缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法
阅读：154发布：2020-05-12
专利汇可以提供缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 的 缺陷 检测装置包括：摄像头，该摄像头拍摄 基板 并输出电 信号 ；以及 图像处理 装置，该图像处理装置中输入有由摄像头输出的 电信号 。图像处理装置使用从电信号中得到的多个信号各自的图像 对比度 中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。由于使用多个信号各自的 图像对比度 中较大的对比度来检测缺陷部，因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部，也能够检测出缺陷部，而不会使灵敏度显著降低。，下面是缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法专利的具体信息内容。
1.一种缺陷检测装置，包括：
摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及
图像处理装置，该图像处理装置中输入有由所述摄像头输出的电信号，所述图像处理装置使用从来自所述摄像头的电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测所述基板的缺陷部，
所述图像处理装置包括：
图像比较部，该图像比较部比较所述图像中任意的检查对象位置上的像素的亮度、与从该检查对象位置起隔开了由所述基板的图案间距及所述像素的尺寸之比所决定的规定间距的位置即周边部位上的像素的亮度；以及
缺陷提取部，该缺陷提取部使用利用所述图像比较部获得的所述亮度的比较结果，来提出所述缺陷部，
所述图像比较部构成为：在所述周边部位上的像素的亮度、与所述周边部位上的像素的相邻或附近的像素的亮度之间的差分值大于规定阈值时，不执行所述比较。
2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，
所述图像处理装置对所述多个信号的每一信号、根据多个图像生成全景图像，并使用所述多个信号各自的全景图像的对比度中较大的对比度，来检测所述基板的缺陷部。
3.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，
所述多个信号包括色相、彩度、明度各自的信号。
4.一种缺陷修正装置，包括：
观察基板的光学系统；
摄像头，该摄像头拍摄所述基板并输出电信号；以及
图像处理装置，该图像处理装置中输入有由所述摄像头输出的电信号，并且该图像处理装置使用从来自所述摄像头的电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来计算出所述基板的缺陷部的坐标；
所述图像处理装置包括：
图像比较部，该图像比较部比较所述图像中任意的检查对象位置上的像素的亮度、与从该检查对象位置起隔开了由所述基板的图案间距及所述像素的尺寸之比所决定的规定间距的位置即周边部位上的像素的亮度；以及
缺陷提取部，该缺陷提取部使用利用所述图像比较部获得的所述亮度的比较结果，来提出所述缺陷部，
所述图像比较部构成为：在所述周边部位上的像素的亮度、与所述周边部位上的像素的相邻或附近的像素的亮度之间的差分值大于规定阈值时，不执行所述比较，所述缺陷修正装置还包括修正机构，该修正机构包括使观察所述基板的光学系统移动至所述计算出的坐标的工作台、除去所述缺陷部的激光装置、和对所述基板上除去所述缺陷部后的部分填充油墨的涂布机构中的至少某一个。
5.如权利要求4所述的缺陷修正装置，其特征在于，
所述缺陷修正装置包括所述激光装置和所述涂布机构，
根据所述缺陷部的位置，计算出激光的照射区域和油墨的涂布位置，自动除去所述缺陷部，并自动填充油墨。
6.一种缺陷检测方法，包括：
拍摄基板并输出电信号的步骤；以及
使用从所述电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度、检测所述基板的缺陷部的步骤，
检测所述基板的缺陷部的步骤包括：
比较步骤，该比较步骤中，比较所述图像中任意的检查对象位置上的像素的亮度、与从该检查对象位置起隔开了由所述基板的图案间距及所述像素的尺寸之比所决定的规定间距的位置即周边部位上的像素的亮度；
提取步骤，该提取步骤中，使用由所述比较步骤获得的所述亮度的比较结果，来提出所述缺陷部；以及
