12杆二维无耦合微位移工作台
专利汇可以提供12杆二维无耦合微位移工作台专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及12杆二维无耦合微位移 工作台 。该工作台包括 基板 、外层柔性 铰链 杆、驱动支座、 电致伸缩 器件、内层柔性铰链杆、工作台，四根均布的内层柔性铰链杆一端连接工作台，另一端连接驱动支座，驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上，驱动支座与基板凹槽之间设有电致伸缩器件，电致伸缩器件的一端顶在驱动支座的外端，另一端顶紧凹槽的 侧壁 。本发明采用12根柔性铰链杆形成双层柔性铰链杆对称一体化结构，整体采用线切割加工方法一次切割完成，无装配元件，可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动，具有 分辨率 高、结构紧凑的特点，可用于大行程、轻载的微 机电系统 、扫描探测 显微镜 、超精密加工、光学元件制造等领域。，下面是12杆二维无耦合微位移工作台专利的具体信息内容。
1.12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：包括基板（1），所述基板（1）中部设有贯通的空腔，所述空腔中部设有工作台（6），工作台（6）的周边分别均布连接着四根内层柔性铰链杆（5）的一端，每根内层柔性铰链杆（5）的另一端连接着驱动支座（3）的内端，且其中两根内层柔性铰链杆（5）沿X方向对称分布，另两根内层柔性铰链杆（5）沿Y方向对称分布；每个驱动支座（3）的两侧分别连接着外层柔性铰链杆（2）的一端，两侧的外层柔性铰链杆（2）的另一端分别连接着基板（1）上空腔的侧壁，两侧的外层柔性铰链杆（2）在同一直线上，且垂直于驱动支座（3）内端的内层柔性铰链杆（5）；与每个驱动支座（3）外端对应的所述空腔的侧壁上分别设有凹槽（7），所述空腔的侧壁上共有四个凹槽（7），其中相邻的两个凹槽（7）内分别设有电致伸缩器件（4），电致伸缩器件（4）的一端与驱动支座（3）的外端接触，另一端与凹槽（7）的侧壁接触。
2.根据权利要求1所述的12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述工作台（6）为正方形板状，每一侧面中部分别连接着一根内层柔性铰链杆（5）的一端。
3.根据权利要求1所述的12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述驱动支座（3）为矩形板状，其内侧面与内层柔性铰链杆（5）的另一端连接，两侧面分别连接着外层柔性铰链杆（2）的一端，外侧面与所述空腔的凹槽（7）对应。
4.根据权利要求1所述的12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述电致伸缩器件（4）型号为PAS005或PAS020，行程20μm；或者型号为PAS009、或PAS040，行程40μm。
12杆二维无耦合微位移工作台
技术领域
背景技术
发明内容
5沿X方向对称分布，另两根内层柔性铰链杆5沿Y方向对称分布；每个驱动支座3的两侧分别连接着外层柔性铰链杆2的一端，两侧的外层柔性铰链杆2的另一端分别连接着基板
1上空腔的侧壁，两侧的外层柔性铰链杆2在同一直线上，且垂直于驱动支座3内端的内层柔性铰链杆5；与每个驱动支座3外端对应的所述空腔的侧壁上分别设有凹槽7，所述空腔的侧壁上共有四个凹槽7，其中相邻的两个凹槽7内分别设有电致伸缩器件4，电致伸缩器件4的一端与驱动支座3的外端接触，另一端与凹槽7的侧壁接触。
2、本发明工作台以电致伸缩器件作为驱动元件，可实现一维或者二维无耦合微位移运动，输出位移与输入位移成线性关系。由于两个方向的运动之间无耦合，相互独立，且电致伸缩器件不随工作台运动，从而提高了工作台的定位精度，便于控制；
3、本发明工作台整体可采用线切割加工方法一次切割完成，无装配元件，消除了由于装配而产生的误差，具有较高的精度；
4、本发明工作台结构紧凑，便于微型化。
附图说明
具体实施方式
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