大規模生產薄膜式太陽電池之製造裝置及方法 MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD FOR LARGE-SCALE PRODUCTION OF THIN-FILM SOLAR CELLS
专利汇可以提供大規模生產薄膜式太陽電池之製造裝置及方法 MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD FOR LARGE-SCALE PRODUCTION OF THIN-FILM SOLAR CELLS专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一種改良之製造 薄膜 太陽電池的方法，該方法係完全藉由濺鍍法，其濺鍍係包含一個高效能之背面接觸／反射性多重層體，該層體包含至少一個包含一個過渡金屬氮化物之阻障層。一個二硒化銅銦鎵(Cu(InxGa1-x)Se2)吸收層【x的範圍是由1至大約0.7】，是使用雙圓筒狀旋轉磁化電子技術，共同–濺鍍該來自特別製備之導電靶材。該吸收層之 能隙 可藉由改變鎵含量、以及藉由部分或全部以鋁取代鎵，來予以梯度化。可選擇地，該吸收層是於氫化硒氣體存在之下，反應性濺鍍該來自金屬 合金 靶材。射頻(RF)濺鍍被使用來沉積一個不包含鎘之硫化鋅(ZnS)視窗層。本發明描述一種獨特之模組化 真空 捲帶式濺鍍機器。該機器被使用來併合雙圓筒狀旋轉磁化電子技術，俾以一種單次通過來製造改善之太陽電池材料。，下面是大規模生產薄膜式太陽電池之製造裝置及方法 MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD FOR LARGE-SCALE PRODUCTION OF THIN-FILM SOLAR CELLS专利的具体信息内容。
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