非执行步骤，该非执行步骤中，在所述周边部位上的像素的亮度、与所述周边部位上的像素的相邻或附近的像素的亮度之间的差分值大于规定阈值时，不执行所述比较步骤中的所述亮度比较。
7.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，
还包括对所述多个信号的每一信号、根据多个图像生成全景图像的步骤，检测所述基板的缺陷部的步骤包含使用所述多个信号各自的全景图像的对比度中较大的对比度、检测所述基板的缺陷部的步骤。
8.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，
所述多个信号包括色相、彩度、明度各自的信号。
9.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，
还包括根据与所述缺陷部外接的长方形和画面的边界相接的长度、判断是否检测出整个所述缺陷部的步骤。
10.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，
还包括基于与缺陷外接的长方形的位置和大小、计算激光照射区域和油墨涂布位置的步骤。
缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法
技术领域
[0001] 本发明涉及缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法，特别涉及对形成在基板上的重复图案的缺陷进行检测的技术。
背景技术
[0002] 在液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)的TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)基板等的生产线中，使用对TFT基板的缺陷进行修正的缺陷修正装置。作为修正
对象的缺陷的大小有各种各样。特别是，在基板上安装有晶体管等电路的TFT基板中，也存在作为对象的缺陷的大小为几μｍ的情况。因而，希望利用高分辨率的透镜进行检查。
对象的缺陷的大小有各种各样。特别是，在基板上安装有晶体管等电路的TFT基板中，也存在作为对象的缺陷的大小为几μｍ的情况。因而，希望利用高分辨率的透镜进行检查。
[0003] 另外，作为液晶显示器的代表，随着FPD(flat panel display：平板显示器)的大型化的发展，像素尺寸也正在变大。日本专利特开2011－203710号公报(专利文献1)公开了在维持检测分辨率的同时跟踪大面积缺陷的方法。
[0004] 日本专利特开2011－203710号公报的权利要求8所记载的缺陷修正装置在缺陷延伸到拍摄范围以外的情况下，跟踪延伸部分，对通过使跟踪时拍摄到的图像进行贴合从而
生成的图像中包含的缺陷进行检测。
生成的图像中包含的缺陷进行检测。
[0005] 日本专利特开2011－203710号公报中，以能够准确地检测出缺陷为前提进行了各种说明。然而，作为修正对象的缺陷的特征有各种各样。也存在不容易检测出的缺陷。特别是对比度较低的缺陷的检测成为问题。
[0006] 对于这种问题，日本专利特开2000－146537号公报(专利文献2)提出了使用微分干涉光学系统对TFT基板上的ITO(Indium Tin Oxide：氧化铟锡)膜的缺陷进行检测的方
法。然而，在装载激光器的情况下，光学系统变得复杂，从而成为价格昂贵的结构。
法。然而，在装载激光器的情况下，光学系统变得复杂，从而成为价格昂贵的结构。
[0007] 现有技术文献
[0008] 专利文献
[0009] 专利文献1：日本专利特开2011－203710号公报
[0010] 专利文献2：日本专利特开2000－146537号公报
发明内容
[0011] 发明所要解决的技术问题
[0012] 本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提高对于低对比度缺陷的检测灵敏度而无需装载特殊的光学系统。
[0013] 解决技术问题所采用的技术方案
[0014] 在某一实施例中，缺陷检测装置包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由摄像头输出的电信号。图像处理装置使用
从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。
从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。
[0015] 发明效果
[0016] 由于使用多个信号各自的图像对比度中较大的对比度来检测缺陷部，因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部，也能够检测出缺
