一种太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法
专利汇可以提供一种太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 太阳能 硅 片 微观 缺陷 的在线测试方法，包括以下步骤：步骤一，将太阳能 硅片 放置于测试 支撑 座上，电容 传感器 的电容量变化并生成 电压 值，磁电式伺服调整电容传感器到太阳能硅片表面的距离；步骤二，应 力 激发器对太阳能硅片上表面进行点击式气流 应力 激发，使得太阳能硅片产生阻尼振荡，电容传感器感应到太阳能硅片产生的阻尼振荡生成电压变化的 信号 ；步骤三， 模数转换 器 将电压变化的信号转换为电压变化的数值，并得到阻尼振荡的 波数 和振幅，根据公式计算出对数减量。本发明若振动的波数越多和幅度差越小则说明缺陷越少、 晶界 结构紧密性越好，若波数少、衰减快则说明缺陷严重，可以有效的对太阳能硅片的微观缺陷进行测试。，下面是一种太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法专利的具体信息内容。
1.一种太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，将太阳能硅片放置于测试支撑座上，电容传感器的电容量变化并生成电压值，利用磁电式伺服调整电容传感器到太阳能硅片表面的距离，使得电压值在设定的电压值范围内；
步骤二，利用应力激发器对太阳能硅片上表面进行点击式气流应力激发，使得太阳能硅片产生阻尼振荡，电容传感器感应到太阳能硅片产生的阻尼振荡生成电压变化的信号；
步骤三，模数转换器将电压变化的信号转换为电压变化的数值，并得到阻尼振荡的波数和振幅；
步骤四，根据以下公式计算出太阳能硅片阻尼振荡的对数减量σ：
其中，A1为一次振动的振幅，An+1为n+1次振动的振幅；
A1最大为一次振动的最大幅度，A1最小为一次振动的最小幅度，An+1最大为n+1次振动的最大振幅，An+1最小为n+1次振动的最小振幅。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法，其特征在于，所述步骤一中设定的电压值范围为2.25～2.75V，所述传感器到太阳能硅片表面的距离为0.45～
0.55mm。
3.根据权利要求1所述的太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法，其特征在于，所述磁电式伺服包括固定板、环形磁铁、圆形磁铁和弹性支撑架，所述圆形磁铁设置于所述环形磁铁的内圆中并设置有磁场间隔，所述环形磁铁与所述圆形磁铁为异性磁铁，所述环形磁铁、圆形磁铁和弹性支撑架还分别设置于所述固定板上。
4.根据权利要求3所述的太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法，其特征在于，所述电容传感器包括中空圆柱固定架、圆形电极板、环形电极板、电容信号调理电路和线圈，所述圆形电极板设置于所述环形电极板的内圆中并设置有间隔，所述圆形电极板与所述环形电极板的轴心在同一直线上并分别设置于所述中空圆柱固定架的顶部，所述圆形电极板与所述环形电极板还分别与所述电容信号调理电路连接，所述线圈分别与所述圆形电极板、环形电极板连接并设置于所述磁场间隔中，所述线圈还与所述弹性支撑架连接。
5.根据权利要求1所述的太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法，其特征在于，所述应力激发器的孔径为1～1.2mm，所述应力激发器的气体压力为0.4～0.6MPa，所述应力激发器的喷气时间为0.1～0.3s。
6.根据权利要求1所述的太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法，其特征在于，所述应力激发器与太阳能硅片上表面的距离为30～40mm。
一种太阳能硅片微观缺陷的在线测试方法
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2 缺陷检测方法
