OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置
专利汇可以提供OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了OLED蒸 镀 用 挡板 的 干 冰 清洗装置，包括干冰发生器、设有 负压 引流装置的材料收集器和清洗腔体，待清洗的OLED蒸镀用挡板置于清洗腔体内，清洗腔体为透明或半透明的封闭结构，顶部设有 风 机过滤机组，底部与材料收集器连接，内部设有挡板固定装置，干冰发生器与清洗腔体内部连接；该装置采用干冰清洗替代传统 有机 溶剂 清洗，结构简单、易于操作，降低挡板清洗成本，OLED材料回收方便且回收效率高，环境友好。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利，下面是OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置专利的具体信息内容。
1.OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置，其特征在于，包括干冰发生器、材料收集器和清洗腔体，待清洗的OLED蒸镀用挡板置于所述清洗腔体内；其中，
所述清洗腔体为透明或半透明的封闭结构，顶部设有风机过滤机组，底部与所述材料收集器连接，内部设有所述待清洗OLED蒸镀用挡板的固定装置；
所述干冰发生器与所述清洗腔体内部连接；
所述材料收集器设有负压引流装置。
2.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，还包括风刀吹干装置、红外加热装置和喷砂装置。
3.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，所述清洗腔体为倒梯形结构。
4.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，所述清洗腔体外部与高压水喷淋装置连接。
5.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，所述清洗腔体的侧壁设有若干个操作口。
OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置
技术领域
背景技术
为提高OLED材料利用率，降低生产成本，在OLED蒸镀设备腔体四周包裹挡板，仅可通过更换挡板实现清洗腔体的效果，而且挡板上附着大量OLED材料，可以回收利用进一步节约成本。
具体实施方式
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