陷部，而不会使灵敏度显著降低。因而，也无需装载用于检测缺陷部的特殊的光学系统。因此，能够采用简单且廉价的光学系统。由于光学系统成为简单的结构，因此能够抑制维护性的降低。
附图说明
陷部，而不会使灵敏度显著降低。因而，也无需装载用于检测缺陷部的特殊的光学系统。因此，能够采用简单且廉价的光学系统。由于光学系统成为简单的结构，因此能够抑制维护性的降低。
附图说明
[0017] 图1是表示缺陷修正装置的整体结构的图。
[0018] 图2是表示观察光学系统及油墨涂布机构的主要部分的立体图。
[0019] 图3是表示油墨涂布动作的图。
[0020] 图4是图像处理装置的功能框图。
[0021] 图5是表示监视器的画面的图(其一)。
[0022] 图6是表示监视器的画面的图(其二)。
[0023] 图7是表示搜索缺陷的顺序的图。
[0024] 图8是表示搜索位置的图。
[0025] 图9是表示全景图像的图。
[0026] 图10是表示X轴工作台及Y轴工作台的坐标值的图。
[0027] 图11是表示图案间距为h＜w时的比较处理的图。
[0028] 图12是表示图案间距为h≥w时的比较处理的图。
[0029] 图13是表示除去周期成分后的图像的图。
[0030] 图14是表示线段状的疑似缺陷的图。
[0031] 图15是表示作为缺陷候选提取出的外接长方形的图。
[0032] 图16是表示外接长方形中心的坐标的图。
[0033] 图17是表示切割开始时的切割位置的中心坐标及切割结束时的切割位置的中心坐标的图。
[0034] 图18是表示切割作业过程中的切割位置的图。
[0035] 图19是表示涂布开始时的涂布圆的中心坐标及涂布结束时的涂布圆的中心坐标的图。
[0036] 图20是表示油墨涂布动作过程中的涂布圆的中心坐标的图。
具体实施方式
[0037] 下面，参照附图说明本发明的实施方式。以下的说明中，对相同部件附加相同标号。它们的名称及功能也相同。因此，不重复关于它们的详细说明。
[0038] [装置结构]
[0039] 图1是表示本实施方式中的缺陷修正装置100的整体结构的图。缺陷修正装置100包括：修正头部，该修正头部由观察光学系统31、CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)摄像头32、切割用激光装置33、油墨涂布机构34、及油墨固化用光源35构成；Z轴工作台
36，该Z轴工作台36使该修正头部在与修正对象的液晶彩色滤光片基板5垂直的方向(Z轴方
向)上移动；X轴工作台37，该X轴工作台37装载Z轴工作台36以使其在X轴方向上移动；Y轴工作台38，该Y轴工作台装载基板5以使其在Y轴方向上移动；控制用计算机39，该控制用计算机39控制整个装置的动作；图像处理装置6，该图像处理装置6中输入有由CCD摄像头32拍摄到的图像并对该图像进行处理；监视器40，该监视器40显示图像、装置的操作菜单等；以及操作面板41，该操作面板41用于向控制用计算机39输入来自工作人员的指令。
36，该Z轴工作台36使该修正头部在与修正对象的液晶彩色滤光片基板5垂直的方向(Z轴方
向)上移动；X轴工作台37，该X轴工作台37装载Z轴工作台36以使其在X轴方向上移动；Y轴工作台38，该Y轴工作台装载基板5以使其在Y轴方向上移动；控制用计算机39，该控制用计算机39控制整个装置的动作；图像处理装置6，该图像处理装置6中输入有由CCD摄像头32拍摄到的图像并对该图像进行处理；监视器40，该监视器40显示图像、装置的操作菜单等；以及操作面板41，该操作面板41用于向控制用计算机39输入来自工作人员的指令。
[0040] 观察光学系统31观察基板5的表面状态、由油墨涂布机构34涂布后的修正油墨的状态。观察光学系统31所观察到的图像通过CCD摄像头32被转换成包括红(r)、绿(g)、蓝(b)各自的颜色信号在内的电信号，并显示在监视器40上。切割用激光装置33经由观察光学系
统31向基板5上的无用部分照射激光以将其除去。
统31向基板5上的无用部分照射激光以将其除去。
[0041] 油墨涂布机构34向基板5上产生的白色缺陷涂布修正油墨，以进行修正。油墨固化用光源35例如包括CO2激光器，向经油墨涂布机构34涂布后的修正油墨照射激光以使其固
化。
化。
[0042] 此外，该装置结构是一个示例，例如也可采用如下被称为台架方式的结构：将装载有观察光学系统31等的Z轴工作台36装载于X轴工作台37，然后将X轴工作台37装载于Y轴工作台38，使Z轴工作台36能够在XY方向上移动，只要使装载有观察光学系统31等的Z轴工作
台36能够相对于修正对象的基板5在XY方向上相对移动，则可采用任意结构。
