三锚区(73)左侧;
所述右辅助旋转结构包括右横梁(42)、右纵梁(52)、和两个辅助横梁(6);所述右横梁(42)的左端连接上极板(3)右侧,右横梁(42)的右端连接右纵梁(52),所述右横梁(42)与右纵梁(52)垂直;右纵梁(52)的两侧分别连接一个辅助横梁(6),连接右纵梁右侧的辅助横梁的另一端固定在第二锚区(72)左侧,连接右纵梁左侧的辅助横梁的另一端固定在第三锚区(73)右侧;
所述左横梁(41)和右横梁(42)位于同一平面且不在同一水平线上;
所述四个辅助横梁(6)位于同一平面且不在同一水平线上;
所述上极板(3)与两个辅助结构位于同一平面,该平面与衬底(1)平行;
所述两块下极板(2)分别位于上极板(3)前后两端的下方;两块下极板(2)的同一侧与上极板(3)对齐,另一侧超出上极板(3)的覆盖范围;两块下极板(2)被上极板(3)遮蔽的面积相同;
所述下极板(2)与上极板(3)之间分别形成平板电容C1和C2。
2.如权利要求1所述的一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述下极板(2)上涂覆有介质薄层,该介质薄层材料为氮化硅。
3.如权利要求1所述的一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述下极板(2)材料为掺杂多晶硅。
4.如权利要求1所述的一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述两块下极板(2)为两个完全相同的矩形。
5.如权利要求1所述的一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述下极板(2)和上极板(3)的材料相同。
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