膜下缺陷检测方法及膜下缺陷检测设备
阅读：868发布：2020-06-26
专利汇可以提供膜下缺陷检测方法及膜下缺陷检测设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种膜下 缺陷 检测方法及膜下缺陷检测设备(100)，膜下缺陷检测方法包括步骤：通过光学 显微镜 (10)对被检测物(Y)进行检测，确定被检测物(Y)的缺陷的第一坐标信息(S10)；根据 光学显微镜 (10)与扫描装置(20)及切割装置(30)的 位置 关系和第一坐标信息，确定被检测物(Y)的缺陷与扫描装置(20)的第二坐标信息，及确定被检测物(Y)的缺陷与切割装置(30)的第三坐标信息(S20)；及根据第三坐标信息，控制切割装置(30)对被检测物(Y)进行切割，及根据第二坐标信息，控制扫描装置(20)对切割后的被检测物(Y)的缺陷进行扫描(S30)。，下面是膜下缺陷检测方法及膜下缺陷检测设备专利的具体信息内容。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 缺陷预测 | 2020-05-11 | 835 |
| 缺陷检测方法 | 2020-05-12 | 767 |
| 软件缺陷验证 | 2020-05-13 | 726 |
| 缺陷检测装置、缺陷修复装置、缺陷检测方法 | 2020-05-11 | 765 |
| 缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 | 2020-05-12 | 125 |
| 缺陷检测机 | 2020-05-11 | 257 |
| 缺陷平面化 | 2020-05-11 | 367 |
| 缺陷检测方法 | 2020-05-13 | 656 |
| 级联缺陷检查 | 2020-05-12 | 164 |
| 缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法 | 2020-05-12 | 154 |
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