台36能够相对于修正对象的基板5在XY方向上相对移动，则可采用任意结构。
[0043] 接下来，对使用多个针的油墨涂布机构的示例进行说明。
[0044] 图2是表示观察光学系统31及油墨涂布机构34的主要部分的立体图。图3(a)～(c)是从图2的A方向观察主要部分时的图，是表示油墨涂布动作的图。图2及图3(a)～(c)中，该缺陷修正装置100包括：可动板42、倍率不同的多个(例如5个)物镜2、以及用于涂布不同颜色的油墨的多个(例如5个)涂布单元43。
[0045] 可动板42设置成能够在观察光学系统31的观察镜筒31a的下端与基板5之间在X轴方向及Y轴方向上移动。另外，在可动板42上形成有分别与5个物镜2相对应的5个贯通孔
42a。
42a。
[0046] 在Y轴方向上以预定间隔配置5个贯通孔42a。各个物镜2固定在可动板42的下表面，使得其光轴与所对应的贯通孔42a的中心线一致。此外，观察镜筒31a的光轴及各个物镜
2的光轴被配置在与X轴方向及Y轴方向垂直的Z轴方向上。
2的光轴被配置在与X轴方向及Y轴方向垂直的Z轴方向上。
[0047] 另外，5个涂布单元43在Y轴方向上以预定间隔固定在可动板42的下表面。5个涂布单元43被配置成分别与5个物镜2相邻。
[0048] 使用多个针的油墨涂布机构由于除上述以外还已知有各种各样的技术，因此不重复详细说明。油墨涂布机构的一个示例在日本专利特开2009－122259号公报等中有示出。
缺陷修正装置100通过使用例如图2所示的机构以作为油墨涂布机构34，从而能够使用多个
针中所期望的涂布直径的针来修正缺陷。
缺陷修正装置100通过使用例如图2所示的机构以作为油墨涂布机构34，从而能够使用多个
针中所期望的涂布直径的针来修正缺陷。
[0049] 图4是本发明的图像处理装置6的功能框图。参照图4，图像处理装置6包括：图像输入部61、存储器62、以及缺陷检测部65。
[0050] 而且，缺陷检测部65包括：图像拍摄位置运算部67、图像转换部68、全景图像生成部69、图像比较部70、缺陷提取部71、以及缺陷坐标运算部72。
[0051] 图像处理装置6从CCD摄像头32并经由图像输入部61将图像数据读取到存储器62中。
[0052] CCD摄像头32是彩色CCD摄像头，CCD的各像素表现为红、绿、蓝三种颜色，将与CCD摄像头32的分辨率相同数量的以(红、绿、蓝)为一对的数据读取到存储器62中。
[0053] 缺陷检测部65参照读取到存储器62中的图像，来检测缺陷。所检测出的缺陷的坐标值被发送到控制用计算机39。
[0054] 控制用计算机39基于接收到的缺陷坐标，求出X轴工作台37及Y轴工作台38的移动坐标，使观察光学系统31移动。此外，以下的说明中，也会将X轴工作台37和Y轴工作台38总称为XY工作台。
[0055] [缺陷检测动作]
[0056] 缺陷检测部65以如下所示的顺序执行检测处理。
[0057] 在载放基板5时，控制用计算机39从与缺陷修正装置100分开设置的检查装置(未图示)接收缺陷位置信息，在检测处理之前完成向缺陷位置的移动。
[0058] 然而，检查装置和缺陷修正装置100的XY工作台会因加工精度、组装精度的不同而产生误差，使得即使将观察光学系统31移动到检查装置所示出的位置，如图5所示，也并不一定能够将缺陷定位到监视器40的画面中央。另外，根据缺陷大小，如图6所示，有时也会无法完全进入到画面内。
[0059] 由于上述情况，缺陷检测部65中，判断是否能够检测出缺陷的整体图像，并且如图7所示，呈螺旋状地搜索初始画面的周围。图7中的编号表示进行搜索的顺序。即，图7中，编号“1”相当于初始画面，并按照编号增加的顺序进行搜索。
[0060] 图像拍摄位置运算部67计算出搜索位置。若将基板5的图案间距设为(w,h)，将检查中使用的物镜2的视野大小设为(Sw,Sh)，将画面之间的重叠量设为V，则如图8所示，当图案间距为h＜w时，计算出搜索位置以使得纵向上画面之间的距离为h，横向上画面之间的距离为Sw－V。当h≥w时，计算出搜索位置以使得横向为w，纵向为Sh－V。
[0061] 本实施方式中，为了提取出缺陷的整体图像，如图9所示，生成对拍摄到的图7的一个或多个图像进行合成后的全景图像，并利用所生成的全景图像进行检查。如后所述，对红、绿、蓝各自的颜色信号及亮度信号均生成全景图像。
[0062] 另外，缺陷提取部71中，假设在中央的图案中存在缺陷，利用重复图案检查法来检测缺陷，该重复图案检查法将上下或左右相邻的两个图案设为正常图案来比较彼此的浓淡。
[0063] 因此，全景图像的前提条件是：当h＜w时纵向的尺寸至少为3×h以上，当h≥w时横向的尺寸至少为3×w以上。这里，示出对h＜w的图案检查图7的画面“1”时的全景图像的生成例。
