专利汇可以提供一种芯片硅生产使用的二级研磨设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种芯片 硅 生产使用的二级 研磨 设备,包括 底板 ,底板下方设有 支撑 板,支撑板顶面设有配电箱、鼓 风 机、旋 转轴 和转动轴, 旋转轴 上设有从动 齿轮 和支撑盘、第一电动 推杆 和下 研磨盘 ,从动齿轮一侧 啮合 有主动齿轮,底板顶面设有两 块 限位板、平移 电机 和支撑柱,支撑柱顶端固接有 固定板 ,固定板底面设有表面检测灯、转动电机和吹尘枪,吹尘枪与导气管固接,转动电机上设有上研磨盘,转动电机与转动轴传动连接,在两块限位板之间设有 丝杠 和滑杆,丝杠上设有平移板,平移板顶面设有夹持框,夹持框一端设有 定位 板,底板一端顶面设有开口。本发明易于操作、便于使用,有效的提高了 硅片 加工效率。,下面是一种芯片硅生产使用的二级研磨设备专利的具体信息内容。
1.一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)为矩形状,所述底板(1)底面四角均固接有矩形状的支撑杆(38),所述底板(1)底面下方设有矩形状的支撑板(2),所述支撑板(2)两侧面两端均与对应支撑杆(38)一侧面固接,所述支撑板(2)顶面一端设有配电箱(22),所述支撑板(2)顶面另一端设有鼓风机(4),所述鼓风机(4)的出气口固接有导气管(5),所述底板(1)底面中部转动连接有旋转轴(20),所述旋转轴(20)中部固接有从动齿轮(21),所述旋转轴(20)顶部固接支撑盘(19),所述支撑盘(19)顶面中部固接有第一电动推杆(17),所述第一电动推杆(17)的活动端固接有圆形的下研磨盘(15),所述从动齿轮(21)一侧啮合有主动齿轮(18),所述主动齿轮(18)固定在转动轴(16)下端,所述转动轴(16)底端与支撑板(2)转动连接,所述底板(1)一端顶面和中部均设有沿宽度方向设有矩形状的限位板(24),所述底板(1)一端顶面设有平移电机(23),所述底板(1)另一端顶面固接有圆柱形的支撑柱(3),所述支撑柱(3)顶端固接有矩形状的固定板(6),所述固定板(6)一端底面设有表面检测灯(8),所述固定板(6)底面中部固接有固定杆(10),所述固定杆(10)下端固接有固定框(12),所述固定框(12)内设有转动电机(11),所述固定板(6)底面中部一侧设有吹尘枪(9),所述吹尘枪(9)的进气口与导气管(5)的出气口固接,所述转动电机(11)的电机轴底端固接有圆形的上研磨盘(14),所述转动电机(11)的电机轴与转动轴(16)传动连接,所述底板(1)顶面一侧设有丝杠(25)、另一侧设有圆柱形的滑杆(26),所述丝杠(25)两端均对应限位板(24)一端侧面转动连接,所述滑杆(26)两端均与对应限位板(24)一端侧面固接,所述丝杠(25)上螺旋连接有矩形状的平移板(27),所述平移板(27)另一端套设在滑杆(26)上,所述平移板(27)顶面设有U形的夹持框(30),所述夹持框(30)一端侧面铰接有矩形状的定位板(32),所述底板(1)一端顶面设有椭圆形的开口,所述上研磨盘(14)和下研磨盘(15)均位于开口一端上方。
2.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,其特征在于:所述旋转轴(20)底端固接有旋转轴承,所述支撑板(2)底面中部设有圆形的固定槽,所述旋转轴承与固定槽内壁固接。
3.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,其特征在于:所述所述转动轴(16)顶端固接从动皮带轮,所述转动电机(12)的电机轴上端固接有主动皮带轮,所述主动皮带轮与从动皮带轮通过皮带(13)传动连接,所述支撑板(2)顶面中部一侧设有支撑轴承,所述转动轴(16)底端与支撑轴承内壁固接,所述底板(1)顶面设有限位轴承,所述转动轴(16)中部外壁与限位轴承内壁固接。
4.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,其特征在于:固定板(6)底面一端固定连接杆(7),所述连接杆(7),所述连接杆(7)下端设有矩形状的安装槽,所述表面检测灯(8)顶面固接有矩形状的固定块,所述固定块位于安装槽内、且通过螺栓固接。
5.根据权利要求1所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,其特征在于:所述平移板(27)顶面设有第二电动推杆(28),所述第二电动推杆(28)活动端固接有矩形状的连接块(29),所述连接块(29)内设有连接轴承,所述连接块(29)一侧面设有限位销(37),所述夹持框(30)一侧面中部固接圆柱形的连接杆,所述连接杆另一端与连接轴承内壁固接,所述连接杆上设有圆形的限位孔,所述限位销(37)内端位于限位孔内,所述平移板(27)一端沿长度方向设有丝杠螺母,所述丝杠螺母与丝杠(25)螺旋连接,所述平移板(27)另一端沿长度方向设有圆形的通孔,所述滑杆(26)位于通孔内。
6.根据权利要求5所述一种芯片硅生产使用的二级研磨设备,其特征在于:所述夹持框(30)一端侧面设有定位螺孔,所述定位板(32)一侧面设有定位螺杆(36),所述定位螺杆(36)与定位螺孔螺旋连接,所述夹持框(30)每一侧内表面均凹设有矩形状的放置槽,每个放置槽内底面均固接有矩形状的下夹持板(34),每块下夹持板(34)一端顶面均设有支撑弹簧(35),每根支撑弹簧(35)另一端均固接有上夹持板(33),所述夹持框(30)每一侧顶面中部均设有紧固螺杆(31),每根紧固螺杆(31)内端均与对应上夹持板(33)顶面接触,所述定位板(32)内表面中部设有矩形状的限位槽,所述限位槽两侧面均设有限位开口。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种液化天然气加气站的LNG储存罐干燥装置 | 2020-05-19 | 1 |
一种高效低温密闭履带式污泥干化机及其工作方法 | 2020-05-23 | 0 |
一种环网柜拨动开关的机械寿命实验装置 | 2021-06-25 | 0 |
烹饪器具 | 2020-10-23 | 2 |
一种干湿交替条件下硫化矿物风化氧化的模拟装置 | 2021-06-24 | 2 |
一种基于中医内科的药液药渣回收处理装置 | 2020-10-22 | 0 |
一种节能型粮食烘干机用传送烘干装置 | 2020-12-15 | 1 |
多功能触摸一体机 | 2023-07-05 | 1 |
一种燃气灶具 | 2020-06-30 | 2 |
一种高散热性电容柜 | 2023-05-22 | 0 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。