[0064] 如图10所示，预先将当前画面的图像拍摄时的XY工作台的坐标值设为(xc,yc)，将相邻的上下两个画面的图像拍摄时的XY工作台的坐标值分别设为(x1,y1)、(x2,y2)。另外，XY工作台的坐标值始终示作图像上的(tx,ty)。(tx,ty)通常与物镜2的光轴一致。此外，图
10中，虽然XY工作台的坐标值与图像的坐标值指的是相同位置，但由于XY工作台的坐标原
点与图像的坐标原点不同，因此坐标值本身不同。
10中，虽然XY工作台的坐标值与图像的坐标值指的是相同位置，但由于XY工作台的坐标原
点与图像的坐标原点不同，因此坐标值本身不同。
[0065] 另外，预先将图像的分辨率设为(M,N)，并将与图像的一个像素相当的XY工作台的移动量设为(mx,my)。(mx,my)由图像拍摄中使用的物镜2决定。
[0066] 首先，求出各图像的左上端、右下端处的XY工作台的坐标值。
[0067] [当前搜索位置的左上端坐标值]
[0068] （ｘｃｌｕ，ｙｃｌｕ）＝（ｘｃ－ｔｘ×ｍｘ，ｙｃ－ｔｙ×ｍｙ）
[0069] [当前搜索位置的右下端坐标值]
[0070] （ｘｃｒｂ，ｙｃｒｂ）＝（ｘｃ＋（Ｍ－ｔｘ）×ｍｘ，ｙｃ＋（Ｎ－ｔｙ）×ｍｙ）[0071] [一侧相邻搜索位置的左上端坐标值]
[0072] （ｘ1ｌｕ，ｙ1ｌｕ）＝（ｘ1－ｔｘ×ｍｘ，ｙ1－ｔｙ×ｍｙ）
[0073] [一侧相邻搜索位置的右下端坐标值]
[0074] （ｘ1ｒｂ，ｙ1ｒｂ）＝（ｘ1＋（Ｍ－ｔｘ）×ｍｘ，ｙ1＋（Ｎ－ｔｙ）×ｍｙ）[0075] [另一侧相邻搜索位置的左上端坐标值]
[0076] （ｘ2ｌｕ，ｙ2ｌｕ）＝（ｘ2－ｔｘ×ｍｘ，ｙ2－ｔｙ×ｍｙ）
[0077] [另一侧相邻搜索位置的右下端坐标值]
[0078] （ｘ2ｒｂ，ｙ2ｒｂ）＝（ｘ2＋（Ｍ－ｔｘ）×ｍｘ，ｙ2＋（Ｎ－ｔｙ）×ｍｙ）[0079] 接下来，从所求出的坐标值中求出最小或最大的坐标值。
[0080] [最小坐标值]
[0081] （ｍｉｎｘ，ｍｉｎｙ）
[0082] ＝（Ｍｉｎ（ｘｃｌｕ，ｘ1ｌｕ，ｘ2ｌｕ），Ｍｉｎ（ｙｃｌｕ，ｙ1ｌｕ，ｙ2ｌｕ））[0083] [最大坐标值]
[0084] （ｍａｘｘ，ｍａｘｙ）
[0085] ＝（Ｍａｘ（ｘｃｒｂ，ｘ1ｒｂ，ｘ2ｒｂ），Ｍａｘ（ｙｃｒｂ，ｙ1ｒｂ，ｙ2ｒｂ））[0086] 这里，Min()是返回括号内的值的最小值的函数。Max()是返回最大值的函数。
[0087] 通过下式求出全景图像的分辨率(Mp,Np)。
[0088] （Ｍｐ，Ｎｐ）＝（（ｍａｘｘ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ，（ｍａｘｙ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ）[0089] 准备存放全景图像数据的Mp×Np的数组，将下式所求出的位置设为左上端，对各搜索位置上的图像数据进行复制。所复制的图像数据的分辨率为M×N。
[0090] [当前搜索位置的图像数据的左上端位置]
[0091] （ｘｃｌｕ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ－ｔｘ，（ｙｃｌｕ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ－ｔｙ
[0092] [一侧相邻搜索位置的图像数据的左上端位置]
[0093] （ｘ1ｌｕ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ－ｔｘ，（ｙ1ｌｕ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ－ｔｙ
[0094] [另一侧相邻搜索位置的图像数据的左上端位置]
[0095] （ｘ2ｌｕ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ－ｔｘ，（ｙ2ｌｕ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ－ｔｙ
[0096] 按照图7的搜索顺序并利用周边图像、即包括缺陷部图像及缺陷周边部图像在内的多个图像来生成全景图像，确认是否检测出缺陷的整体图像并在能够检测出的时刻结束
搜索。
搜索。
[0097] 缺陷的整体图像的判断如下述那样来进行。在缺陷的外接长方形的上下左右的边与画面边界相接的长度L比预先决定的长度Lmin大时、判断为相接，并继续搜索。在比Lmin小时结束处理。
[0098] [图像数据的比较和缺陷提取]
[0099] 全景图像的原图像数据由图像转换部68生成。图像转换部68从读取到存储器62中的彩色图像数据中提取出红(r)、绿(g)、蓝(b)各自的颜色信号(颜色信息)，生成三幅图像的数据r、g、b。各幅图像的分辨率为M×N。另外，根据三幅图像的数据并例如基于下式生成相当于图像亮度的亮度信号(亮度信息)G，生成总共四幅图像的数据r、g、b、G。
[0100] 若将图像上的某一位置设为(x,y)，则图像G上的位置(x,y)的数据G(x,y)为：
[0101] Ｇ（ｘ，ｙ）
[0102] ＝0.299×ｒ（ｘ，ｙ）＋0.587×ｇ（ｘ，ｙ）＋0.114×ｂ（ｘ，ｙ）。
[0103] 此外，转换方法并不限于上式，例如也可采用(红,绿,蓝)中的最大值。
[0104] 全景图像生成部69将所生成的r、g、b、G复制到四个Mp×Np的全景图像的数据数组中。如上所述，将下式所求出的位置设为左上端，复制各搜索位置上的图像数据。
[0105] [当前搜索位置的图像数据的左上端位置]
[0106] （ｘｃｌｕ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ－ｔｘ，（ｙｃｌｕ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ－ｔｙ
[0107] [一侧相邻搜索位置的图像数据的左上端位置]
[0108] （ｘ1ｌｕ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ－ｔｘ，（ｙ1ｌｕ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ－ｔｙ
[0109] [另一侧相邻搜索位置的图像数据的左上端位置]
[0110] （ｘ2ｌｕ－ｍｉｎｘ）／ｍｘ－ｔｘ，（ｙ2ｌｕ－ｍｉｎｙ）／ｍｙ－ｔｙ
[0111] 预先将上述那样生成的四个全景图像数据设为Pr、Pg、Pb、PG。接下来，图像比较部70从Pr、Pg、Pb、PG的图像数据中除去周期成分。
[0112] 图11中示出了执行图案间距为h＜w时的图7的画面“1”中的比较处理的示例。预先将Pr、Pg、Pb、PG中的某一图像设为f，并将比较间距设为ph。这里，设为对于全景图像的水平位置x的a－b截面进行比较处理。即，在基于重复间距生成的颜色信号及亮度信号各自的全景图像数据中，对任意的检查部位与其周边部位进行比较。
[0113] 若将a-b截面上的垂直位置y的图像数据设为f(x,y)，则将该数据作为检查对象，并通过下式求出s-p(x,y)及s+p(x,y)、以作为数据f(x,y-ph)和f(x,y+ph)。
[0114] ｓ－ｐ（ｘ，ｙ）＝ｆ（ｘ，ｙ）－ｆ（ｘ，ｙ－ｐｈ）
[0115] ｓ＋ｐ（ｘ，ｙ）＝ｆ（ｘ，ｙ）－ｆ（ｘ，ｙ＋ｐｈ）
[0116] 检查分为判断检查部位是否比正常部位更暗的检查、以及判断检查部位是否比正常部位更亮的检查这两种来进行。将存放是否更暗的判断结果的图像设为dk，将存放是否
更亮的判断结果的图像设为br。
更亮的判断结果的图像设为br。
[0117] 关于dk，在s-p(x,y)<0时s+p(x,y)的符号也一致的情况下(即，检查部位比周边部位更暗的情况)，将|s-p(x,y)|和|s+p(x,y)|中较小的一方设为dk(x,y)。
[0118] 关于br，在s-p(x,y)>0时s+p(x,y)的符号也一致的情况下(即，检查部位比周边部位更亮的情况)，将|s-p(x,y)|和|s+p(x,y)|中较小的一方设为br(x,y)。
[0119] 对于图像f的所有(x,y)都执行上述处理。
[0120] 图12中执行图案间距为h≥w时的图7的画面“1”中的比较处理。将Pr、Pg、Pb、PG中的某一图像设为f，将比较间距设为pw。这里，设为对于全景图像的垂直位置y的a-b截面进行比较处理。
[0121] 若预先将a-b截面上的水平位置x的图像数据设为f(x,y)，则将该数据作为检查对象，并通过下式求出s-p(x,y)及s+p(x,y)、以作为数据f(x-pw,y)和f(x+pw,y)。
[0122] ｓ－ｐ（ｘ，ｙ）＝ｆ（ｘ，ｙ）－ｆ（ｘ－ｐｗ，ｙ）
[0123] ｓ＋ｐ（ｘ，ｙ）＝ｆ（ｘ，ｙ）－ｆ（ｘ＋ｐｗ，ｙ）
[0124] 检查分为判断检查部位是否比正常部位更暗的检查、以及判断检查部位是否比正常部位更亮的检查这两种来进行。将存放是否更暗的判断结果的图像设为dk，将存放是否
更亮的判断结果的图像设为br。
更亮的判断结果的图像设为br。
[0125] 关于dk，在s-p(x,y)<0时s+p(x,y)的符号也一致的情况下，将|s-p(x,y)|和|s+p(x,y)|中较小的一方设为dk(x,y)。
[0126] 关于br，在s-p(x,y)>0时s+p(x,y)的符号也一致的情况下，将|s-p(x,y)|和|s+p(x,y)|中较小的一方设为br(x,y)。
[0127] 对于图像f的所有(x,y)都执行上述处理。
[0128] 图13中示出了除去周期成分后的图像。通过观察附图可知，仅提取出缺陷部。
[0129] 在上述比较处理中，(pw,ph)表示数据的比较间距，通过下式来计算出。
[0130] ｐｗ＝ｗ／ｍｘ
[0131] ｐｈ＝ｈ／ｍｙ
[0132] 由于图像是离散数据，因此(pw,ph)取整数值。因而，当上式的(pw,ph)不是整数时会产生误差，严格来讲会对不同的位置彼此之间进行比较。这成为在图案的边界产生疑似缺陷的主要原因，若边界上的亮度变化较大，则有时会产生例如图14所示的线段状的疑似
缺陷。
缺陷。
[0133] 为了不产生这种线段状的疑似缺陷，也可与比较中所使用的像素的相邻或附近的像素之间比较亮度，当它们的差分值大于某一阈值时就不进行比较。
[0134] 将对图像Pr、Pg、Pb、PG除去周期成分后的图像dk、br中、相对于正常部示出较暗的缺陷的图像设为dPr、dPg、dPb、dPG，将示出较亮的缺陷的图像设为bPr、bPg、bPb、bPG。
[0135] 根据对图像Pr、Pg、Pb、PG除去周期成分后的图像dk，生成最终用于提取缺陷的图像pdk。若将图像上的某一位置设为(x,y)，则图像pdk上的同一部位的数据pdk(x,y)为：
[0136] ｐｄｋ（ｘ，ｙ）
[0137] ＝Ｍａｘ（ｄｋＰｒ（ｘ，ｙ），ｄｋＰｇ（ｘ，ｙ），ｄｋＰｂ（ｘ，ｙ），ｄｋＰＧ（ｘ，ｙ））。
[0138] 另外，根据对图像Pr、Pg、Pb、PG除去周期成分后的图像br，生成最终用于提取缺陷的图像pbr。若将图像上的某一位置设为(x,y)，则图像pbr上的同一部位的数据pbr(x,y)为：
[0139] ｐｂｒ（ｘ，ｙ）
[0140] ＝Ｍａｘ（ｂｒＰｒ（ｘ，ｙ），ｂｒＰｇ（ｘ，ｙ），ｂｒＰｂ（ｘ，ｙ），ｂｒＰＧ（ｘ，ｙ））。
[0141] 如上所述，生成相对于正常部示出较暗的缺陷的图像pdk、和示出较亮的缺陷的图像pbr。即，将每一颜色信号及每一亮度信号在全景图像数据中的任意检查部位与周边部位进行比较，从比较结果中选出较大的对比度。这里，将比其他任一个对比度都大的对比度用作为检查部位与周边部位之间的对比度。
[0142] 此外，虽然在检查中一般大多会使用表示图像亮度的PG，但根据对象物不同也存在Pr、Pg、Pb比PG示出更高的对比度的情况，由于采用其中的最大值能够以更高的灵敏度进行检测，因此使用了函数Max()。
[0143] 缺陷提取部71基于由图像比较部70生成的图像pdk、pbr并利用二值化处理来提取出缺陷部。作为一个示例，将图像pdk的位置(x,y)的数据pdk(x,y)与阈值Tdk进行比较，当pdk(x,y)的值较大时设为1，当较小时设为0，由此来生成二值化图像Bdk。同样地，将图像pbr的位置(x,y)的数据pbr(x,y)与阈值Tbr进行比较，当pbr(x,y)的值较大时设为“1”，当较小时设为“0”，由此来生成二值化图像Bbr。
[0144] 对于如上述那样生成的二值化图像Bdk及Bbr，通过公知的标记处理等提取出值“1”的连通成分，将该外接长方形的内部作为缺陷候选提取出。图15中示出了对图13的图像的提取结果。图中的虚线框为外接长方形。
[0145] 若将所求出的外接长方形的长宽尺寸设为(rw,rh)，将最小提取尺寸设为(rwmin,rhmin)，则将满足下式的连通成分作为缺陷。
[0146] （ｒｗ＋ｒｈ）／2≥（ｒｗｍｉｎ＋ｒｈｍｉｎ）／2
[0147] 其中，上述的判定条件并不需要限定于此，也可将缺陷的特性考虑在内，提取出例如满足rw≥rwmin且rh≥rhmin的连通成分、满足rw≥rwmin或rh≥rhmin的连通成分等。
[0148] 缺陷坐标运算部72使用缺陷的外接长方形来求出XY工作台的坐标。若将外接长方形的左上端坐标设为(rx,ry)，则其中心坐标(cx,cy)通过下式求出。
[0149] （ｃｘ，ｃｙ）＝（ｒｘ＋ｒｗ／2，ｒｙ＋ｒｈ／2）
[0150] 如图16所示，由于全景图像的左上端位置处的XY工作台的坐标为(minx,miny)，且该位置上的图像坐标为(0,0)，与图像的一个像素相当的XY工作台的移动量为(mx,my)，因
此外接长方形中心的XY工作台的坐标通过下式求出。
此外接长方形中心的XY工作台的坐标通过下式求出。
[0151] （ｍｉｎｘ＋ｍｘ×ｃｘ，ｍｉｎｙ＋ｍｙ×ｃｙ）
[0152] 由未图示的控制指令生成部来生成向缺陷坐标运算部72所计算出的上述坐标移动的移动指令，并输出到同样未图示的位置控制部，从而完成向缺陷位置的移动。
[0153] 以上的实施例中，虽然使用了从彩色CCD摄像头输入的红、绿、蓝各自的颜色信号，但也可使用HSV表色系统，该HSV表色系统可由这些颜色信号来转换得到。
[0154] HSV表色系统中，V被称为明度，表示图像的亮度。RGB值中，若将最小值设为fmin，将最大值设为fmax，则亮度V表示为V=fmax。另外，H被称为色相，S被称为彩度，通过下式计算出。
[0155]
[0156] [缺陷修正]
[0158] 在进行修正作业时，进行使用切割用激光装置33来除去缺陷部、并使用油墨涂布机构34对除去后的部分填充油墨的作业。
[0159] 工作人员在完成修正作业后，指示移动到下一个缺陷位置。之后，再次重复上述的使用CCD摄像头32的数据读取之后的处理。若对从检查装置等接收到的所有缺陷的处理都已完成，则一系列的作业得以完成。
[0160] [自动激光照射]
[0161] 也可对应于所检测出的缺陷的尺寸，自动调整切割用激光装置33的照射尺寸，来照射激光。由此，能够省去工作人员输入修正条件的麻烦，从而作业效率得以提高。
[0162] 图17是表示切割开始时的切割位置的中心坐标及切割结束时的切割位置的中心坐标的图。图17中，(xA,yA)相当于(rx,ry)。
[0163] 参照该图，若将切口尺寸设为(Sx,Sy)，将顶点A的坐标设为(xA,yA)，则切割开始时的切口中心坐标(xst,yst)由下式来表示。
[0164]
[0165] 另外，若将顶点D的坐标设为(xD,yD)，则切割结束时的切口中心坐标(xed,yed)由下式来表示。
[0166]
[0167] 若将各切割位置的最小重叠量设为Rx，将水平方向的切割间距设为px，则水平方向的切割位置数量nx由下式来表示。
[0168] 其中、px≠0···（Ｆ3）
[0169] px＝Sx×(1.0-Rx)
[0171] 若将各切割位置的最小重叠量设为Ry，将垂直方向的切割间距设为py，则垂直方向的切割位置数量ny由下式来表示。
[0172] 其中、py≠0···(F4)
[0173] py＝Sy×(1.0-Ry)
[0174] 图18是表示切割作业过程中的切割位置的图。
[0175] 若将水平方向及垂直方向的切割间距分别设为px及py，则切割位置(xij,yij)由下式来表示。
[0176] xij＝xst+px×i yij＝yst+py×j···（Ｆ5）
[0177] px及py分别由下式来表示。
[0178] 其中、nx＝1时px＝0
[0179] ···（Ｆ6）
[0180] 其中、ny＝1时py＝0
[0181] [自动油墨涂布]
[0182] 另外，也可自动计算出油墨涂布位置，利用油墨涂布机构34涂布油墨。与激光相同，能够省去工作人员输入修正条件的麻烦，从而作业效率得以提高。
[0183] 图19是表示涂布开始时的涂布圆的中心坐标及涂布结束时的涂布圆的中心坐标的图。图19中，(xA,yA)相当于(rx,ry)。
[0184] 参照该图，若将涂布圆的直径设为D，将顶点A的坐标设为(xA,yA)，则涂布开始时的涂布圆的中心坐标(xst,yst)由下式来表示。
[0185]
[0186] 另外，若将顶点D的坐标设为(xD,yD)，则涂布结束时的涂布圆的中心坐标(xed,yed)由下式来表示。
[0187]
[0188] 若将涂布间距设为p，则水平方向的涂布圆个数nx由下式来表示。
[0189] 其中、p≠0···（Ｅ3）
[0190] 这里，ceiling()是“返回大于所指定的数中、最小的整数”的函数。
[0191] 若将涂布间距即油墨涂布的间隔设为p，则垂直方向的涂布行数ny由下式来表示。
[0192] 其中、p≠0···（Ｅ4）
[0193] 图20是表示油墨涂布动作过程中的涂布圆的中心坐标的图。
[0194] 若将水平方向及垂直方向的涂布间距分别设为px及py，则涂布位置(xij,yij)由下式来表示。
[0195] xij＝xst+px×i yij＝yst+py×j···（Ｅ5）
[0196] px及py分别由下式来表示。
[0197] 其中、nx＝1时px＝0 ···（Ｆ6）
[0198] 其中、ny＝1时py＝0
[0199] 应当认为本次公开的实施方式在所有方面都只是示例而并非是限制性的内容。本发明的范围并非由上述说明所示出，而是由权利要求所示出，应对认为与权利要求等同的
含义及范围内的所有变更均包含在内。
含义及范围内的所有变更均包含在内。
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